滑動(dòng)式回壓關(guān)斷閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種回壓關(guān)斷閥，該回壓關(guān)斷閥在維持應(yīng)用于半導(dǎo)體及LCD等的半導(dǎo)體制造過程或化學(xué)產(chǎn)品制造過程等的一定壓力或者將氣體等流體的流動(dòng)維持正方向的配管系統(tǒng)突然發(fā)生大氣流入或流體反向流動(dòng)現(xiàn)象時(shí)迅速地關(guān)斷而能夠予以防止，更具體地說，涉及如下的滑動(dòng)式回壓關(guān)斷閥:其包括:閥主體，其由流體流入部、流體流出部及流體通過空間部構(gòu)成；移送體，其上部安裝了所述流體回壓時(shí)關(guān)斷流體流動(dòng)的關(guān)斷板，且在回壓關(guān)斷時(shí)，該移送體向所述流體通過空間部水平移動(dòng)；以及移送體移動(dòng)單元，其使所述移送體水平移動(dòng)，平時(shí)由于閥的流體空間通路沒有阻礙物而像直管一樣地不妨礙流體的流動(dòng)，當(dāng)配管內(nèi)發(fā)生回壓時(shí)所述移送體水平移動(dòng)到關(guān)斷位置，在所述關(guān)斷位置，安裝在所述移送體的關(guān)斷板浮起而關(guān)斷流體的流動(dòng)，從而在發(fā)生粉末的制程也能順利地運(yùn)行。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上等通常會(huì)使用真空設(shè)備，此時(shí)為了形成真空而使用真空栗。所述半導(dǎo)體制造設(shè)備在真空狀態(tài)(或非常低的氣壓狀態(tài))下進(jìn)行沉積或蝕刻之類的基本處理，真空栗忽然發(fā)生故障或停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)大氣壓會(huì)倒過來流入到真空設(shè)備內(nèi)，在真空室內(nèi)的產(chǎn)品上生成粒子(particle)，從而對(duì)所述基本處理造成較大損失。
[0003]為了防止該問題而在真空室與真空栗之間使用回壓關(guān)斷閥，如專利授權(quán)第706661號(hào)所示，現(xiàn)有的回壓關(guān)斷閥中執(zhí)行回壓關(guān)斷功能的關(guān)斷板是憑借重力進(jìn)行動(dòng)作的，其結(jié)構(gòu)是流路折彎一次以上的蜿蜒(meander)形態(tài)，因此瞬間流速增加及流體發(fā)生流動(dòng)時(shí)非常脆弱。
[0004]而且，半導(dǎo)體等的制造過程中化學(xué)氣相沉積(CVD:Chemical Vapor Deposit1n)制程是一種在真空狀態(tài)下噴射反應(yīng)氣體后在晶片上涂敷薄膜的制程，制程進(jìn)行完畢后分解的二氧化硅(S12)及氧化鋁(Al2O3)之類的粒子狀物質(zhì)(以下簡稱“粉末(powder)”)會(huì)發(fā)生很多，由于所述回壓關(guān)斷閥的關(guān)斷板一直暴露于流路，因此所述粉末將導(dǎo)致所述關(guān)斷板變形而在關(guān)斷時(shí)影響到準(zhǔn)確壓力下的反復(fù)動(dòng)作性及準(zhǔn)確密封(sealing)性。
[0005]而且，如果所述粉末層疊在關(guān)斷板上，由于回壓關(guān)斷時(shí)所述關(guān)斷板與密封件之間存在粉末而導(dǎo)致無法準(zhǔn)確地密封，因此發(fā)生泄漏而無法實(shí)行回壓關(guān)斷功能。
[0006]而且，層疊在所述關(guān)斷板上的粉末會(huì)引起關(guān)斷板的質(zhì)量變化，該現(xiàn)象會(huì)在關(guān)斷時(shí)增加關(guān)斷板的上升壓力而使得關(guān)斷板無法浮起，從而造成無法關(guān)斷回壓的嚴(yán)重問題。
