板8。因此，下面板3和輔助彈性體6彼此氣密地連接，輔助彈性體6的內(nèi)部和外部之間通過下面板3和輔助彈性體6之間的間隙所進(jìn)行的連通被阻斷。
[0043]此外，支承座部12形成有多個螺栓孔14，緊固螺栓13通過該螺栓孔14插入。如圖2所示，螺栓孔14沿軸線O方向貫通支承座部12并且沿周向間隔地布置為多個。在從軸線O方向的上側(cè)觀察的俯視圖中，多個螺栓孔14沿周向等間隔地布置在環(huán)繞軸線O的同一圓上。
[0044]此外，如圖1所示，在支撐部12中，與輔助彈性體6的內(nèi)部和隔膜5的內(nèi)部連通的給排孔15沿軸線O方向貫通。給排孔15與軸線O同軸地布置，并且通過輔助彈性體6的內(nèi)部與連通筒狀部7a的內(nèi)部連通。
[0045]此外，在示出的實施例中，母螺紋部15a形成于給排孔15，包含在用于向上舉升下面板3的懸掛裝置(未示出)中的懸掛螺栓可以擰入母螺紋部15a。
[0046]在輔助彈性體6的上板8中，位于支承座部12的徑向外側(cè)的外周緣部被環(huán)狀橡膠座16從上側(cè)和徑向外側(cè)覆蓋。橡膠座16的內(nèi)周緣部介于下面板3的支承座部12和輔助彈性體6的上板8之間。
[0047]樹脂板部11的下表面與支承座部12的上表面接觸。此外，樹脂板部11的外徑與支承座部12的大徑部12a的外徑相等。樹脂板部11在軸線O方向上比支承座部12薄。此夕卜，在樹脂板部11中，在與支承座部12的螺栓孔14對應(yīng)的位置處形成有插入孔11a，插入孔Ila與螺栓孔14同軸并且當(dāng)從上表面觀察時具有相同的形狀和相同的尺寸。此外，在樹脂板部11中，在與支承座部12的給排孔15對應(yīng)的位置處形成有連通孔11b，連通孔Ilb的直徑比給排孔15的直徑大并且該連通孔Ilb與隔膜5的內(nèi)部和給排孔15連通。
[0048]此外，優(yōu)選使用摩擦系數(shù)比用于形成支承座部12的材料的摩擦系數(shù)小的材料作為用于形成樹脂板部11的樹脂材料。例如，采用熱塑性樹脂、熱固性樹脂等作為該樹脂材料，優(yōu)選采用聚乙烯、聚縮醛等。
[0049]上面板2包括主體板部17和突起部(接觸部)18，主體板部17的外徑比筒狀膜構(gòu)件4的外徑大，伸出部18從主體板部17的徑向中央部向下(在軸線方向上朝向隔膜的內(nèi)側(cè))伸出。主體板部17和伸出部18布置成與軸線O同軸。
[0050]伸出部18形成為有底的筒狀并且在軸線O方向上面對下面板3的樹脂板部11。伸出部18的外徑與樹脂板部11的外徑相等。
[0051]此外，在主體板部17中，位于伸出部18的徑向外側(cè)的外周側(cè)部被環(huán)狀橡膠膜19從下側(cè)覆蓋。在伸出部18和橡膠膜19之間設(shè)置徑向間隙。
[0052]此外，上面板2設(shè)置有貫通筒部20，該貫通筒部20沿軸線O方向貫通主體板部17和伸出部18，并且隔膜5的內(nèi)部和外部通過該貫通筒部20彼此連通。貫通筒部20的下端面與伸出部18的下表面共面。貫通筒部20的上端部在主體板部17的上方突出。例如，上述氣體供給部件、輔助罐等氣密地連接到貫通筒部20的上端部。
[0053]筒狀膜構(gòu)件4具有撓性，例如由彈性體材料形成，該彈性體材料優(yōu)選為橡膠材料等。此外，筒狀膜構(gòu)件4的開口端部4a、4b中的上開口端部4a氣密地且從外側(cè)裝配到上面板2的伸出部18并且布置在伸出部18和橡膠膜19的之間的間隙中。此外，開口端部4a、4b中的下開口端部4b氣密地且從外側(cè)裝配到下面板3的支承座部12并且布置在橡膠座16上。
[0054]此外，筒狀膜構(gòu)件4的中間部4c從輔助彈性體6的上板8向徑向外側(cè)突出。中間部4c經(jīng)由設(shè)置在下面板3側(cè)的橡膠座16從上側(cè)和徑向外側(cè)與輔助彈性體6的上板8接觸。此外，中間部4c經(jīng)由設(shè)置在上面板2側(cè)的橡膠膜19從下側(cè)與上面板2的主體板部17接觸。
[0055]上面板2的伸出部18和下面板3的樹脂板部11在氣體填充在隔膜5中的填充狀態(tài)下沿軸線O方向彼此分離并且彼此面對。如圖3所示，在隔膜5的內(nèi)部排氣后的排氣狀態(tài)下，伸出部18和樹脂板部11能夠滑動地彼此接觸。
[0056]在本實施方式中，如圖1所示，在填充狀態(tài)下的隔膜5中，隔膜空間S形成為包括中央空間SI和外周空間S2，中央空間SI位于上面板2的伸出部18和下面板3的樹脂板部11之間，外周空間S2位于筒狀膜構(gòu)件4中、沿整周延伸并且從徑向外側(cè)連接到中央空間Sl0
