一種半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝中化學(xué)氣體是必不可少的，而安全、快捷地使用化學(xué)氣體是非常重要的。而裝載化學(xué)氣體的鋼瓶的規(guī)格是不一的，更換鋼瓶是人工的，存在著一定的不確定性，目前工藝是四個(gè)鋼瓶分為兩組，這種分組方式，造成更換氣體過程中，當(dāng)測(cè)試泄漏率，發(fā)現(xiàn)氣體輸送系統(tǒng)有泄漏時(shí)，不能判斷一組中哪一瓶鋼瓶有問題，可能僅僅是安裝時(shí)沒有吻合好，或者本身鋼瓶出氣口有問題，這時(shí)需要一次次拆下重新安裝以此排查問題點(diǎn)，長(zhǎng)期如此操作，會(huì)加快氣體輸送設(shè)備中管線和接口的老化，造成配件費(fèi)用增加。
[0003]通過為每組鋼瓶配備一套氣體壓力偵測(cè)器，將兩個(gè)鋼瓶算作一個(gè)整體，鋼瓶?jī)?nèi)氣體壓力低于限值時(shí)報(bào)警，報(bào)警次數(shù)只有兩次，只需人為查看一次。但這樣分組必須等兩個(gè)鋼瓶都用完才能更換，但更換時(shí)對(duì)新鋼瓶的好壞沒有準(zhǔn)確的判斷。因此使用這種分組方式，同樣造成人工的浪費(fèi)，并且增加接口的損耗速率，致使相關(guān)配件使用周期減少，增加相關(guān)費(fèi)用。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備，可在不減少氣體供應(yīng)量的前提下，減少鋼瓶更換次數(shù)，減少人為對(duì)配件的接觸而減少配件成本費(fèi)用，降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。
[0005]實(shí)現(xiàn)上述目的的一種技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備，包括四個(gè)并聯(lián)設(shè)置的鋼瓶；
[0006]每個(gè)所述鋼瓶對(duì)應(yīng)連接一根出氣管，所述的四根出氣管上均設(shè)有一個(gè)位于所述鋼瓶出氣口處的氣體壓力偵測(cè)器，以及一個(gè)調(diào)節(jié)閥，所述的四個(gè)調(diào)節(jié)閥以兩個(gè)為一組，每組對(duì)應(yīng)連接一個(gè)總調(diào)節(jié)閥，所述的兩個(gè)總調(diào)節(jié)閥同時(shí)連接一根總出氣管，所述總出氣管上設(shè)有與所述的兩個(gè)總調(diào)節(jié)閥連接的截止閥和一個(gè)位于所述總出氣管出口處的總出氣閥。
[0007]進(jìn)一步的，該氣體輸送設(shè)備還包括一套氣體壓力維持設(shè)備，包括氮?dú)膺M(jìn)氣管、切換閥和氣體輸送管，所述氮?dú)膺M(jìn)氣管上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)氣閥，所述氮?dú)膺M(jìn)氣管與所述切換閥連接，所述氣體輸送管的一端連接所述切換閥，另外一端在所述截止閥和所述總出氣閥之間與所述總出氣管連接，所述氣體輸送管上設(shè)有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥，所述的切換閥與所述的四個(gè)調(diào)節(jié)閥通過電路連接。
[0008]再進(jìn)一步的，所述切換閥上還連接有一根空氣進(jìn)氣管。
[0009]進(jìn)一步的，該氣體輸送設(shè)備還包括一套氣體凈化系統(tǒng)，所述氣體凈化系統(tǒng)包括兩個(gè)排氣閥和一個(gè)總排氣閥，兩個(gè)所述排氣閥與兩個(gè)所述總調(diào)節(jié)閥之間對(duì)應(yīng)通過一根排氣管連接，所述總排氣閥和兩個(gè)所述排氣閥之間通過一根總排氣管連接。
