本發(fā)明涉及閥門技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高真空雙插板閥。

背景技術(shù)：

高真空雙插板閥具有通經(jīng)大，介質(zhì)無(wú)阻礙，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定，真空密封性能可靠等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、真空熱處理、真空焊接、等真空行業(yè)中。高真空雙插板閥上安裝有電磁閥連接閥腔，在打開時(shí)起到先平衡閥瓣兩邊壓力的作用，可減小打開所需的輸出力，降低成本。但是，當(dāng)電磁閥失效時(shí)，如果閥門繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，則閥瓣兩邊壓力達(dá)不到平衡，而電機(jī)還在繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，這可能造成閥瓣密封圈的損壞，同時(shí)，可能造成電機(jī)的損壞，最后造成比較大的經(jīng)濟(jì)損失。

由于自動(dòng)化工業(yè)的推進(jìn)，高真空雙插板閥上安裝有電機(jī)，再配上電磁感應(yīng)裝置，可實(shí)現(xiàn)電磁感應(yīng)限位，進(jìn)而控制電機(jī)運(yùn)作，實(shí)現(xiàn)plc控制。但是，電磁感應(yīng)裝置感應(yīng)力對(duì)不同的金屬，感應(yīng)距離是有很大差異，存在失效的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，電機(jī)傳動(dòng)不穩(wěn)定，傳動(dòng)效率低，如果需要實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制，則需要花上較大的代價(jià)或大空間安裝其他附件，不經(jīng)濟(jì)。

所以，有必要對(duì)此類情況進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)，以滿足使用要求。

中國(guó)專利文獻(xiàn)（公告日：2013年8月21日，公告號(hào)：cn103256397a）公開了一種雙向密封插板閥，包括插板閥殼體、閥門啟閉機(jī)構(gòu)、插板閥閥門和插板閥連接法蘭，插板閥殼體兩平行側(cè)面底部開有與插板閥閥門相配的連接孔，閥門啟閉機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)升降氣缸、兩組插板閥升降座和兩組插板閥聯(lián)動(dòng)拉臂，升降氣缸伸出桿端部固定連接有插板閥聯(lián)動(dòng)拉臂，插板閥聯(lián)動(dòng)拉臂上鉸接有插板閥升降座，插板閥升降座端部固連有插板閥閥門，兩插板閥閥門分別正對(duì)插板閥殼體側(cè)面底部相應(yīng)的連接孔。管路抽真空低壓作用，使得插板閥閥門越吸越緊；管路中為正壓力，其中一側(cè)的插板閥閥門被迫打開，使得正壓力作用在另外一側(cè)的插板閥閥門上，使得該插板閥閥門越吸越緊。

中國(guó)專利文獻(xiàn)（公告日：2012年7月11日，公告號(hào)：cn102563112a）公開了一種真空室用的真空插板閥，包括氣缸、閥體和閥芯組件，閥體為中空的長(zhǎng)方體箱式結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通，閥芯組件設(shè)于閥體的中部空間內(nèi)，氣缸末端穿過閥體頂部并與閥芯組件連接；閥芯組件包括對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)活動(dòng)板，兩個(gè)活動(dòng)板之間設(shè)置活動(dòng)鉸并通過活動(dòng)鉸與氣缸末端連接，兩個(gè)活動(dòng)板的底部分別設(shè)有導(dǎo)輪。本真空插板閥克服傳統(tǒng)真空插板閥占用空間大的缺陷，也可較好地應(yīng)用于大型玻璃鍍膜工藝用的真空鍍膜室。同時(shí)，其密封效果好，閥芯結(jié)構(gòu)也較為穩(wěn)固，不易變形，加工及日常維護(hù)都較為方便。

中國(guó)專利文獻(xiàn)（公告日：2015年7月29日，公告號(hào)：cn204512485u）公開了一種氣動(dòng)真空插板閥，包括真空插板閥，所述的真空插板閥包括閥體、在閥體內(nèi)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)的閥芯、位于閥芯內(nèi)的密封板a、密封板b，其特征在于：所述的氣動(dòng)真空插板閥還包括氣缸。

上述技術(shù)方案插板閥也存在結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性差，閥門主體因附件失效易損壞等問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是為解決現(xiàn)有的高真空雙插板閥所存在的上述問題，而提供一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，經(jīng)濟(jì)安全，避免出現(xiàn)因附件失效而造成閥門主體損壞，能夠可經(jīng)濟(jì)得實(shí)現(xiàn)控制的高真空雙插板閥。

