本發(fā)明涉及真空閥，本發(fā)明正是為了解決所述問題而研發(fā)的，本發(fā)明的目的是提供一種真空閥，其特征在于，在驅(qū)動塊兩側(cè)面形成凸出槽區(qū)間及包括第一、第二傾斜槽區(qū)間的開閉驅(qū)動引導槽在l形運動塊(l-motionblock)上形成能夠引入于所述開閉驅(qū)動引導槽并移動的的l形運動輥(l-motionroller)，l形運動輥(l-motionroller)如果位于第一傾斜槽區(qū)間的末端部，則閥片的一側(cè)面封閉所述流入口，l形運動輥(l-motionroller)如果位于第二傾斜槽區(qū)間的末端部，則閥片的一側(cè)面貼緊所述殼內(nèi)部面，從根本上杜絕閥片封閉面配備的密封圈接觸空氣及流體，從而增進密封圈的制品性能，延長密封圈的更換周期。

背景技術(shù)：

一般而言，用于制造半導體元件的半導體制造工序要求高精密度，因而要求高潔凈度和特殊的制造技術(shù)。

由于這種理由，半導體元件在完美切斷接觸空氣中包含的異物質(zhì)的狀態(tài)下，即，在真空狀態(tài)下制造，從而能夠生產(chǎn)制品的可靠性及完成度高的制品。

另一方面，為了保持制造半導體元件的工藝腔內(nèi)部的真空狀態(tài)，在工藝腔的外部安裝有吸入工藝腔內(nèi)的空氣及其它氣體的真空泵。

另外，在所述工藝腔與真空泵之間安裝有真空閥，在將工藝腔內(nèi)部的空氣及其它氣體排出到外部的情況下，開放真空閥，在保持工藝腔內(nèi)部的真空狀態(tài)的情況下，封閉真空閥，從而使得能夠?qū)⒐に嚽粌?nèi)部保持于始終清凈的真空狀態(tài)。

下述專利文獻1的″閘門閥(大韓民國注冊專利公報第10-0338164號)″的特征在于，包括：閥箱；閥盤，其以與所述閥箱內(nèi)安裝的閥座相向相接的方式配置于所述閥箱內(nèi)；閥桿，其從連接于所述閥盤的所述閥箱內(nèi)向所述閥箱外氣密地凸出，以便插入于波紋管中，并能夠上下運動及傾斜運動；移動手段，其安裝于閥箱外部，在其中插入所述閥桿，使所述閥盤能夠移動到與所述閥座相向的位置和不相向的位置，所述閥盤從所述閥座離間而位于相向的位置后，使所述閥桿傾斜運動，使得所述閥盤按壓于所述閥座；所述移動手段包括：活塞缸裝置；滾柱及長孔，其為了使所述活塞缸裝置的活塞桿與所述閥桿相互連接，所述滾柱將其分別安裝于一側(cè)及另一側(cè)，所述長孔結(jié)合于所述滾柱并傾斜；彈簧，其抑制所述活塞桿及閥桿沿軸向相互離間；引導件，其為了引導所述閥桿能夠上下運動及傾斜運動而在所述活塞缸裝置的缸中形成；當借助于所述活塞缸裝置進行按壓而使所述活塞桿相對于所述閥桿接近時，所述閥桿將所述滾柱及傾斜的長孔置于中間而傾斜，所述閥盤按壓所述閥座；在所述閥箱內(nèi)，完全不包含用于相對于所述閥座而按壓所述閥盤的機械部件，因而具有的優(yōu)點是沒有因所述閥箱內(nèi)磨損等導致的發(fā)生不純物的憂慮。

但是，就所述專利文獻1的″閘門閥″而言，當從所述閥盤按壓閥座而封閉閥門的狀態(tài)，豎直移動閥桿，閥盤從閥座離開而開放閥門時，所述閥盤的前面部保持露出于閥座的內(nèi)側(cè)空間的狀態(tài)，因而在空氣和其它氣體向所述閥座內(nèi)側(cè)移動的過程中，所述空氣和其它氣體與所述閥盤的前面部具備的彈性材質(zhì)的o形環(huán)接觸，從而導致所述o形環(huán)被腐蝕或變形迅速進行，存在所述o形環(huán)的更換周期縮短的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

(要解決的技術(shù)問題)