[0007]而且，通用的一般閘閥(gate valve)無法執(zhí)行回壓關(guān)斷功能，雖然由于其結(jié)構(gòu)不具備流路曲折的蜿蜒(meander)形態(tài)而沒有對(duì)瞬間流速增加及流體流動(dòng)脆弱的問題，但粉末長時(shí)間層疊到內(nèi)部驅(qū)動(dòng)部及關(guān)斷板上時(shí)粉末將存在于關(guān)斷板與密封件之間而導(dǎo)致無法準(zhǔn)確地密封，從而發(fā)生泄漏而無法發(fā)揮出關(guān)斷功能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]技術(shù)課題
[0009]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的所述問題，本發(fā)明的目的是提供一種滑動(dòng)式回壓關(guān)斷閥，該回壓關(guān)斷閥可以在適用于半導(dǎo)體及LCD等的半導(dǎo)體制造過程或化學(xué)產(chǎn)品制造過程等的配管系統(tǒng)突然發(fā)生大氣流入或流體反向流動(dòng)現(xiàn)象時(shí)迅速地關(guān)斷而能夠予以防止，該回壓關(guān)斷閥的新結(jié)構(gòu)具備安裝了關(guān)斷板的移送體，平時(shí)在閥的流體通路空間部不存在阻礙物而得以像直管一樣地不妨礙流體流動(dòng)，但是配管內(nèi)發(fā)生回壓時(shí)，所述移送體會(huì)水平移動(dòng)到關(guān)斷位置并且安裝在所述移送體的關(guān)斷板在所述關(guān)斷位置浮起而關(guān)斷流體的流動(dòng)，因此在粉末發(fā)生量較多的制程、需要提高栗唧(pumping)速度的制程、安裝閥時(shí)電導(dǎo)(conductance)劣化而以往無法使用的場所，也仍可通過改善所述問題而得以適用。
[0010]而且，本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種滑動(dòng)式回壓關(guān)斷閥，該回壓關(guān)斷閥還包括:閥主體；移送體，其上部安裝有封閉所述流體流入部的關(guān)斷板，在發(fā)生回壓時(shí)，該移送體移動(dòng)到所述流體通過空間部的位置；以及移送體移動(dòng)單元，其移動(dòng)所述移送體，在所述閥主體還包括防粉末流入缸，在所述防粉末流入缸的內(nèi)部具備憑借從外部供應(yīng)的壓縮空氣而上下移動(dòng)的防粉末流入環(huán)，憑借所述防粉末流入環(huán)得以從源頭上阻止粉末流入到收容所述移送體等的空間。
[0011]解決課題手段
[0012]為了達(dá)到所述目的，本發(fā)明的滑動(dòng)式回壓關(guān)斷閥包括:閥主體，其上下配置有流體流入部與流體流出部，且在所述流體流入部與流體流出部之間包括流體通過空間部，該流體通過空間部形成了用于所述流體通過的空間；移送體，其上部安裝有封閉所述流體流入部的關(guān)斷板，在關(guān)斷流體時(shí)，該移送體移動(dòng)到所述流體通過空間部的位置；以及移送體移動(dòng)單元，其移動(dòng)所述移送體，在從外部發(fā)生回壓生成信號(hào)時(shí)，所述移送體移動(dòng)單元將所述移送體移送到封閉所述流體流入部的位置，安裝在所述移送體上的關(guān)斷板因所述閥主體內(nèi)的回壓所引起的壓力差而浮起，從而封閉所述流體流入部而關(guān)斷回壓。
[0013]而且，本發(fā)明的所述移送體移動(dòng)單元將所述移送體結(jié)合在空壓缸或電馬達(dá)這樣的驅(qū)動(dòng)單元的旋轉(zhuǎn)軸上，利用所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)而使得所述移送體移動(dòng)到封閉所述流體流入部的位置。
[0014]而且，本發(fā)明的所述移送體包括與所述旋轉(zhuǎn)軸結(jié)合的旋轉(zhuǎn)軸結(jié)合部及安裝所述關(guān)斷板的移送體主體，所述移送體主體形成了小于所述關(guān)斷板的直徑的開放的圓形空間而得以安裝所述關(guān)斷板。