本發(fā)明實(shí)現(xiàn)其發(fā)明目的所采用的技術(shù)方案是：一種高真空雙插板閥，包括：

主閥體，用于實(shí)現(xiàn)高真空控制的閥體；所述的主閥體內(nèi)部設(shè)置有活動(dòng)密封連接的雙閥板；

執(zhí)行機(jī)構(gòu)，用于提供動(dòng)力的機(jī)構(gòu)；所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)設(shè)置在主閥體上；

傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于傳遞執(zhí)行機(jī)構(gòu)動(dòng)力的機(jī)構(gòu)；所述的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與執(zhí)行機(jī)構(gòu)和主閥體連接；

先導(dǎo)閥，用于對(duì)主閥體內(nèi)部高真空度進(jìn)行破除的閥；所述的先導(dǎo)閥設(shè)置在主閥體內(nèi)部與閥板固定連接，并且與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接。

該高真空雙插板閥，通過在主閥體內(nèi)部設(shè)置一先導(dǎo)閥，同時(shí)利用一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)將執(zhí)行機(jī)構(gòu)與先導(dǎo)閥連接在一起，使得高真空插板閥在從關(guān)閉位置打開時(shí)，先導(dǎo)閥會(huì)先行開啟，破除主閥體內(nèi)部的真空，以平衡閥板兩邊的壓力，使得閥板在開啟時(shí)不受力，可避免因未平衡閥板兩邊的壓力就開啟而導(dǎo)致的閥門損壞。當(dāng)主閥體處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)輸出一定的力，帶動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)使先導(dǎo)閥打開，但是保持閥板不動(dòng)，閥板兩側(cè)的壓力因先導(dǎo)閥的串通而達(dá)到平衡，此時(shí)，閥板兩側(cè)均不受力。而后，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)繼續(xù)動(dòng)作，提起閥板，閥門打開。當(dāng)需要關(guān)閉處于開啟狀態(tài)的主閥體時(shí)，通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)輸出一定的力，帶動(dòng)閥板往下運(yùn)動(dòng)。當(dāng)閥板到達(dá)限位點(diǎn)時(shí)，使閥板與主閥體內(nèi)部的密封面接觸并壓緊密封。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)繼續(xù)動(dòng)作，直到關(guān)閉先導(dǎo)閥并密封。閥門運(yùn)作停止，閥門關(guān)閉。該高真空雙插板閥，使得高真空插板閥在從關(guān)閉位置打開時(shí)，先導(dǎo)閥會(huì)先開啟，平衡閥板兩邊的壓力，使得閥板在開啟時(shí)不受力，可避免因未平衡閥板兩遍的壓力就開啟而導(dǎo)致的閥門損壞；而且該插板閥結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，經(jīng)濟(jì)安全。

作為優(yōu)選，所述的先導(dǎo)閥包括先導(dǎo)閥掛架、先導(dǎo)閥支架、扭轉(zhuǎn)彈簧、先導(dǎo)閥芯、閥芯壓蓋和先導(dǎo)閥座。先導(dǎo)閥的上述結(jié)構(gòu)既方便也主閥體的連接，同時(shí)也方便實(shí)現(xiàn)先導(dǎo)閥與主閥體閥板之間的順序動(dòng)作。

作為優(yōu)選，所述的先導(dǎo)閥座固定在閥板上，所述的先導(dǎo)閥芯的一端與先導(dǎo)閥座通過一密封環(huán)活動(dòng)密封連接，所述的先導(dǎo)閥芯的另一端與先導(dǎo)閥支架固定連接并通過先導(dǎo)閥支架帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)開關(guān)動(dòng)作，所述的閥芯壓蓋壓設(shè)在先導(dǎo)閥芯上。上述結(jié)構(gòu)既方便先導(dǎo)閥的設(shè)置，同時(shí)也能夠保證在閥板打開之前先導(dǎo)閥芯先行打開，以平衡閥板兩側(cè)的壓力，使得閥板在打開時(shí)不受力，保證閥門的正常使用。

作為優(yōu)選，所述的先導(dǎo)閥支架上設(shè)置有閥芯安裝孔，所述的先導(dǎo)閥芯設(shè)置在閥芯安裝孔內(nèi)部。先導(dǎo)閥支架上設(shè)置閥芯安裝孔，方便先導(dǎo)閥芯的安裝以保證先導(dǎo)閥芯能夠通過先導(dǎo)閥支架帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)打開或關(guān)閉。

