，閥桿11的縱軸線20的位置不改變。在橫向22上移動(dòng)閥桿11時(shí)，閥桿11的縱軸線20在移動(dòng)之后平行于它的在移動(dòng)之前的位置。換言之，在縱向21上和在橫向22上的移動(dòng)是閥桿11的平行移動(dòng)。
[0026]在平行設(shè)置的平面的情況下，閥座6，7位于該平面中，縱向21平行于這些平面。橫向22垂直于這些平面。如果閥座6，7的平面相互間夾成一個(gè)角度，那么縱向21平行于與該角度處于角平分線上的平面，而橫向22垂直于這個(gè)處于角平分線上的平面。
[0027]在真空閥在圖1至7中示出的完全被打開狀態(tài)下，閥桿11位于開始位置。關(guān)閉件9，10位于其打開位置上，在該打開位置上它們完全釋放閥開口 2，3 (在軸線4，5的方向上看)。
[0028]借助于縱向驅(qū)動(dòng)裝置18，閥桿11可以從其開始位置出發(fā)在縱向21上被移動(dòng)到圖8至11中示出的中間位置。在閥桿11的中間位置上，關(guān)閉件9，10占據(jù)其中間位置，在該中間位置上在軸線4，5的方向上看它們覆蓋閥開口 2，3，但是從閥座6，7上升起。
[0029]借助于橫向驅(qū)動(dòng)裝置19，閥桿11可以從出發(fā)中間位置在橫向22上被移動(dòng)到圖12至15中示出的第一終端位置和圖16至19中示出的第二終端位置。在第一終端位置上，第一關(guān)閉件9占據(jù)它的關(guān)閉位置，在該關(guān)閉位置上它被壓緊在第一閥座6上并且關(guān)閉第一閥開口 2。在第二終端位置上，第二關(guān)閉件10占據(jù)它的關(guān)閉位置，在該關(guān)閉位置上它被壓緊在第二閥座7上并且關(guān)閉第二閥開口 3。相應(yīng)的閥開口 2，3的關(guān)閉是真空密封的?！罢婵彰芊獾摹痹诒疚墨I(xiàn)的范圍中應(yīng)該指，在真空閥的真空區(qū)中維持可以在至少大于一個(gè)小時(shí)上維持小于1.10至3mBar的真空度(在此處假設(shè)，另一個(gè)閥開口是完全密封的；在實(shí)際中它與一個(gè)抽真空的室，例如真空腔連接)。
[0030]在閥桿11的位于閥殼I外部的部段上固定傳遞件23。傳遞件23與閥桿11在縱向和橫向上不可移動(dòng)地連接。
[0031]傳遞件23由在縱向21上不可移動(dòng)地被保持的導(dǎo)向件24在縱向21上可移動(dòng)地導(dǎo)向。導(dǎo)向件24形成用于傳遞件23在縱向21上的線性導(dǎo)向。傳遞件在實(shí)施例中以滑動(dòng)軸承的形式構(gòu)成，如這是優(yōu)選的。
[0032]傳遞件23至少由全部的導(dǎo)向件24 —起在橫向22上不可移動(dòng)地被保持。在實(shí)施例中，傳遞件23由每個(gè)導(dǎo)向件24單獨(dú)地在橫向22上不可移動(dòng)地被保持。
[0033]傳遞件23和導(dǎo)向件24位于真空閥的真空區(qū)外部。
[0034]示出的實(shí)施例的傳遞件23也可以稱為軛。
[0035]導(dǎo)向部件24以桿的形式構(gòu)成和穿過傳動(dòng)件23的空隙25?？障?5在橫向22上朝著傳動(dòng)件23的邊緣分別是敞開的并且在大于180°上圍住相應(yīng)的導(dǎo)向件24。由此傳遞件23可以相對(duì)于相應(yīng)的導(dǎo)向件24在縱向21上移動(dòng)，但是在橫向22上被不可移動(dòng)地保持。
[0036]用于傳遞件23的在縱向21上的線性導(dǎo)向也可以以另外的方式構(gòu)成。導(dǎo)向件24可以在與線性導(dǎo)向不同的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)中例如分別具有突入一個(gè)底切的(側(cè)凹的)槽中的部段和位于該底切的(側(cè)凹的)槽外部的部段，例如按照燕尾槽導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的方式。替代示出的圓柱形結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向件24，它們例如可以具有不同的橫截面的桿形的結(jié)構(gòu)。