本發(fā)明正是為了解決所述問題而研發(fā)的，本發(fā)明的目的是提供一種真空閥，在驅(qū)動塊兩側(cè)面形成凸出槽區(qū)間及包括第一、第二傾斜槽區(qū)間的開閉驅(qū)動引導槽，在l形運動塊(l-motionblock)上形成能夠引入于所述開閉驅(qū)動引導槽并移動的的l形運動輥(l-motionroller)，l形運動輥(l-motionroller)如果位于第一傾斜槽區(qū)間的末端部，則閥片的一側(cè)面封閉所述流入口，l形運動輥(l-motionroller)如果位于第二傾斜槽區(qū)間的末端部，則閥片的一側(cè)面貼緊所述殼內(nèi)部面，從根本上杜絕閥片封閉面配備的密封圈接觸空氣及流體，從而能夠增進密封圈的制品性能，延長密封圈的更換周期。

(解決問題的手段)

為了解決如上所述的問題，本發(fā)明的真空閥1的特征在于，包括：閥殼100，其在內(nèi)側(cè)形成有流體移動孔101，且形成有供流體流入的流入部110和供流體流出的流出部120；閥片200，其位于所述閥殼100的內(nèi)側(cè)，對所述流入部110進行開閉；閥桿300，其與所述閥片200連接，且形成有在上部凸出形成的連接凸起310；l形運動塊(l-motionblock)400，其與所述連接凸起310連接，且在下部兩側(cè)面分別形成有行程輥410，在上部兩側(cè)面分別形成有l(wèi)形運動輥(l-motionroller)420；驅(qū)動塊500，其與所述l形運動塊(l-motionblock)400連接，且在兩側(cè)面分別形成有開閉驅(qū)動引導槽510，以便所述l形運動輥(l-motionroller)420分別引入并能夠上下移動；彈簧銷600，其配備于所述驅(qū)動塊500一面；彈性構(gòu)件700，其配備于所述彈簧銷600與所述l形運動輥(l-motionroller)420之間；引導殼800，其結(jié)合于所述閥殼100的上部，且在兩側(cè)的內(nèi)面構(gòu)成有凹陷形成的行程輥軌道槽810，以便所述行程輥410分別引入；缸900，其能拆卸地結(jié)合于所述引導殼800的上部；活塞910，其從所述缸900的內(nèi)部向外部保持氣密地凸出，與驅(qū)動塊500連接，且借助于液壓而豎直運動。

另外，其特征在于，所述行程輥410比所述l形運動輥(l-motionroller)420向封閉方向(c)側(cè)偏心地安裝。

另外，其特征在于，所述開閉驅(qū)動引導槽510構(gòu)成向封閉方向(c)側(cè)凸出形成的凸出槽區(qū)間511，所述l形運動輥(l-motionroller)420如果位于所述凸出槽區(qū)間511，則以所述行程輥410為中心，保持所述閥片200向開放方向(o)側(cè)傾斜的狀態(tài)。

另外，其特征在于，構(gòu)成有第一傾斜槽區(qū)間512，所述第一傾斜槽區(qū)間512從所述凸出槽區(qū)間511朝向上方，向開放方向(o)側(cè)傾斜地形成，所述l形運動輥(l-motionroller)420如果位于所述第一傾斜槽區(qū)間512的末端部512a，則以所述行程輥410為中心，所述閥片200向封閉方向(c)側(cè)移動，所述閥片200封閉所述流入口110。

另外，其特征在于，構(gòu)成有第二傾斜槽區(qū)間513，所述第二傾斜槽區(qū)間513從所述凸出槽區(qū)間511朝向上方，向開放方向(o)側(cè)傾斜地形成，所述l形運動輥(l-motionroller)420如果位于所述第二傾斜槽區(qū)間513的末端部513a，則以所述行程輥410為中心，所述閥片200向封閉方向(c)側(cè)移動，所述閥片200貼緊所述殼100的內(nèi)部面102。

(發(fā)明的效果)