作為優(yōu)選，所述的先導(dǎo)閥掛架固定在閥板上，所述的先導(dǎo)閥支架設(shè)置在先導(dǎo)閥掛架的內(nèi)側(cè)，并且先導(dǎo)閥支架的上端通過一上端銷軸與先導(dǎo)閥掛架連接，所述的扭轉(zhuǎn)彈簧設(shè)置在先導(dǎo)閥支架的內(nèi)側(cè)并套設(shè)在上端銷軸上，所述的扭轉(zhuǎn)彈簧壓緊在先導(dǎo)閥掛架和先導(dǎo)閥支架上，所述的扭轉(zhuǎn)彈簧的下端抵設(shè)在先導(dǎo)閥芯上。先導(dǎo)閥掛架和先導(dǎo)閥支架優(yōu)選結(jié)構(gòu)為u型結(jié)構(gòu)，這樣的結(jié)構(gòu)既方便與閥板之間的固定連接，同時(shí)也方便實(shí)現(xiàn)先導(dǎo)閥芯與閥板的順序打開，當(dāng)處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，先導(dǎo)閥掛架、先導(dǎo)閥支架以及先導(dǎo)閥芯被扭轉(zhuǎn)彈簧壓緊在閥板上，同時(shí)閥板也處于原始密封位置，當(dāng)需要打開閥門時(shí)，先導(dǎo)閥支架在傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下克服彈簧力提起先導(dǎo)閥芯，使先導(dǎo)閥打開，進(jìn)而再使閥板打開，實(shí)現(xiàn)順序動(dòng)作，保證閥板在打開時(shí)兩側(cè)不受力。

作為優(yōu)選，所述的先導(dǎo)閥通過一導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。先導(dǎo)閥通過一導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，這樣可以通過導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)對(duì)先導(dǎo)閥動(dòng)作起到導(dǎo)向和力的傳遞作用。

作為優(yōu)選，所述的導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)包括一連接塊、傳動(dòng)桿和導(dǎo)向塊，所述的導(dǎo)向塊設(shè)置在傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上，所述的連接塊與先導(dǎo)閥連接，所述的傳動(dòng)桿的下端與連接塊螺紋連接，所述的傳動(dòng)桿的上端穿設(shè)在導(dǎo)向塊上。為了方便先導(dǎo)閥與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，設(shè)置一導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)，通過連接塊與先導(dǎo)閥連接，通過導(dǎo)向塊與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，這樣的結(jié)構(gòu)是為了保證在先導(dǎo)閥芯打開后與閥板打開前有一段緩沖時(shí)間，以保證真空能夠完全破除，同時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)閥板先向后脫離密封面，然后再被提升這樣的過程。導(dǎo)向塊是為了實(shí)現(xiàn)在在傳動(dòng)桿帶動(dòng)先導(dǎo)閥支架動(dòng)作的過程中進(jìn)行導(dǎo)向。

作為優(yōu)選，所述的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括掛架、掛臂、滾珠絲杠和滾珠絲母，所述的掛架固定在主閥體內(nèi)部，所述的掛臂設(shè)置在掛架內(nèi)側(cè)并且通過一預(yù)緊裝置連接到掛架上，同時(shí)掛臂與閥板鉸接，所述的滾珠絲母與預(yù)緊裝置連接，所述的滾珠絲杠的上端與執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，所述的滾珠絲杠的下端與滾珠絲母連接，所述的預(yù)緊裝置與掛架滑動(dòng)配合連接。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置掛架是為了實(shí)現(xiàn)先導(dǎo)閥與主閥體之間的固定連接，掛臂是為了實(shí)現(xiàn)對(duì)先導(dǎo)閥固定和提升作用。滾珠絲杠和滾珠絲母是為了實(shí)現(xiàn)將執(zhí)行機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為對(duì)掛臂的提升了，以實(shí)現(xiàn)先導(dǎo)閥和閥板的順序動(dòng)作。為了實(shí)現(xiàn)閥板在打開過程中先行與密封面脫離，再實(shí)現(xiàn)提起的動(dòng)作，掛臂與閥板鉸接。