[0037]在導(dǎo)向件24上分別固定以活塞桿的形式構(gòu)成的橫向驅(qū)動(dòng)部件26。該固定在導(dǎo)向件24的這樣的位置上進(jìn)行，它們?cè)趥鲃?dòng)件23縱向移動(dòng)時(shí)位于在空隙25的關(guān)于橫向朝著傳動(dòng)件23的邊緣敞開的區(qū)域中。該固定也可以在這樣的位置上進(jìn)行，它們?cè)趥鲃?dòng)件23的整個(gè)移動(dòng)行程上在閥桿11從其開始位置到其中間位置的移動(dòng)期間在側(cè)面位于(關(guān)于縱向21)傳遞件23旁邊。在這種情況下，導(dǎo)向件24也可以穿過朝著傳動(dòng)件23的邊緣封閉的(通過傳遞件23的孔的形式的)空隙25。
[0038]在實(shí)施例中，以活塞桿的形式構(gòu)成的橫向驅(qū)動(dòng)部件26固定在橫向驅(qū)動(dòng)裝置29的活塞27上。橫向驅(qū)動(dòng)裝置19的活塞27位于缸室28中。缸室28在示出的實(shí)施例中由橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼的內(nèi)室形成。橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼包括兩個(gè)剛性地相互連接的基體29。為了形成缸室28，缸室具有由蓋子30封閉的空隙。橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼29，30剛性地與閥殼I連接。
[0039]關(guān)于垂直于縱向21和橫向22的方向，在閥桿11的兩側(cè)各布置兩個(gè)導(dǎo)向件24。換言之，各有兩個(gè)導(dǎo)向件24位于一個(gè)平行于縱向和橫向21，22和穿過縱軸線20的平面的兩偵U。所述平面的每側(cè)上的兩個(gè)導(dǎo)向件24在橫向19上相互相間隔，其中，它們位于一個(gè)平行于縱向21和垂直于橫向22并且穿過閥桿的縱軸線20的平面的兩側(cè)。固定在位于最后所述平面兩側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)向件24上的橫向驅(qū)動(dòng)部件26處于與導(dǎo)向件24相互離開地指向的方向上(該方向平行于橫向22)。
[0040]在示出的實(shí)施例中，每個(gè)活塞27經(jīng)由兩個(gè)以活塞桿的形式構(gòu)成的橫向驅(qū)動(dòng)部件26與相應(yīng)的導(dǎo)向件24連接。取而代之地，也可以僅僅經(jīng)由一個(gè)橫向驅(qū)動(dòng)部件26實(shí)現(xiàn)這種連接。
[0041]導(dǎo)向件24通過其與橫向驅(qū)動(dòng)部件26的連接在縱向21上不可移動(dòng)地被保持和可以由橫向驅(qū)動(dòng)裝置19在橫向22上移動(dòng)。在實(shí)施例中，導(dǎo)向件24的在橫向22上可移動(dòng)的導(dǎo)向包括在橫向22上可移動(dòng)地支承橫向驅(qū)動(dòng)部件26的導(dǎo)向以及在橫向22上的活塞27的可移動(dòng)的導(dǎo)向?；钊?7由缸室28的邊緣在橫向22上可移動(dòng)地導(dǎo)向和橫向驅(qū)動(dòng)部件26由在橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼中的開口 31的邊緣(參見圖21)在橫向22上可移動(dòng)地導(dǎo)向，橫向驅(qū)動(dòng)部件26延伸通過該開口。此外，在活塞27上設(shè)置導(dǎo)向栓51，它們?cè)诨w29中的在橫向22上延伸的導(dǎo)向孔52中(參見圖21)在橫向上可移動(dòng)地導(dǎo)向。在橫向22上可移動(dòng)的導(dǎo)向也可以以不同的方式實(shí)現(xiàn)，例如導(dǎo)向栓21和導(dǎo)向孔52可以取消或者僅僅活塞27可以在橫向22上可移動(dòng)地導(dǎo)向。
[0042]為了在縱向上調(diào)節(jié)傳動(dòng)件23，縱向驅(qū)動(dòng)部件32與傳遞件23連接，縱向驅(qū)動(dòng)部件由活塞桿形成，在其上安裝縱向驅(qū)動(dòng)裝置18的活塞33?；钊?3布置在缸室34中。在實(shí)施例中，缸室由縱向驅(qū)動(dòng)裝置外殼的內(nèi)室形成?？v向驅(qū)動(dòng)裝置外殼為此具有帶有空隙的基體35，空隙被蓋子36a，36b封閉。形成縱向驅(qū)動(dòng)部件32的活塞桿延伸通過蓋子36b的孔。
[0043]縱向驅(qū)動(dòng)裝置外殼35，36與橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼29，30剛性地連接。