[0015]而且，本發(fā)明的所述移送體移動(dòng)單元在空壓缸或電馬達(dá)這樣的驅(qū)動(dòng)單元連接連桿單元的一端部并在所述連桿單元的另一端部結(jié)合所述移送體，當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行動(dòng)作而所述連桿單元伸展時(shí)，所述移送體移動(dòng)到封閉所述流體流入部的位置。
[0016]而且，所述移送體包括安裝所述關(guān)斷板的移送體主體和結(jié)合所述連桿單元的連桿單元結(jié)合部，所述移送體主體形成了小于所述關(guān)斷板的直徑的開放的圓形空間而得以安裝所述關(guān)斷板。
[0017]而且，本發(fā)明的所述移送體主體具備用于實(shí)現(xiàn)順利移動(dòng)的輪子。
[0018]而且，本發(fā)明的所述關(guān)斷板為圓板形，其外徑大于所述流體流入部的直徑，在所述關(guān)斷板的下部面形成有突起部，當(dāng)所述關(guān)斷板被安裝于所述移送體時(shí)，該突起部限制所述關(guān)斷板的水平移動(dòng)。
[0019]而且，本發(fā)明在如下部位安裝O型環(huán)，以維持氣密，該部位是在如下情況中在所述閥主體與所述關(guān)斷板抵接的部位，該情況為，所述關(guān)斷板因所述閥主體內(nèi)的回壓引起的壓力差而浮起，因此封閉所述流體流入部，關(guān)斷了回壓。
[0020]而且，本發(fā)明的所述閥主體中安裝了所述O型環(huán)的面與所述移送體的上部面之間的高度(A)或者與所述突起部突出的下部面之間的高度(D)小于所述關(guān)斷板的厚度(B)與形成于所述關(guān)斷板的下部面的突起部的高度(C)之和[A或D〈(B+C)]。
[0021]而且，本發(fā)明在所述閥主體還包括防粉末流入缸，
[0022]在所述防粉末流入缸的內(nèi)部具備利用從外部所供應(yīng)的壓縮空氣及壓縮氣體而上下移動(dòng)的防粉末流入環(huán)，通過所述防粉末流入環(huán)阻止粉末流入到收容所述移送體和移送體移動(dòng)單元的空間內(nèi)。
[0023]而且，本發(fā)明的所述防粉末流入環(huán)是兩段折彎的圓筒型，借助于供應(yīng)給所述防粉末流入缸所具備的壓縮空氣流入部的壓縮空氣而上下移動(dòng)。
[0024]而且，在本發(fā)明中，在從外部發(fā)生回壓時(shí)，將壓縮空氣或壓縮氣體供應(yīng)到防粉末流入缸，使得所述防粉末流入環(huán)先開始開放，即使在所述防粉末流入環(huán)完全開放之前也能使所述移送體移動(dòng)單元將所述移送體移送到封閉所述流體流入部的位置，在所述移送體中安裝所述關(guān)斷板的移送體主體的下部形成有一定厚度(t)的空間。
[0025]而且，本發(fā)明的形成于所述移送體主體的下部的一定厚度(t)的空間是具有Imm以上厚度的空間。
[0026]而且，本發(fā)明為了防止粉末吸附在所述防粉末流入環(huán)的內(nèi)周面或所述閥主體的內(nèi)周面及形成于閥內(nèi)部的間隙，所述閥主體具備從外部供應(yīng)防粉末吸附用氣體的氣體流入部，且所述閥主體具備使從所述氣體流入部供應(yīng)的所述防粉末吸附用氣體沿著所述閥主體的內(nèi)周面流動(dòng)的氣體流出部。
[0027]而且，本發(fā)明的所述氣體流出部以使防粉末吸附用氣體沿著所述閥主體的內(nèi)周面流動(dòng)的方式形成為圓形流路。
[0028]而且，在本發(fā)明中，在所述閥主體的內(nèi)部還配備圓筒型形狀的氣體流路引導(dǎo)環(huán)，該氣體流路引導(dǎo)環(huán)的直徑小于所述閥主體的內(nèi)徑，為了進(jìn)一步提高從所述氣體流出部流出的所述防粉末吸附用氣體的防吸附效果而向所述閥主體的內(nèi)周面進(jìn)行引導(dǎo)。
[0029]發(fā)明效果
[0030]本發(fā)明的滑動(dòng)式回壓關(guān)斷閥平時(shí)由于閥的流體通路空間部沒有阻礙物而像直管一樣地維持高流速而改善流體流動(dòng)，當(dāng)配管內(nèi)發(fā)生回壓時(shí)，所述移送體水平移動(dòng)到關(guān)斷位置，在所述關(guān)