作為優(yōu)選，所述的預(yù)緊裝置包括預(yù)緊彈簧、預(yù)緊彈簧座和連接座套，所述的預(yù)緊彈簧座設(shè)置在掛架上，所述的連接座套設(shè)置在掛臂上，所述的預(yù)緊彈簧壓設(shè)在預(yù)緊彈簧座和連接座套之間。預(yù)緊裝置設(shè)置為上述結(jié)構(gòu)是為了在整個(gè)插板閥之間的密封連接以及開關(guān)動(dòng)作的有機(jī)協(xié)調(diào)動(dòng)作。

作為優(yōu)選，所述的連接座套上設(shè)置絲母安裝座，所述的滾珠絲母固定在絲母安裝座上端內(nèi)部，所述的掛架上設(shè)置有滑套，所述的絲母安裝座與滑套滑動(dòng)配合。

作為優(yōu)選，執(zhí)行機(jī)構(gòu)為智能型多回轉(zhuǎn)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括電子控制模塊、電子反饋模塊和機(jī)械限位機(jī)構(gòu)。執(zhí)行機(jī)構(gòu)優(yōu)選為智能型多回轉(zhuǎn)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，能夠有效避免復(fù)雜的線路連接，避免因電磁感應(yīng)對(duì)材料的敏感性，節(jié)省閥門安裝空間，方便實(shí)現(xiàn)plc控制。

本發(fā)明的有益效果是：該高真空雙插板閥，使得高真空插板閥在從關(guān)閉位置打開時(shí)，先導(dǎo)閥會(huì)先開啟，平衡閥板兩邊的壓力，使得閥板在開啟時(shí)不受力，可避免因未平衡閥板兩遍的壓力就開啟而導(dǎo)致的閥門損壞；而且該插板閥結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，經(jīng)濟(jì)安全。智能型多回轉(zhuǎn)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的設(shè)置，相對(duì)老式的電機(jī)加電磁感應(yīng)裝置而言，避免了復(fù)雜的線路連接，避免因電磁感應(yīng)對(duì)材料的敏感性，節(jié)省閥門安裝空間，方便實(shí)現(xiàn)plc控制。

附圖說明

圖1是本發(fā)明高真空雙插板閥的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中a處的放大圖；

圖3是圖2中b-b剖視圖；

圖中：1、主閥體，2、閥板，3、執(zhí)行機(jī)構(gòu)，4、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，5、先導(dǎo)閥，6、先導(dǎo)閥掛架，7、先導(dǎo)閥支架，8、扭轉(zhuǎn)彈簧，9、先導(dǎo)閥芯，10、閥芯壓蓋，11、先導(dǎo)閥座，12、安裝孔，13、密封環(huán)，14、閥芯安裝孔，15、上端銷軸，16、導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)，17、連接塊，18、傳動(dòng)桿，19、導(dǎo)向塊，20、下端銷軸，21、掛架，22、掛臂，23、滾珠絲杠，24、滾珠絲母，25、預(yù)緊裝置，26、預(yù)緊彈簧，27、預(yù)緊彈簧座，28、連接座套，29、絲母安裝座，30，滑套。

具體實(shí)施方式

下面通過具體實(shí)施例并結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步詳細(xì)描述。

實(shí)施例1：

在圖1、圖2、圖3所示的實(shí)施例中，一種高真空雙插板閥，包括：

主閥體1，用于實(shí)現(xiàn)高真空控制的閥體；主閥體1內(nèi)部設(shè)置有活動(dòng)密封連接的雙閥板2；

執(zhí)行機(jī)構(gòu)3，用于提供動(dòng)力的機(jī)構(gòu)；執(zhí)行機(jī)構(gòu)3設(shè)置在主閥體1上；

傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4，用于傳遞執(zhí)行機(jī)構(gòu)3動(dòng)力傳遞的機(jī)構(gòu)；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4分別與執(zhí)行機(jī)構(gòu)3和主閥體1連接；

先導(dǎo)閥5，用于對(duì)主閥體1內(nèi)部高真空度進(jìn)行破除的閥；先導(dǎo)閥5設(shè)置在主閥體1內(nèi)部并與閥板2固定連接，并且與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4傳動(dòng)連接。

先導(dǎo)閥5包括先導(dǎo)閥掛架6、先導(dǎo)閥支架7、扭轉(zhuǎn)彈簧8、先導(dǎo)閥芯9、閥芯壓蓋10和先導(dǎo)閥座11。

閥板7上設(shè)置有安裝孔12，先導(dǎo)閥座11固定在安裝孔12內(nèi)部，先導(dǎo)閥芯9的一端與先導(dǎo)閥座9通過一密封環(huán)13活動(dòng)密封連接，先導(dǎo)閥芯9的另一端與先導(dǎo)閥支架7固定連接并通過先導(dǎo)閥支架7帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)開關(guān)動(dòng)作，閥芯壓蓋10壓設(shè)置在先導(dǎo)閥芯9上。

