本發(fā)明涉及一種檢漏裝置。

背景技術(shù)：
渦輪分子泵應用例如從EP1585951中已知的反流式檢漏裝置來進行泄漏尋找。要測試的物體或者設(shè)置有要測試的物體的測試腔室經(jīng)由測試氣體管道與前級真空泵連接。此外，測試氣體管道與渦輪分子泵的兩個或多個中間入口連接。前級真空泵與渦輪分子泵的出口連接。在渦輪分子泵的入口上設(shè)置有測試氣體檢測器，所述測試氣體檢測器尤其設(shè)置在通過渦輪分子泵抽真空的腔室中。由此，能夠使用具有極其高靈敏度的測試氣體檢測器。測試氣體的檢測通過使測試氣體相反于渦輪分子泵的主流動方向在渦輪分子泵之內(nèi)朝入口流動并且能夠通過測試氣體檢測器來檢查測試氣體的方式來進行，所述測試氣體尤其為氦。在EP1585951中將測試氣體管道與渦輪分子泵的出口區(qū)域連接以用于粗略檢查物體。由于測試氣體管道與渦輪分子泵的出口區(qū)域連接，測試氣體在渦輪分子泵之內(nèi)的反流路徑和主流路徑相對長。在測試氣體管道中的壓力較小的情況下，才能夠進行測試氣體管道與渦輪分子泵的中間區(qū)域的連接，使得反流路徑被縮短。當測試氣體管道中的壓力除少量的偏差之外相應于渦輪分子泵的中間區(qū)域中的壓力時，測試氣體流入到渦輪分子泵的所述中間區(qū)域中才成為可能。因此，在稍后的、實現(xiàn)測試壓力繼續(xù)降低的時間點才可以通過進一步縮短反流路徑來實現(xiàn)測試氣體管道與另一中間入口的連接。由于尤其在物體測試開始時長的反流路徑或者逆流路徑，測試時間和相應時間相對長。在進一步在EP1585951的圖3中示出的實施形式中，能夠?qū)y試氣體管道與在雙級的霍爾維克泵(Holweckpumpe)之內(nèi)的區(qū)域連接來替代將高真空泵的出口側(cè)與測試氣體管道連接。此后，高真空泵的與前級真空泵連接的出口在霍爾維克泵的相同的壓力范圍中與前級真空泵連接并且不經(jīng)由高真空泵的出口與前級真空泵連接。由此，縮短主流路徑以及反流路徑，其中兩個路徑保持同樣長。通過高真空泵與測試氣體管道或者與連接前級真空泵的管道的不同的連接方案能夠以簡單的方式實現(xiàn)不同的應用范圍。然而，將反流路徑相對于主流路徑縮短在EP1585951的圖3中描述的實施形式中也是不可能的。從DE19735250中已知另一種檢漏裝置。所述檢漏裝置以沿主流動方向依次設(shè)置的方式具有渦輪分子泵、氣體摩擦泵和前級真空泵。為了粗略檢查，測試氣體管道與氣體摩擦泵的出口連接。為了精細尋找，能夠?qū)y試氣體管道與渦輪分子泵和氣體摩擦泵之間的區(qū)域連接。在此，為了精細調(diào)節(jié)，所述測試氣體管道設(shè)有節(jié)流閥。然而，粗略檢查、也就是說檢查開始總是通過在氣體摩擦泵的出口處供給測試氣體介質(zhì)來進行。在粗略檢查時將測試氣體介質(zhì)輸送到氣體摩擦泵和渦輪分子泵之間的區(qū)域中是不可能的，因為由于大的壓力差，將測試氣體直接地輸送至渦輪分子泵會引起渦輪分子泵的損壞。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是，提供一種檢漏裝置或者一種用于檢漏的方法，借助所述方法或者所述裝置能夠降低檢查時間。根據(jù)本發(fā)明，通過根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置和用于借助檢漏裝置進行檢漏的方法實現(xiàn)所述目的。