一種用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)。
【背景技術(shù)】
[0002] 半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，曝光機(jī)臺(tái)對(duì)位是光刻技術(shù)中非常重要的一項(xiàng)內(nèi)容，在曝 光之前，硅片的位置必須由自動(dòng)對(duì)位系統(tǒng)盡可能精確的確定下來(lái)，為了確保每次X-Y方向 工作臺(tái)的精度及穩(wěn)定性，絲桿的潔凈度相當(dāng)重要。
[0003] 由于絲桿頻繁的來(lái)回移動(dòng)，在磨擦阻力的作用下，會(huì)使附著在絲桿上的潤(rùn)滑油脂 變黑，這些變黑的潤(rùn)滑油脂會(huì)與空氣中的顆粒等相結(jié)合，產(chǎn)生碳化物，從而導(dǎo)致絲桿阻力不 均衡，X-Y方向工作臺(tái)的定位難等問(wèn)題。因此，對(duì)保養(yǎng)絲桿的保養(yǎng)是必不可少的步驟，其中 涉及保養(yǎng)絲桿的轉(zhuǎn)盤(pán)尤為重要。
[0004] 現(xiàn)有的用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)結(jié)構(gòu)如圖1-圖3所示，包括：轉(zhuǎn)盤(pán)1，轉(zhuǎn)盤(pán)包括前轉(zhuǎn)盤(pán) 11和后轉(zhuǎn)盤(pán)12,其中，后轉(zhuǎn)盤(pán)12的直徑大于前轉(zhuǎn)盤(pán)11的直徑，前轉(zhuǎn)盤(pán)11和后轉(zhuǎn)盤(pán)12固定 連接在一起，前轉(zhuǎn)盤(pán)11和后轉(zhuǎn)盤(pán)12的中心位置均設(shè)置有中心圓孔5,且所述前轉(zhuǎn)盤(pán)11和后 轉(zhuǎn)盤(pán)12的中心圓孔對(duì)齊且圓孔的大小相同，后轉(zhuǎn)盤(pán)12邊緣位于直徑線(xiàn)上的兩個(gè)相對(duì)位置 具有凹槽3。另外在前轉(zhuǎn)盤(pán)11的側(cè)壁上設(shè)置有與中心孔垂直且連通的螺釘孔4。
[0005] 在使用時(shí)，通過(guò)前轉(zhuǎn)盤(pán)11和后轉(zhuǎn)盤(pán)12的中心孔將轉(zhuǎn)盤(pán)套入馬達(dá)軸上，通過(guò)凹槽3 將轉(zhuǎn)盤(pán)與馬達(dá)底座固定，在螺釘孔4內(nèi)擰入M3*20的長(zhǎng)型內(nèi)六角螺釘6,馬達(dá)軸的截面圖形 為，由線(xiàn)段及與線(xiàn)段兩端閉合連接的弧線(xiàn)所圍的圖形，內(nèi)六角螺釘6擰入螺釘孔4并在中心 孔露出內(nèi)六角螺釘6的端部來(lái)抵住馬達(dá)軸，這樣可以將轉(zhuǎn)盤(pán)1與馬達(dá)軸固定，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)前轉(zhuǎn) 盤(pán)1帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)1轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)與轉(zhuǎn)盤(pán)1固定的馬達(dá)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0006] 現(xiàn)有的用于保養(yǎng)絲桿的轉(zhuǎn)盤(pán)，保養(yǎng)絲桿的步驟是：1、將轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)轉(zhuǎn)盤(pán)的中心孔套 入馬達(dá)軸；2、采用型號(hào)為M3*20的內(nèi)六角螺釘將轉(zhuǎn)盤(pán)固定在馬達(dá)軸上；3、手抓前轉(zhuǎn)盤(pán)，順/ 逆時(shí)針?lè)较蜻M(jìn)行間歇式半圈移位來(lái)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)，在其作用力下使馬達(dá)帶動(dòng)絲桿前后移動(dòng)。
[0007] 但是，利用現(xiàn)有轉(zhuǎn)盤(pán)進(jìn)行絲桿保養(yǎng)具有以下缺陷：
[0008] ( 1)現(xiàn)有轉(zhuǎn)盤(pán)不能直接與馬達(dá)軸固定，需要通過(guò)六角螺釘將馬達(dá)軸與轉(zhuǎn)盤(pán)固定且 -者固定后不夠穩(wěn)固；