先導(dǎo)閥支架7上設(shè)置有閥芯安裝孔14，先導(dǎo)閥芯9設(shè)置在閥芯安裝孔14內(nèi)部。

先導(dǎo)閥掛架6呈u型槽結(jié)構(gòu)設(shè)置，先導(dǎo)閥掛架6固定在閥板2上，先導(dǎo)閥支架7呈u型結(jié)構(gòu)設(shè)置，先導(dǎo)閥支架7設(shè)置在先導(dǎo)閥掛架6的內(nèi)側(cè)，并且先導(dǎo)閥支架7的上端通過一上端銷軸15與先導(dǎo)閥掛架6連接，扭轉(zhuǎn)彈簧8設(shè)置在先導(dǎo)閥支架7的內(nèi)側(cè)并套設(shè)在上端銷軸15上，扭轉(zhuǎn)彈簧8壓緊在先導(dǎo)閥掛架6和先導(dǎo)閥支架7上，扭轉(zhuǎn)彈簧8的下端抵設(shè)在先導(dǎo)閥芯9上。

先導(dǎo)閥5通過一導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)16與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4連接。導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)16包括一連接塊17、傳動(dòng)桿18和導(dǎo)向塊19，導(dǎo)向塊19設(shè)置在傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4上，連接塊與先導(dǎo)閥連接，傳動(dòng)桿18的下端與連接塊17螺紋連接，傳動(dòng)桿18的上端穿設(shè)在導(dǎo)向塊19上。連接塊17通過一下端銷軸20連接在先導(dǎo)閥支架7遠(yuǎn)離先導(dǎo)閥芯9的一側(cè)下端部。

傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4包括掛架21、掛臂22、滾珠絲杠23和滾珠絲母24，掛架21固定在主閥體1內(nèi)部，掛臂22設(shè)置在掛架21內(nèi)側(cè)并且通過一預(yù)緊裝置25連接到掛架21上，同時(shí)掛臂22與閥板2鉸接，滾珠絲母24與預(yù)緊裝置25連接，滾珠絲杠23的上端與執(zhí)行機(jī)構(gòu)3連接，滾珠絲杠23的下端與滾珠絲母24連接，預(yù)緊裝置25與掛架21滑動(dòng)配合連接。

預(yù)緊裝置25包括預(yù)緊彈簧26、預(yù)緊彈簧座27和連接座套28，預(yù)緊彈簧座27設(shè)置在掛架21上，連接座套28設(shè)置在掛臂22上，預(yù)緊彈簧26壓設(shè)在預(yù)緊彈簧座27和連接座套28之間；連接座套28上設(shè)置有絲母安裝座29，滾珠絲母24固定在絲母安裝座29上端內(nèi)部，掛架21上設(shè)置有滑套30，絲母安裝座28與滑套30滑動(dòng)配合。

執(zhí)行機(jī)構(gòu)3為智能型多回轉(zhuǎn)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，智能型多回轉(zhuǎn)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括電子控制模塊、電子反饋模塊和機(jī)械限位機(jī)構(gòu)。

該高真空雙插板閥，滾珠絲母24安裝固定在掛臂22上，掛臂22設(shè)置在掛架21內(nèi)側(cè)，掛臂22與掛架21中間位置通過預(yù)緊彈簧20預(yù)緊到掛架21上。先導(dǎo)閥掛架6和先導(dǎo)閥座11焊接在閥板2上，先導(dǎo)閥支架7通過上端銷軸15連接到先導(dǎo)閥掛架6上，同時(shí)，上端銷軸15穿過扭轉(zhuǎn)彈簧8，將扭轉(zhuǎn)彈簧8固定并壓緊在先導(dǎo)閥掛架6和先導(dǎo)閥支架7上，扭轉(zhuǎn)彈簧8的下端與先導(dǎo)閥芯9相抵壓，上端銷軸的穿設(shè)端通過開口銷定位并防脫出。密封環(huán)13通過閥芯壓蓋10固定到先導(dǎo)閥芯9上，并通過內(nèi)六角螺釘緊固，而后，先導(dǎo)閥芯9通過先導(dǎo)閥支架7上的閥芯安裝孔14固定，在關(guān)閉狀態(tài)下，先導(dǎo)閥芯9因扭轉(zhuǎn)彈簧8的作用，壓緊先導(dǎo)閥座11。