[0057]在填充狀態(tài)下，上面板2側(cè)的貫通筒部20的內(nèi)部和下面板3側(cè)的給排孔15分別通過位于上面板2的伸出部18和下面板3的樹脂板部11之間的中央空間SI與筒狀膜構(gòu)件4中的外周空間S2連通。在填充狀態(tài)下，例如，氣體通過給排孔15供給到貫通筒部20的內(nèi)部或隔膜5的內(nèi)部或者從貫通筒部20的內(nèi)部或隔膜5的內(nèi)部排出，由此調(diào)節(jié)隔膜5中的壓力。
[0058]此外，當(dāng)在填充狀態(tài)下氣體通過貫通筒部20的內(nèi)部或給排孔15從隔膜5的內(nèi)部排出時，中央空間SI和外周空間S2分別逐漸減小。此外，上面板2的伸出部18和下面板3的樹脂板部11沿軸線O方向逐漸彼此靠近。此外，筒狀膜構(gòu)件4逐漸地經(jīng)歷收縮變形。此夕卜，如圖3所示，當(dāng)進(jìn)入排氣狀態(tài)，伸出部18和樹脂板部11彼此接觸，中央空間SI消失。
[0059]在排氣狀態(tài)下，上面板2的伸出部18和下面板3的樹脂板部11在相互接觸的狀態(tài)下滑動。因此，上面板2和下面板3能夠沿徑向相對移動。
[0060]此外，在本實施方式中，樹脂板部11設(shè)置有接合部22A和22B，該接合部22A和22B通過與設(shè)置于支承座部12的被接合部21A和21B接合來限制樹脂板部11相對于支承座部12的在軸線O方向和徑向各方的相對移動。
[0061]在示出的實施例中，作為接合部22A和22B以及被接合部21A和21B，包括第一接合部22A和與第一接合部22A接合的第一被接合部21A，第一接合部22A具有筒狀部23，筒狀部23從樹脂板部11的外周緣向下(隔膜的軸線方向外側(cè))延伸并且從外側(cè)裝配到支承座部12。此外，包括第二接合部22B和與第二接合部22B接合的第二被接合部21B，第二接合部22B具有柱狀部24，柱狀部24從位于樹脂板部11的外周緣內(nèi)側(cè)的部分向下延伸。
[0062]第一被接合部21A以槽狀形成在支承座部12的外周面。在本實施方式中，第一被接合部21A在支承座部12的小徑部12b中沿周向在整周上延伸。在沿著軸線O的縱向截面中觀察時，第一被接合部21A的形狀為邊部沿軸線O方向和徑向延伸的矩形形狀。
[0063]第一接合部22A的筒狀部23從外側(cè)裝配到支承座部12的小徑部12b。筒狀部23的外周面與支承座部12的大徑部12a的外周面共面。此外，筒狀部23介于支承座部12的小徑部12b和筒狀膜構(gòu)件4的下開口端部4b之間。
[0064]在筒狀部23的內(nèi)周面上，布置在第一被接合部21A中的突起部25向徑向內(nèi)側(cè)突出。突起部25形成為沿周向在整周上延伸的環(huán)狀，突起部25和第一被接合部21A具有相同的形狀和相同的尺寸。
[0065]根據(jù)上述第一接合部22k和第一被接合部21A，第一接合部22k的筒狀部23從外側(cè)裝配到支承座部12。因此，能夠通過筒狀部23的內(nèi)周面與支承座部12的外周面之間的接觸來限制樹脂板部11和支承座部12之間的沿徑向的相對移動。
[0066]此外，第一接合部22A的突起部25布置在第一被接合部21A中。因此，能夠通過突起部25和第一被接合部21A的內(nèi)表面之間的接觸來限制樹脂板部11和支承座部12之間的沿軸線O方向的相對移動。
[0067]第二被接合部21B包括沿軸線O方向貫通支承座部12的通孔26和形成在通孔26的內(nèi)周面上的接合凹部27。
[0068]如圖2所示，多個通孔26在支承座部12中沿周向間隔地布置在螺栓孔14的徑向內(nèi)側(cè)。當(dāng)從上面觀察時，多個通孔26沿周向等間隔地布置在環(huán)繞軸線O的同一圓上。
[0069]此外，如圖1所示，接合凹部27以槽狀沿整周形成在通孔26的內(nèi)周面上，并且朝向支承座部12的下表面開口。在縱向截面中觀察時，接合凹部27的形狀為各邊部沿軸線O方向和徑向延伸的矩形形狀。
[0070]第二接合部22B的多個柱狀部24沿周向間隔地布置，并且插入各通孔26中。通孔26和插入通孔26中的柱狀部24具有相同的形狀和相同的尺寸。
[0071]各柱狀部24均設(shè)置有接合凸部28，接合凸部28布置在第二被接合部21B的接合凹部27中。接合凸部28形成為在柱狀部24的外周面沿整周延伸的環(huán)狀。此外，接合凸部28和接合凹部27具有相同的形狀和相同的尺寸。
[0072]根據(jù)上述第二接合部22B和第二被接合部21B，第二接合部22B的柱狀部24插入第二被接合部21B的通孔26中。因此，能夠通過柱狀部24和通孔26的內(nèi)周面之間的接觸來限制樹脂板部11和支承座部12之間的沿徑向的相對移動。
[0073]此外，第二接合部22B和第二被接合部21B分別設(shè)置為多個。因此，多個柱狀部24和通孔26的內(nèi)周面彼此接觸，由此能夠限制樹脂板部11和支承座部12之間的沿周向的相對移動。
[0074]此外