[0010]采用了本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備的技術(shù)方案，即包括四個(gè)并聯(lián)設(shè)置的鋼瓶；每個(gè)所述鋼瓶對(duì)應(yīng)連接一根出氣管，所述的四根出氣管上均設(shè)有一個(gè)位于所述鋼瓶出氣口處的氣體壓力偵測(cè)器，以及一個(gè)調(diào)節(jié)閥，所述的四個(gè)調(diào)節(jié)閥以兩個(gè)為一組，每組對(duì)應(yīng)連接一個(gè)總調(diào)節(jié)閥，所述的兩個(gè)總調(diào)節(jié)閥同時(shí)連接一根總出氣管，所述總出氣管上設(shè)有與所述的兩個(gè)總調(diào)節(jié)閥連接的截止閥和一個(gè)位于所述總出氣管出口處的總出氣閥的技術(shù)方案。其技術(shù)效果是:其可在不減少氣體供應(yīng)量的前提下，減少鋼瓶更換次數(shù)，減少人為對(duì)配件的接觸而減少配件成本費(fèi)用，降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型的發(fā)明人為了能更好地對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行理解，下面通過具體地實(shí)施例，并結(jié)合附圖進(jìn)行詳細(xì)地說明:
[0013]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備，包括第一鋼瓶11、第二鋼瓶12、第三鋼瓶13和第四鋼瓶14。第一鋼瓶11連接第一出氣管，第二鋼瓶12連接第二出氣管，第三鋼瓶13連接第三出氣管，第四鋼瓶14連接第四出氣管。第一出氣管上設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥31以及位于第一鋼瓶11出氣口處的第一氣體壓力偵測(cè)器21，第二出氣管上設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥32以及位于第二鋼瓶12出氣口處的第二氣體壓力偵測(cè)器22，第三出氣管上設(shè)有第三調(diào)節(jié)閥33以及位于第三鋼瓶13出氣口處的第三氣體壓力偵測(cè)器23，第四出氣管上設(shè)有第四調(diào)節(jié)閥34以及位于第四鋼瓶14出氣口處的第四氣體壓力偵測(cè)器24。第一氣體壓力偵測(cè)器21，第二氣體壓力偵測(cè)器22，第三氣體壓力偵測(cè)器23，第四氣體壓力偵測(cè)器14，用以偵測(cè)第一鋼瓶11、第二鋼瓶12、第三鋼瓶13和第四鋼瓶14內(nèi)的氣體壓力。
[0014]第一調(diào)節(jié)閥31和第二調(diào)節(jié)閥32同時(shí)連接第一總調(diào)節(jié)閥41，第三調(diào)節(jié)閥33和第四調(diào)節(jié)閥34同時(shí)連接第二總調(diào)節(jié)閥42，第一總調(diào)節(jié)閥41和第二總調(diào)節(jié)閥42同時(shí)連接總出氣管51，總出氣管51上設(shè)有與第一總調(diào)節(jié)閥41和第二總調(diào)節(jié)閥42連接的一個(gè)截止閥52，以及位于總出氣管51出口處的總出氣閥53，從總出氣管51流出的氮?dú)饬飨蛴靡詫?duì)半導(dǎo)體進(jìn)行加工的工位。
[0015]該半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備上還包括一套氣體壓力維持設(shè)備，以維持第一調(diào)節(jié)閥31、第二調(diào)節(jié)閥32、第三總調(diào)節(jié)閥33、第四調(diào)節(jié)閥34，以及第一總調(diào)節(jié)閥41、第二總調(diào)節(jié)閥43，以及截止閥52正常工作做所要的壓力。該系統(tǒng)包括氮?dú)膺M(jìn)氣管61，切換閥62和氣體輸送管63，氮?dú)膺M(jìn)氣管61上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)氣閥64，用以調(diào)節(jié)氮?dú)獾牧髁?，氣體輸送管63 —端連接切換閥62，另外一端在總出氣閥53和截止閥52之間與總出氣管51連接。氣體輸送管63設(shè)有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥65，切換閥62上還連接有一根空氣進(jìn)氣管66。
[0016]該半導(dǎo)體加工用氣體輸送設(shè)備還包括一套氣體凈化系統(tǒng)，包括第一排氣閥71、第二排氣閥72和一個(gè)總排氣閥73，第一排氣閥71和第二排氣閥72對(duì)應(yīng)通過第一排氣管和第二排氣管與第一總調(diào)節(jié)閥41和第二總調(diào)節(jié)閥42連接，總排氣閥73和第一排氣閥71，以及第二排氣閥72之