下端銷軸20穿過連接塊17將連接塊17與先導(dǎo)閥支架7連接，下端銷軸20的穿設(shè)端用開口銷固定防脫出。傳動(dòng)桿18的下端與連接塊17螺紋連接，另一端穿過掛臂22上的限位孔和設(shè)置在限位孔內(nèi)的導(dǎo)向塊19，并用六角螺母防脫出。

該高真空雙插板閥的工作原理如下：當(dāng)插板閥處于原始關(guān)閉狀態(tài)，需要打開插板閥時(shí)，通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)3輸出一定的力，執(zhí)行機(jī)構(gòu)3帶動(dòng)滾珠絲杠23轉(zhuǎn)動(dòng)，滾珠絲杠23把旋轉(zhuǎn)力，轉(zhuǎn)換為對(duì)滾珠絲母24的提升力，從而提升掛臂22。在掛臂22的運(yùn)動(dòng)初期，掛臂22帶動(dòng)先導(dǎo)閥5的傳動(dòng)桿18，提起先導(dǎo)閥芯9，使先導(dǎo)閥5打開，預(yù)緊彈簧26的預(yù)緊力隨著掛臂22的提升而減小，但是保持閥板2不動(dòng)，閥板2兩側(cè)的壓力因先導(dǎo)閥5的串通而達(dá)到平衡，此時(shí)，閥板2兩側(cè)均不受力。而后，掛臂22繼續(xù)提升，此時(shí)，由于閥板2與掛臂22鉸鏈連接的作用，閥板2往后運(yùn)動(dòng)，閥板2上部先脫離密封面，接著，閥板2下部脫離，掛臂2與掛架21接觸，掛臂22帶動(dòng)掛架21提升，提起閥板2，閥門打開。

當(dāng)插板閥處于開啟狀態(tài)，需要關(guān)閉時(shí)，通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)3輸出一定的力，帶動(dòng)滾珠絲杠23轉(zhuǎn)動(dòng)，滾珠絲杠23把旋轉(zhuǎn)力，轉(zhuǎn)換為對(duì)滾珠絲母24的往下的作用力，掛架21帶動(dòng)閥板2往下運(yùn)動(dòng)。當(dāng)閥板2到達(dá)限位點(diǎn)時(shí)，掛架21繼續(xù)往下運(yùn)動(dòng)，使閥板2下部因鉸鏈結(jié)構(gòu)的作用而向外側(cè)運(yùn)動(dòng)，直到和密封面接觸。此時(shí)，掛架21運(yùn)動(dòng)已經(jīng)停止，滾珠絲杠23的力開始作用到掛臂22上，掛臂22相對(duì)掛架21往下運(yùn)動(dòng)，壓縮預(yù)緊彈簧26，使閥板2上部也和密封面接觸并壓緊密封。與此同時(shí)，因掛臂22往下運(yùn)動(dòng)，使得掛臂22對(duì)先導(dǎo)閥5的傳動(dòng)桿18的限位消失，扭轉(zhuǎn)彈簧8因預(yù)壓力的作用，使先導(dǎo)閥芯9往先導(dǎo)閥座11上運(yùn)動(dòng)，直到關(guān)閉先導(dǎo)閥并密封。閥門運(yùn)作停止，閥門關(guān)閉。

執(zhí)行機(jī)構(gòu)3選用智能型多回轉(zhuǎn)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，安裝在高真空雙插板閥主閥體的上方，作為動(dòng)力源，其帶動(dòng)滾珠絲杠23傳遞輸出力，保證閥門的開啟和關(guān)閉。智能型多回轉(zhuǎn)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)具有電子控制、電子反饋和機(jī)械限位，能夠有效實(shí)現(xiàn)plc控制。在閥板2上增加破真空先導(dǎo)閥后，可隨著閥門的啟閉，自動(dòng)平衡和關(guān)閉閥板兩側(cè)的壓力，可實(shí)現(xiàn)打開時(shí)閥板兩側(cè)壓差為零，同時(shí)，可保護(hù)密封圈和閥門整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，避免因環(huán)境因素和人為因素造成的經(jīng)濟(jì)損失。