本實用新型涉及四氯化硅分裝(充裝)領(lǐng)域，特別涉及一種電子級四氯化硅的分裝裝置。

背景技術(shù)：

電子級四氯化硅作為原子層沉積二氧化硅的源材料之一，同時四氯化硅是一種無色、具有腐蝕性，令人窒息的臭味，遇水汽產(chǎn)生氯化氫，其罐裝時需要確保系統(tǒng)是絕對密封，否則會產(chǎn)生安全事故。同時四氯化硅的純度對沉積薄膜的質(zhì)量會產(chǎn)生直接影響。

又如專利公布號為CN201735306U公開了一種四氫呋喃尾氣的回收裝置，包括尾氣洗滌回收罐和離心泵，在尾氣洗滌回收罐中設(shè)置有用鮑爾環(huán)裝填的填料層。尾氣洗滌回收罐連接到精餾塔頂部，接收精餾塔排放的含有四氫呋喃的尾氣，還連接到精餾工段，接收富含1，4-丁二醇的液相物料作為洗滌液，在填料層含有四氫呋喃的尾氣與洗滌液逆流接觸，將尾氣中大量的四氫呋喃溶解在洗滌液里面。本實用新型的回收裝置結(jié)構(gòu)簡單、實用，投入成本較低，大大減少了四氫呋喃的損耗量，降低了產(chǎn)品的單耗，同時降低了工廠的三廢排放。又如專利公布號為CN204522964U公開了一種常溫直接制備三氯化鎵-四氫呋喃溶液的裝置，通過設(shè)置氯化氫鋼瓶進(jìn)料，反應(yīng)罐進(jìn)行攪拌反應(yīng)及溶解，反應(yīng)得到的三氯化鎵-四氫呋喃溶液經(jīng)過出料閥門出料用于烷基鎵制備，并且在冷凝器頂部連接氮氣管通氮氣對整個反應(yīng)進(jìn)行保護(hù)通入到堿性溶液吸收罐；本裝置在反應(yīng)同時，并能實現(xiàn)將反應(yīng)產(chǎn)物即時溶解在四氫呋喃，將常規(guī)三氯化鎵的生產(chǎn)與溶解二個不同流程合并在同一裝置中實現(xiàn)。通過本技術(shù)方案，在獲得相同三氯化鎵產(chǎn)品時，避免了常規(guī)的高溫反應(yīng)；同時由于制備與溶解合并在同一個單元操作中，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供一種電子級四氯化硅的分裝裝置。一種電子級四氯化硅的分裝裝置，包括儲罐，所述儲罐上設(shè)有隔膜閥三、隔膜閥四，所述隔膜閥三另一端與波紋管一連接，所述波紋管一另一端分別與隔膜閥一和隔膜閥二連接；所述隔膜閥四另一端與波紋管二連接；所述儲罐內(nèi)設(shè)有管道與隔膜閥五連接，所述隔膜閥五另一端與波紋管三連接，所述波紋管三另一端分別與波紋管四、波紋管五、波紋管六、波紋管七連接，所述波紋管四、所述波紋管五、所述波紋管六、所述波紋管七另一端分別對應(yīng)連接于隔膜閥六、隔膜閥七、隔膜閥、隔膜閥九，所述隔膜閥六、所述隔膜閥七、所述隔膜閥八、所述隔膜閥九另一端分別對應(yīng)連接于充裝電容一、充裝電容二、充裝電容三、充裝電容四。

優(yōu)選地，所述波紋管一、所述隔膜閥一和所述隔膜閥二之間設(shè)有壓力表。

優(yōu)選地，所述儲罐底部設(shè)有電子秤。

優(yōu)選地，所述儲罐兩側(cè)安裝有把手。

優(yōu)選地，與所述隔膜閥五連接的管道通向于所述儲罐內(nèi)底部。

通過采用該裝置，不僅實現(xiàn)了電子級四氯化硅的密封分裝，同時百級工作臺的應(yīng)用，避免了環(huán)境對充裝過程中產(chǎn)品的沾污。

附圖說明

圖1為本實用新型一種電子級四氯化硅的分裝裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施方式，進(jìn)一步闡明本實用新型，應(yīng)理解下述具體實施方式僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。

實施例1

如圖所示，本實用新型提供一種電子級四氯化硅的分裝裝置，包括儲罐17，所述儲罐17底部設(shè)有電子秤23，所述儲罐17兩側(cè)安裝有把手24，所述儲罐17上設(shè)有隔膜閥三3、隔膜閥四4，所述隔膜閥三3另一端與波紋管一10連接，所述波紋管一10另一端分別與隔膜閥一1和隔膜閥二2連接，所述波紋管一10、所述隔膜閥一1和所述隔膜閥二2之間設(shè)有壓力表22；所述隔膜閥四4另一端與波紋管二11連接；所述儲罐17內(nèi)設(shè)有管道與隔膜閥五5連接，與所述隔膜閥五5連接的管道通向于所述儲罐17內(nèi)底部，所述隔膜閥五5另一端與波紋管三12連接，所述波紋管三12另一端分別與波紋管四13、波紋管五14、波紋管六15、波紋管七16連接，所述波紋管四13、所述波紋管五14、所述波紋管六15、所述波紋管七16另一端分別對應(yīng)連接于隔膜閥六6、隔膜閥七7、隔膜閥8、隔膜閥九9，所述隔膜閥六6、所述隔膜閥七7、所述隔膜閥八8、所述隔膜閥九9另一端分別對應(yīng)連接于充裝電容一18、充裝電容二19、充裝電容三20、充裝電容四21，所述分裝裝置充裝在100級工作臺內(nèi)進(jìn)行。

四氯化硅通過波紋管二(11)及隔膜閥四(4)轉(zhuǎn)移到儲罐(17)中，并置于電子秤(23)上，通過電子秤(23)可以觀察出充裝的量，隔膜閥一(1)連接真空泵，隔膜閥二(2)連接氮氣，進(jìn)行抽充置換管路氣氛，通過觀察壓力表22、將儲罐17內(nèi)氣壓維持于0.02-0.05兆帕，四氯化硅通過隔膜閥五(5)、隔膜閥六(6)、隔膜閥七(7)、隔膜閥八(8)、隔膜閥九(9)及波紋管三(12)、波紋管四(13)、波紋管五(14)、波紋管六(15)、波紋管七(16)分別充裝在充裝電容一(18)、充裝電容二(19)、充裝電容三(20)、充裝電容四(21)中，在充裝過程中，波紋管七(16)右后端連接氮氣保護(hù)，充裝完畢，管 路系統(tǒng)殘留四氯化硅，通過真空泵抽到液氮冷阱中。

除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實用新型要求的保護(hù)范圍。