1.一種疊加式閥門(mén)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，包括：由法蘭連接在一起的上下氣動(dòng)薄膜機(jī)構(gòu)，所述法蘭的中部開(kāi)設(shè)有通孔，推桿通過(guò)無(wú)油軸承支撐在所述通孔內(nèi)、并貫穿上下氣動(dòng)薄膜機(jī)構(gòu)，所述推桿的上端與所述上氣動(dòng)薄膜機(jī)構(gòu)內(nèi)的膜片、托盤(pán)固定連接，下端從所述下氣動(dòng)薄膜機(jī)構(gòu)伸出并通過(guò)閥門(mén)聯(lián)接支架的中部通孔與閥桿接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊加式閥門(mén)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述上下氣動(dòng)薄膜機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同，均包括：上膜蓋、下膜蓋、膜片、托盤(pán)和彈簧，所述上膜蓋上設(shè)有進(jìn)氣孔，所述下膜蓋上設(shè)有排空氣口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的疊加式閥門(mén)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述上膜蓋和下膜蓋通過(guò)螺栓固定連接，所述膜片安裝在所述上膜蓋和下膜蓋之間，并與所述上膜蓋構(gòu)成膜片室、與所述下膜蓋構(gòu)成彈簧室，所述托盤(pán)位于彈簧室內(nèi)并固定安裝在膜片上，所述彈簧安裝在托盤(pán)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的疊加式閥門(mén)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述膜片采用雙層織物強(qiáng)化膜片，是由雙層丁腈橡膠和雙層高強(qiáng)錦綸織物間隔層疊壓制而成的。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的疊加式閥門(mén)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述彈簧是采用合金鋼絲制成的。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的疊加式閥門(mén)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述托盤(pán)的高度H為膜片不受力時(shí)的初始高度h與推桿四分之一行程之和。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊加式閥門(mén)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述法蘭中部的通孔內(nèi)安裝有與所述無(wú)油軸承下端面密實(shí)接觸的QY型聚氨酯橡膠氣缸用密封圈。