根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明正是為了解決所述問題而研發(fā)的，本發(fā)明的目的是提供一種真空閥，在驅(qū)動塊兩側(cè)面形成凸出槽區(qū)間及包括第一、第二傾斜槽區(qū)間的開閉驅(qū)動引導槽，在l形運動塊(l-motionblock)上形成能夠引入于所述開閉驅(qū)動引導槽并移動的的l形運動輥(l-motionroller)，l形運動輥(l-motionroller)如果位于第一傾斜槽區(qū)間的末端部，則閥片的一側(cè)面封閉所述流入口，l形運動輥(l-motionroller)如果位于第二傾斜槽區(qū)間的末端部，則閥片的一側(cè)面貼緊所述殼內(nèi)部面，從根本上杜絕閥片封閉面配備的密封圈接觸空氣及流體，從而具有增進密封圈的制品性能，延長密封圈的更換周期的優(yōu)點。

附圖說明

圖1是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的整體形態(tài)的立體圖；

圖2是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的構(gòu)成中在引導殼內(nèi)部形成的構(gòu)成要素間結(jié)合狀態(tài)的結(jié)合狀態(tài)圖；

圖3是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的分解形態(tài)的分解立體圖

圖4是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的構(gòu)成中在引導殼內(nèi)部形成的構(gòu)成要素間結(jié)合狀態(tài)的主視圖；

圖5是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的構(gòu)成中流入部封閉形態(tài)的運轉(zhuǎn)狀態(tài)圖；

圖6及圖7是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的構(gòu)成中流入部封閉形態(tài)的運轉(zhuǎn)狀態(tài)圖；

圖8及圖9是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的構(gòu)成中流入部開放形態(tài)的運轉(zhuǎn)狀態(tài)圖；

圖10是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的構(gòu)成中閥殼與閥片清潔引導部結(jié)合的形態(tài)的分解立體圖；

圖11是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥的構(gòu)成中閥殼與閥片清潔引導部的剖面形態(tài)的局部剖面圖。

最佳實施方式

下面參照附圖，詳細說明本發(fā)明一個實施例的真空閥1。首先需要注意的是，附圖中相同的構(gòu)成要素或部件，盡可能以相同的附圖標記代表。在說明本發(fā)明方面，為了不使本發(fā)明的要旨模糊，省略有關(guān)相關(guān)公知功能或構(gòu)成的具體說明。

本發(fā)明如圖2或圖3所示，大致由閥殼100和閥片200、閥桿300、l形運動塊(l-motionblock)400、驅(qū)動塊500、引導殼800及缸900構(gòu)成。

在說明之前需要注意的是，如圖2、4、6、7、8、9所示，為了能夠明確掌握作為內(nèi)部構(gòu)成要素的波紋管320、l形運動塊(l-motionblock)400、驅(qū)動塊500的構(gòu)成，省略了引導殼800的正面部或側(cè)面部的表現(xiàn)，如圖5、6、7、8、9所示，為了明確表現(xiàn)本發(fā)明的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，閥殼100、波紋管320、驅(qū)動塊500、缸900以虛線表現(xiàn)其形狀。

另外需要注意的是，如圖4、6、7、8、9所示，將附圖的左側(cè)設置為封閉方向(c)，將右側(cè)設置為開放方向(o)。

首先，對閥殼100進行說明。如圖1或圖3所示，所述閥殼100作為安裝于工序腔(圖中未示出)與真空泵(圖中未示出)之間的構(gòu)成要素，形成有供流體流入的流入部110和供流體流出的流出部120。

然后，對閥片200進行說明。如圖3或圖4所示，所述閥片200作為位于流體移動孔101內(nèi)部并對所述流入部110進行開閉的構(gòu)成要素，隨著后述活塞910沿上下方向移動，所述閥片200的封閉面210貼緊在所述流入部110末端側(cè)周圍形成的閥座111，能夠封閉或開放所述流入部110。

在本發(fā)明中，所述閥片200構(gòu)成得在開放所述流入部110的狀態(tài)下，所述閥片200的封閉面201貼緊所述閥殼100的內(nèi)部面102，從而為了增加密閉的氣密性，使所述封閉面201具備的密封圈210不露出于所述流體移動孔101上，能夠從根本上杜絕接觸空氣及流體。

然后，對閥桿300進行說明。如圖3所示，所述閥桿300作為在上部形成有連接凸起310，與后述l形運動塊(l-motionblock)400連接且下部與所述閥片200結(jié)合的構(gòu)成要素，所述閥桿300根據(jù)安放于后述驅(qū)動塊500的開閉驅(qū)動引導槽510的后述l形運動塊(l-motionblock)400的l形運動輥(l-motionroller)420的位置，能夠豎直及水平移動。

