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      一種高精度真空腔體直線導(dǎo)向運(yùn)動(dòng)裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11208407閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本實(shí)用新型的一種高精度真空腔體直線導(dǎo)向運(yùn)動(dòng)裝置,包括密封腔體、直線軸承、導(dǎo)向軸、內(nèi)腔體部件、導(dǎo)向軸固定螺絲、密封罩、密封膠層、密封罩固定螺絲和軸承固定螺絲。本實(shí)用新型的密封罩通過密封罩固定螺絲實(shí)現(xiàn)與密封腔體固定安裝,而密封罩與密封腔體的接觸處還設(shè)置有密封膠層來確保密封罩與密封腔體內(nèi)的密封性好,所述密封腔體的中部設(shè)置有直線軸承,垂直貫穿直線軸承的中心設(shè)置有與內(nèi)腔體部件固定連接的導(dǎo)向軸,使導(dǎo)向軸在密封罩和密封腔體處于真空的狀態(tài)下,由電機(jī)為導(dǎo)向軸提供動(dòng)力,使內(nèi)腔體部件在導(dǎo)向軸的驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)能在有限的真空密封空間內(nèi)直接壓緊物體進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng),其真空密封效果好,使貼合機(jī)的貼合效果好,貼合精準(zhǔn)度高,效率高。

      技術(shù)研發(fā)人員:余達(dá)
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:東莞市凱運(yùn)機(jī)械科技有限公司
      文檔號(hào)碼:201720217013
      技術(shù)研發(fā)日:2017.03.08
      技術(shù)公布日:2017.10.10

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