[0009] (2)現(xiàn)有轉(zhuǎn)盤(pán)在保養(yǎng)絲桿過(guò)程中，需要手抓前轉(zhuǎn)盤(pán)來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)，費(fèi)力，費(fèi)時(shí)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 本發(fā)明提供了一種用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)，用以解決現(xiàn)有的用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)， 不能與馬達(dá)軸良好的固定，在使用過(guò)程中費(fèi)力費(fèi)時(shí)的問(wèn)題。
[0011] 本發(fā)明提供了一種用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)，包括：
[0012] 盤(pán)體，所述盤(pán)體的中心位置設(shè)置有能夠與帶動(dòng)絲桿運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)軸相卡合的鎖位 孔；
[0013] 手柄裝置，與距離所述盤(pán)體的邊緣設(shè)定距離，垂直與所述盤(pán)體固定連接，在逆/順 時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)所述盤(pán)體轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0014] 優(yōu)選地，所述鎖位孔的截面形狀與所述馬達(dá)軸的截面形狀相吻合。
[0015] 一般，馬達(dá)軸的形狀為不規(guī)則的圓形，因此，將鎖位孔的截面形狀設(shè)計(jì)為與馬達(dá)軸 的截面形狀相吻合的形狀，能夠使轉(zhuǎn)盤(pán)在套入馬達(dá)軸時(shí)，更加方便快捷。
[0016] 優(yōu)選地，所述鎖位孔的截面圖形為，由線(xiàn)段及與線(xiàn)段兩端閉合連接的弧線(xiàn)所圍的 圖形。
[0017] 這樣，當(dāng)鎖位孔的形狀與馬達(dá)軸的形狀相同時(shí)，將帶有該鎖位孔的轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)該鎖 位孔套入馬達(dá)軸即可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)盤(pán)與馬達(dá)軸的固定。
[0018] 優(yōu)選地，所述手柄裝置包括固定在一起的手持部與外壁帶有螺紋的連接部；
[0019] 所述盤(pán)體上與距離所述盤(pán)體的邊緣設(shè)定距離的位置，具有與所述連接部上的螺紋 相匹配的螺紋孔，并且，所述螺紋孔的深度小于所述連接部的長(zhǎng)度；
[0020] 所述手柄裝置的連接部擰入所述螺紋孔，并通過(guò)擰在所述連接部端部螺紋上的螺 母，將所述連接部與所述盤(pán)體固定。
[0021] 這樣可以防止手柄裝置通過(guò)連接部的螺紋與盤(pán)體上的螺紋孔連接后，通過(guò)逆/順 時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)手柄裝置時(shí)，可能會(huì)使手柄裝置的連接部擰出螺紋孔的情況出現(xiàn)。
[0022] 優(yōu)選地，所述手柄裝置包括固定在一起的手持部與中心帶有螺紋孔的連接部；
[0023] 所述盤(pán)體上與距離所述盤(pán)體的邊緣設(shè)定距離的位置，具有與所述連接部相匹配的 固定孔；
[0024] 所述手柄裝置的連接部插入所述固定孔，并通過(guò)擰入所述螺紋孔的螺釘將所述連 接部與所述盤(pán)體固定。
[0025] 在連接部的中心設(shè)置螺紋孔，當(dāng)連接部插入固定孔之后，將與該螺紋孔相符的螺 釘擰入螺紋孔，利用螺釘將手柄裝置和盤(pán)體固定。
[0026] 優(yōu)選地，所述固定孔的深度小于所述盤(pán)體的厚度，所述盤(pán)體上與手柄裝置相對(duì)的 一側(cè)具有與所述固定孔連通的第一階梯孔，所述第一階梯孔與所述螺釘?shù)穆葆斆毕嗥ヅ洹?br>[0027] 這樣可以使螺釘帽能夠嵌入該孔中，從而更加節(jié)省空間，制作出來(lái)的產(chǎn)品更加美 觀(guān)。