另一方面，在所述閥殼100與l形運動塊(l-motionblock)400之間，如圖2或圖3所示，具備保持氣密并環(huán)繞所述閥桿300的波紋管320，從而能夠引導所述l形運動塊(l-motionblock)400的豎直運動。

另外，所述波紋管320發(fā)揮使所述閥桿300與后述引導殼800隔離的作用，從而當所述流入部110開放時，切斷可能通過所述流入部110進入所述引導殼800內(nèi)部的空氣及流體。

然后，對l形運動塊(l-motionblock)400進行說明。如圖2或圖3所示，所述l形運動塊(l-motionblock)400作為以例″t″形形狀構(gòu)成、下部與所述閥桿300結(jié)合、上部與驅(qū)動塊500連接的構(gòu)成要素，包括行程輥410和l形運動輥(l-motionroller)420。

所述行程輥410能旋轉(zhuǎn)地安裝于所述l形運動塊(l-motionblock)400的下部兩側(cè)面，在本發(fā)明的運轉(zhuǎn)過程中，引導所述l形運動塊(l-motionblock)400沿豎直方向移動。

另一方面，本發(fā)明的特征在于，所述行程輥410比所述l形運動輥(l-motionroller)420向封閉方向(c)側(cè)偏心地安裝，從而所述行程輥410如圖6～圖9所示，在所述l形運動輥(l-motionroller)420位于向封閉方向(c)凸出形成的后述凸出槽區(qū)間511時，所述閥桿300成為傾斜狀態(tài)，所述l形運動輥(l-motionroller)420位于向開放方向(o)傾斜地形成的后述第一、第二傾斜槽區(qū)間512，513的各個末端部512a，513a時，所述閥桿300成為直立狀態(tài)，從而能夠順利實現(xiàn)所述流入部110的開閉運轉(zhuǎn)及所述閥殼100的內(nèi)部面102貼緊運轉(zhuǎn)。

另外，所述行程輥410根據(jù)安放于所述開閉驅(qū)動引導槽510并移動的l形運動輥(l-motionroller)420的位置，當所述l形運動塊(l-motionblock)400要沿水平方向移動時，借助于供所述行程輥410插入的后述引導殼800的行程輥軌道槽810，發(fā)揮中心軸作用，以便所述l形運動塊(l-motionblock)400的下部不沿水平方向移動，能夠使得只有所述l形運動塊(l-motionblock)400的上部可以沿水平方向移動。

所述l形運動輥(l-motionroller)420能旋轉(zhuǎn)地安裝于所述l形運動塊(l-motionblock)400的上部兩側(cè)面，安放于所述開閉驅(qū)動引導槽510，能夠根據(jù)沿豎直方向移動的位置，使所述閥桿300向封閉方向(c)或開放方向(o)移動。

然后，對驅(qū)動塊500進行說明。如圖2或圖3所示，所述驅(qū)動塊500作為供所述l形運動塊(l-motionblock)400的上部引入內(nèi)側(cè)，上部與活塞910連接的構(gòu)成要素，包括開閉驅(qū)動引導槽510和引導輥520。

所述開閉驅(qū)動引導槽510如圖5所示，在所述驅(qū)動塊500的兩側(cè)形成，供所述l形運動輥(l-motionroller)420安放，由凸出槽區(qū)間511、第一傾斜槽區(qū)間512、第二傾斜槽區(qū)間513構(gòu)成。

所述凸出槽區(qū)間511如圖5所示，作為向封閉方向(c)側(cè)凸出形成的區(qū)間，所述l形運動輥(l-motionroller)420如果位于所述凸出槽區(qū)間511，則能夠以所述行程輥410為中心使所述閥片200保持向開放方向(o)側(cè)傾斜的狀態(tài)。

所述第一傾斜槽區(qū)間512如圖5所示，作為從所述凸出槽區(qū)間511朝向上方，向開放方向(o)側(cè)傾斜地形成的區(qū)間，所述l形運動輥(l-motionroller)420如果位于所述第一傾斜槽區(qū)間512的末端部512a，則能夠以所述行程輥410為中心，使所述閥片200向封閉方向(c)側(cè)移動，所述閥片200封閉所述流入口110。

