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      一種微球軸承的制作方法

      文檔序號:12830308閱讀:419來源:國知局
      一種微球軸承的制作方法與工藝

      本實用新型涉及軸承領(lǐng)域,尤其是涉及一種微球軸承。



      背景技術(shù):

      作為未來微型武器、微型汽車和微型飛機等微型機械的動力源,微泵、微發(fā)電機和微發(fā)動機等微動力設(shè)備具備廣闊的應用前景。由于微軸承是影響微動力設(shè)備功率密度和運轉(zhuǎn)壽命的關(guān)鍵部件,因而引起了國際上的廣泛關(guān)注。微球軸承以其支承穩(wěn)定的特性而優(yōu)于其它微軸承,成為 MEMS 中重要的支承機構(gòu)。在現(xiàn)有的技術(shù)中存在軸承滾道易磨損、結(jié)構(gòu)復雜、穩(wěn)定性能不足、內(nèi)部氣流運行不暢等技術(shù)問題。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、平衡性能優(yōu)良、不易磨損、內(nèi)部氣流運行順暢的微球軸承。

      本實用新型的技術(shù)方案是:一種微球軸承,包括封蓋層、葉片層和滾道層,所述封蓋層包括設(shè)置在其中心位置的排氣出口、排布在排氣出口外圍的注油孔以及均勻?qū)ΨQ排布在注油孔外圍的氣流孔;所述葉片層包括葉片層凹槽以及設(shè)置在葉片層凹槽內(nèi)的速度測試塊、依次設(shè)置在速度測試塊外圍的動葉片和靜葉片,所述動葉片和靜葉片之間設(shè)有一組上通氣孔,所述速度測試塊、動葉片和靜葉片的高度均低于葉片層凹槽深度50~80um;所述滾道層包括滾道以及設(shè)置在滾道底部的一組下通氣孔。

      進一步的,所述注油孔正對上通氣孔設(shè)置。

      進一步的,所述滾道為圓形軌道,滾道底部設(shè)置有至少兩排下通氣孔。

      進一步的,所述氣流孔呈圓形排布,并正對葉片層凹槽。

      進一步的,所述排氣出口為圓形通道,其直徑大于速度測試塊的寬度。

      本實用新型具有以下有益效果:

      1、本實用新型中排氣出口、氣流孔、下通氣孔和上通氣孔的有機結(jié)合,使得氣路通常。

      2、本實用新型中所述速度測試塊、動葉片和靜葉片的高度均低于葉片層凹槽深度50~80um,在運行時有效避免速度測試塊、動葉片和靜葉片與封蓋層的碰撞摩擦,且無需再在封蓋層底面開設(shè)凹槽,使得制作工藝更加簡單。

      3、本實用新型中在封蓋層上設(shè)置注油孔,且注油孔正對上通氣孔,可通過注油孔向滾道中注入潤滑油以減少微球與滾道之間的摩擦,且無需再滾道上設(shè)置涂層,使得本實用新型工藝更為簡單。

      附圖說明

      圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2是本實用新型的A部放大圖;

      圖3本實用新型的剖視圖;

      其中,1、封蓋層;2、注油孔;3、排氣出口;4、氣流孔;5、葉片層;6、葉片層凹槽;7、滾道層;8、速度測試塊;9、靜葉片;10、動葉片;11、滾道;12、下通氣孔;13、上通氣孔。

      具體實施方式

      以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。

      如圖1和圖3所示,本實用新型提供一種微球軸承,包括封蓋層1、葉片層5和滾道層7,封蓋層1和葉片層5之間通過密封膠等粘接,葉片層5和滾道層7之間通過鍵合技術(shù)連接。所述封蓋層1包括設(shè)置在其中心位置的排氣出口3、排布在排氣出口3外圍的注油孔2以及均勻?qū)ΨQ排布在注油孔2外圍的氣流孔4。其中注油孔2正對上通氣孔13設(shè)置,氣流孔4呈圓形排布,并正對葉片層凹槽6。所述排氣出口3為圓形通道,其直徑大于速度測試塊8的寬度。

      所述葉片層5包括葉片層凹槽6以及設(shè)置在葉片層凹槽6內(nèi)的速度測試塊8、依次設(shè)置在速度測試塊8外圍的動葉片10和靜葉片9,如圖2所示,所述動葉片10和靜葉片9之間設(shè)有一組上通氣孔13,所述速度測試塊8、動葉片10和靜葉片9的高度均低于葉片層凹槽6深度50~80um;

      所述滾道層7包括滾道11以及設(shè)置在滾道11底部的一組下通氣孔12。所述滾道11為圓形軌道,滾道11底部設(shè)置有至少兩排下通氣孔12,使得微球14無論出于滾道11的什么位置均可以保證微球14可覆蓋至少兩個下通氣孔12,通過下通氣孔12的氣體為微球14提供一定的浮力,使得軸承腔內(nèi)部氣流順暢的同時,也可在一定程度上減少微球14與滾道11之間的摩擦。

      須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本實用新型可實施的限定條件,故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下,均應仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。以上對本實用新型的一個實施例進行了詳細說明,但所述內(nèi)容僅為本實用新型的較佳實施例,不能被認為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型申請范圍所作的均等變化與改進等,均應仍歸屬于本實用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。

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