[0028] 優(yōu)選地，所述固定孔的深度小于盤(pán)體的厚度，所述盤(pán)體上固定手柄裝置的一側(cè)具 有與所述固定孔連通的第二階梯孔，所述第二階梯孔與所述手持部相匹配。
[0029] 這樣可以使螺釘帽能夠嵌入該孔中，從而更加節(jié)省空間，制作出來(lái)的產(chǎn)品更加美 觀(guān)。
[0030] 優(yōu)選地，所述手柄裝置與所述盤(pán)體為一體式連接方式。
[0031] 這樣可以提高轉(zhuǎn)盤(pán)的生產(chǎn)效率。
[0032] 優(yōu)選地，所述鎖位孔的深度小于所述盤(pán)體的厚度，且小于所述馬達(dá)軸的長(zhǎng)度。
[0033] 這樣，可以避免轉(zhuǎn)盤(pán)在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)與馬達(dá)底座發(fā)生摩擦，從而在操作轉(zhuǎn)盤(pán)時(shí)達(dá)到省力、 省時(shí)的目的。
[0034] 優(yōu)選地，所述盤(pán)體的外壁采用凹凸結(jié)構(gòu)。
[0035] 可以增強(qiáng)附著力，在轉(zhuǎn)盤(pán)外壁沾上油脂后，轉(zhuǎn)盤(pán)不易脫落。
[0036] 利用本發(fā)明提供的用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)，具有以下有益效果：能夠解決現(xiàn)有的用 于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)，不能與馬達(dá)軸良好的固定，在使用過(guò)程中費(fèi)力費(fèi)時(shí)的問(wèn)題，通過(guò)手柄裝 置使工作人員在使用轉(zhuǎn)盤(pán)時(shí)，更加省力省時(shí)，通過(guò)鎖位孔使轉(zhuǎn)盤(pán)和馬達(dá)軸能夠更加方便、良 好的固定。
【附圖說(shuō)明】
[0037] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)的轉(zhuǎn)盤(pán)主視圖；
[0038] 圖2為圖1的右側(cè)視圖；
[0039] 圖3為圖1裝上螺釘后從轉(zhuǎn)盤(pán)中心切割后的剖視圖；
[0040]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的轉(zhuǎn)盤(pán)帶有鎖位孔面的主視圖；
[0041] 圖5為圖4的有側(cè)視圖；
[0042] 圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的方式1中的手柄裝置剖視圖；
[0043] 圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的方式1中手柄裝置與盤(pán)體通過(guò)螺紋孔及嵌入孔連接后 的剖視圖；
[0044] 圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的方式2中的手柄裝置剖視圖；
[0045] 圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的方式2中的盤(pán)體剖視圖；
[0046] 圖10為本發(fā)明實(shí)施例提供的嵌入軸承后盤(pán)體的主視圖；
[0047] 圖11為本發(fā)明實(shí)施例提供的未嵌入軸承時(shí)盤(pán)體的剖視圖；
[0048] 圖12為本發(fā)明實(shí)施例提供的手柄裝置與盤(pán)體通過(guò)軸承連接后的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0049] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明。
[0050] 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種用于絲桿保養(yǎng)的轉(zhuǎn)盤(pán)，如圖4和圖5所示，包括：
[0051] 盤(pán)體1，所述盤(pán)體1的中心位置設(shè)置有能夠與帶動(dòng)絲桿運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)軸相卡合的鎖 位孔2 ;
[0052] 手柄裝置3,與距離所述盤(pán)體1的邊