所述第二傾斜槽區(qū)間513如圖5所示，作為從所述凸出槽區(qū)間511朝向下方，向開放方向(o)側(cè)傾斜地形成的區(qū)間，所述l形運動輥(l-motionroller)420如果位于所述第二傾斜槽區(qū)間513的末端部513a，則能夠以所述行程輥410為中心，使所述閥片200向封閉方向(c)側(cè)移動，所述閥片200貼緊所述殼100的內(nèi)部面102。

另一方面，在本發(fā)明中，所述引導輥520能旋轉(zhuǎn)地分別安裝于所述驅(qū)動塊500的上部兩側(cè)面，為了順暢的運轉(zhuǎn)，優(yōu)選具備2個以上，以便所述驅(qū)動塊500只沿豎直方向運轉(zhuǎn)，不沿水平方向移動。

另外，所述引導輥520在不干涉所述開閉驅(qū)動引導槽510的位置形成，在本發(fā)明的運轉(zhuǎn)過程中能夠引導所述驅(qū)動塊500沿豎直方向移動。

另一方面，如圖3或圖4所示，優(yōu)選在安放于所述開閉驅(qū)動引導槽510的所述行程輥410與安裝于所述驅(qū)動塊500一面的彈簧銷600之間，具備提供彈力的彈性構(gòu)件700。

在本發(fā)明中，在所述真空閥1運轉(zhuǎn)過程中，當所述閥桿200為了開閉所述流入口110而升降運轉(zhuǎn)時，借助于所述活塞910的升降，所述行程輥410沿著所述行程輥軌道槽810移動，到達后述行程輥軌道槽的末端部810a或上端部810b所述彈性構(gòu)件700發(fā)揮的作用是使所述l形運動輥(l-motionroller)420保持引入所述凸出槽區(qū)間511的狀態(tài)，直到所述閥桿300、l形運動塊(l-motionblock)400升降完成時為止。

另外，如圖7的(d)所示，所述彈性構(gòu)件700在所述行程輥410碰到所述行程輥軌道槽810的末端部810a或上端部810b后，因繼續(xù)升降的活塞910的壓力而引起彈性變形，使所述驅(qū)動塊500升降，使得所述l形運動輥(l-motionroller)420能夠位于所述第一傾斜槽區(qū)間512的末端部512a或所述第二傾斜槽區(qū)間513的末端部513a，從而能夠符合本發(fā)明意圖地實現(xiàn)順暢的運轉(zhuǎn)。

然后，對引導殼800進行說明。如圖3所示，所述引導殼800作為結(jié)合于所述閥殼100上部，具有保護并內(nèi)置所述l形運動塊(l-motionblock)400及驅(qū)動塊500等構(gòu)成要素的功能的構(gòu)成要素，在所述引導殼800的兩側(cè)內(nèi)面，分別構(gòu)成有凹陷形成而以便供所述行程輥410插入移動的行程輥軌道槽810和凹陷形成而以便供所述引導輥52插入移動的引導輥軌道槽820。

然后，對缸900進行說明。如圖3所示，所述缸900作為結(jié)合于所述引導殼800的上部的構(gòu)成要素，從所述缸900的內(nèi)部向外部保持氣密地凸出并與驅(qū)動塊500連接，且具備借助于液壓而豎直運動的活塞910。

構(gòu)成所述缸900并運轉(zhuǎn)的原理屬于本發(fā)明所屬領域公知水平的技術(shù)水平，因而省略詳細說明。

下面參照圖6～圖9，對本發(fā)明優(yōu)選實施例的真空閥1的運轉(zhuǎn)狀態(tài)進行說明。

圖6和圖7是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥1的構(gòu)成中流入部110封閉形態(tài)的運轉(zhuǎn)狀態(tài)圖，圖8和圖9是顯示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的真空閥1的構(gòu)成中流入部110開放形態(tài)的運轉(zhuǎn)狀態(tài)圖。

參照圖8及圖9，說明作為本發(fā)明特征的所述流入部110開放、所述閥片200貼緊所述閥殼100的內(nèi)部面102的過程。

首先，如圖8的a所示，所述流入部110在所述活塞910下降完成后，使得所述閥片200的封閉面201貼緊在所述流入部110末端側(cè)周圍形成的閥座111而保持封閉狀態(tài)。

此時，所述行程輥410位于所述行程輥軌道槽810的末端部810a，所述l形運動輥(l-motionroller)420成為位于所述第一傾斜槽區(qū)間512的末端部512a的狀態(tài)，連接于所述l形運動輥(l-motionroller)420與所述彈簧銷600之間的所述彈性構(gòu)件700保持向下方拉伸的狀態(tài)。