[0044]縱向驅(qū)動(dòng)部件32，其本身在橫向22上是不可移動(dòng)的，與傳遞件23在橫向22上可移動(dòng)地連接。為此，它們(縱向驅(qū)動(dòng)部件)在實(shí)施例中穿過在縱向21上延伸通過傳遞件23的通孔37，它們的凈寬度在橫向22上分別大于縱向驅(qū)動(dòng)部件32在橫向22上的延伸長(zhǎng)度。相應(yīng)的通孔37由被保持在傳遞件23中的孔中的連接銷38橫向穿過。連接銷38在有間隙下延伸通過縱向驅(qū)動(dòng)裝置部件32中的孔39 (參見圖21)，由此縱向驅(qū)動(dòng)部件32可以相對(duì)于連接件38在橫向22上移動(dòng)。
[0045]在在活塞33的相對(duì)置的一側(cè)上從傳遞件23突出的部段上，縱向驅(qū)動(dòng)裝置部件32至少在閥桿11的中間位置和在終端位置上由橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼29，30在橫向22上被不可移動(dòng)地保持。為此在實(shí)施例中，橫向驅(qū)動(dòng)部件26被移動(dòng)到被保持橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼29，30的空隙中的套筒40中(參見圖21，22)，橫向驅(qū)動(dòng)部件26可以相對(duì)于該套筒在縱向21上移動(dòng)。
[0046]縱向驅(qū)動(dòng)部件32與傳遞件23在橫向22上可移動(dòng)的連接也可以以不同于所示的方式設(shè)想和實(shí)現(xiàn)。例如在傳遞件23和相應(yīng)的縱向驅(qū)動(dòng)部件32之間也可以設(shè)置鉸鏈?zhǔn)降倪B接，其中，對(duì)于平行于縱向21的兩個(gè)移動(dòng)方向可以設(shè)置不同的縱向驅(qū)動(dòng)部件32或者可以通過彈簧實(shí)現(xiàn)在一個(gè)方向上的移動(dòng)。
[0047]在實(shí)施例中，設(shè)置兩個(gè)縱向驅(qū)動(dòng)部件32，它們關(guān)于垂直于縱向21和垂直于橫向22的方向布置在閥桿11的相對(duì)置的側(cè)面上并且分別與傳遞件23連接。
[0048]傳動(dòng)件23在閥桿11上的固定在示出的實(shí)施例中借助于夾持件41 (參見圖21)實(shí)現(xiàn)，它擰接在傳動(dòng)件23的基體上。在夾持件41取下的狀態(tài)下，閥桿11可以從傳遞件23拉出來。
[0049]在實(shí)施例中，橫向驅(qū)動(dòng)裝置19如描述的那樣包括形成缸室28的橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼29，30、活塞27和橫向驅(qū)動(dòng)部件26。對(duì)于每個(gè)活塞27例如也可以設(shè)置單獨(dú)的缸，它們?cè)诳v向和橫向21，22上不可移動(dòng)地與閥殼I連接。
[0050]在實(shí)施例中，縱向驅(qū)動(dòng)裝置包括具有缸室34的縱向驅(qū)動(dòng)裝置外殼35，36、布置在缸室34中的活塞33和縱向驅(qū)動(dòng)部件32。例如可以為每個(gè)活塞33也設(shè)置一個(gè)自己的缸，該缸在縱向和橫向21，22上不可移動(dòng)地與閥殼I連接(例如經(jīng)由橫向驅(qū)動(dòng)裝置外殼)。
[0051]在閥桿11的第一和第二終端位置上，閥桿在位于閥殼I外部的一個(gè)部段中，該部段從閥桿11與傳遞件23的連接區(qū)域在Z閥桿11與閥殼I遠(yuǎn)離的端部的方向上延伸，支承在相應(yīng)的橫向止擋42，43上。橫向止擋42，43在實(shí)施例中安裝在縱向驅(qū)動(dòng)裝置外殼的基體35并且是在基體35的開口 44中，閥桿11突入到該開口中。在相應(yīng)的橫向止擋42，43上的止擋最好在閥桿11的端部區(qū)域中實(shí)現(xiàn)。在實(shí)施例中在閥桿上安裝止擋件45用于止擋在相應(yīng)的橫向止擋42，43上。
[0052]通過使閥桿11在相應(yīng)的終端位置上支承在相應(yīng)的橫向止擋42，43上，橫向驅(qū)動(dòng)裝置19不必承受任何傾覆力矩。閥桿11支承在橫向驅(qū)動(dòng)裝置19的兩側(cè)(一方面經(jīng)由相應(yīng)的關(guān)閉件9，10支承在相應(yīng)的閥座6，7上和另一方面支承在相應(yīng)的橫向止擋42，43上)和由橫向驅(qū)動(dòng)裝置19加載彎曲負(fù)荷。
[0053]為了使閥桿11從圖4至7中示