另外，所述波紋管320因所述活塞910下降完成而保持被壓縮的狀態(tài)。

在如上所述的狀態(tài)下，如果使所述活塞910上升，則所述彈性構(gòu)件700的拉伸力解除，因而所述驅(qū)動塊500上升，所述l形運動輥(l-motionroller)420從所述第一傾斜槽區(qū)間512的末端部512a向所述凸出槽區(qū)間511移動。

在所述l形運動輥(l-motionroller)420從所述凸出槽區(qū)間511向所述凸出槽區(qū)間511移動的過程中，如圖8的(b)所示，所述閥桿300以所述行程輥410為中心，向開放方向(o)水平移動，從直立狀態(tài)移動到傾斜的狀態(tài)，與此同時，曾與所述閥座111貼緊的所述閥片200與所述閥桿300一同水平移動，所述流入部110因而開放。

在如上所述的狀態(tài)下，所述活塞910如果繼續(xù)上升，則如圖9的(c)所示，所述l形運動輥(l-motionroller)420在保持安放于所述凸出槽區(qū)間511的狀態(tài)的同時，所述波紋管320從壓縮狀態(tài)恢復為原狀態(tài)，所述閥桿300和所述l形運動塊(l-motionblock)400及驅(qū)動塊500上升。

隨著所述閥桿300的上升，所述閥片200位于從所述流入部110與流出部120的水平路徑擺脫的所述流體移動孔101的上部，從而所述流入部110成為完全開放的狀態(tài)。

另一方面，所述活塞910繼續(xù)上升，所述行程輥410成為位于所述行程軌道槽810的上端部810a的狀態(tài)，在所述行程輥410位于所述行程軌道槽810的上端部810a的狀態(tài)下，所述活塞910如果繼續(xù)上升，則所述驅(qū)動塊500上升，所述l形運動輥(l-motionroller)420從所述凸出槽區(qū)間511向所述第二傾斜槽區(qū)間513移動，所述l形運動輥(l-motionroller)420與所述彈簧銷600之間連接的所述彈性構(gòu)件700因所述驅(qū)動塊500的上升而保持向上方拉伸的狀態(tài)。

在所述l形運動輥(l-motionroller)420從所述凸出槽區(qū)間511向所述第二傾斜槽區(qū)間513移動的過程中，如圖9的(d)所示，所述閥桿300以所述行程輥410為中心，向封閉方向(c)水平移動，在從傾斜狀態(tài)變更為直立狀態(tài)的同時，所述閥桿300在擺脫所述流入部110與流出部120水平路徑的位置，與所述閥桿300一同水平移動，從而所述閥片200的封閉面201與所述閥殼100的內(nèi)部面102保持貼緊的狀態(tài)。

由于如上所述的狀態(tài)，保持所述閥片200的封閉面201配備的密封圈210的氣密，從而從根本上杜絕接觸空氣及流體，能夠增進所述密封圈210的制品性能，延長所述密封圈210的更換周期。

另一方面，所述流入口110的封閉過程如圖6或圖7所示，按前述所述流入口110的開放過程的相反順序進行。

另一方面，如圖10或圖11所示，在形成有所述流入部110的所述閥殼100側(cè)面，構(gòu)成有鉆孔形成的結(jié)合孔130，構(gòu)成有結(jié)合于所述結(jié)合孔130的閥片清潔引導部1000。

因此，在所述閥片200的封閉面201貼緊所述閥殼100的內(nèi)部面102的狀態(tài)下，如果注入經(jīng)凈化的氣體，則經(jīng)凈化的氣體在經(jīng)過氣體移動孔1100的同時，去除了存在于所述閥片200的封閉面201的工序副產(chǎn)物，從而能夠延長所述閥片200及密封圈210的制品壽命。

在附圖和說明書中公開了最佳實施例。其中使用了特定的術(shù)語，但這只是出于說明本發(fā)明的目的而使用的，并非用于意義限定或限制專利要求書中記載的本發(fā)明的范圍。因此，只要是本技術(shù)領域的技術(shù)人員便會理解，可以由此導出多樣的變形及均等的其它實施例。因此，本發(fā)明的真正的技術(shù)保護范圍應根據(jù)附帶的權(quán)利要求書的技術(shù)思想確定。