所述檢漏裝置具有：與測試腔室和/或要測試的物體和前級真空泵連接的測試氣體管道，和高真空泵，在所述高真空泵的入口處設(shè)置有測試氣體檢測器并且所述高真空泵的出口與所述前級真空泵連接，其中所述高真空泵具有至少一個轉(zhuǎn)子元件，使得限定從所述入口沿著所述至少一個轉(zhuǎn)子元件到所述出口的主流路徑，并且其中所述高真空泵具有第一級、沿主流動方向連接在所述第一級處的第二級和沿主流動方向連接在所述第二級處的至少一個另外的級，為了粗略地檢查物體，所述測試氣體管道經(jīng)由連接管道與所述另外的級中的一個在所述另外的級的中間區(qū)域中連接，并且所述高真空泵的出口與所述前級真空泵保持連接，使得所述測試氣體的從所述中間區(qū)域延伸至所述入口的反流路徑短于所述主流路徑，并且在所述連接管道中設(shè)置有用于將所述測試氣體減壓到一定壓力上的氣體減壓裝置，所述壓力匹配于所述高真空泵的內(nèi)部吸氣能力和在中間區(qū)域中直到出口所具有的壓縮比，并且泄漏尋找能夠在所述高真空泵的前級真空穩(wěn)定性最大的情況下開始。根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置具有帶有多個級的高真空泵。優(yōu)選構(gòu)成為氣體摩擦泵的、尤其構(gòu)成為霍爾維克級的第二級連接到尤其能夠構(gòu)成為渦輪分子泵的第一級上。高真空泵與設(shè)置在其入口上的測試氣體檢測器連接。此外，高真空泵的出口與前級真空泵連接，使得高真空泵的至少一個轉(zhuǎn)子元件限定從入口沿著至少一個轉(zhuǎn)子元件到出口的主流路徑。至少一個轉(zhuǎn)子元件優(yōu)選包括渦輪分子泵的多個轉(zhuǎn)子葉片，以及例如構(gòu)成為霍爾維克級的第一級的基本上構(gòu)成為柱形的轉(zhuǎn)子元件。根據(jù)本發(fā)明，高真空泵還具有在主流動方向上連接到第二級上的至少一個另外的級、也就是說至少一個第三級。在優(yōu)選的實施形式中，該級也為霍爾維克級。必要時，在其上還連接有第四級或者必要時還有在優(yōu)選的實施形式中分別構(gòu)成為霍爾維克級的另外的級。在此，霍爾維克級的基本上構(gòu)成為柱形的轉(zhuǎn)子元件優(yōu)選彼此同心地設(shè)置。為了實現(xiàn)縮短測試時間，只要設(shè)有另外的級中的一個即第三級或者另外的級，測試氣體管道就為了粗略地檢查物體而經(jīng)由連接管道與另外的級中的一個即第三級或者另外的級在該級的中間區(qū)域中連接。在此，高真空泵的出口與前級真空泵保持連接，以便實現(xiàn)主流路徑和反流路徑之間的路徑長度差。反流路徑是測試氣體從中間區(qū)域到測試氣體檢測器或者到高真空泵的入口所經(jīng)過的路徑。此外，為了實現(xiàn)測試氣體以根據(jù)本發(fā)明的方式流到中間區(qū)域中，在連接管道中設(shè)有氣體減壓裝置，如孔板或者節(jié)流閥。通過在連接管道中設(shè)有氣體減壓裝置可以將測試氣體減壓到一定壓力上，所述壓力匹配于高真空泵內(nèi)部吸氣能力和在中間區(qū)域中直到出口所具有的壓縮比。由此可在首先粗略檢查要測試的物體的氣密性的檢查開始時，將測試氣體經(jīng)由縮短的反流路徑引導至氣體檢測器。由于反流路徑縮短，測試氣體檢測器的響應時間更快。因此，測試時間能夠被顯著地縮短。特別地，當檢測到要測試的物體的相對強的非氣密性時，所述非氣密性能夠顯著更快地被確定。在此優(yōu)選地，在高真空泵的前級真空穩(wěn)定性最大的情況下開始進行泄漏尋找，也就是說在高真空泵的出口側(cè)上的不會影響高真空泵的壓力的最大允許壓力下開始進行泄漏尋找。通過以根據(jù)本發(fā)明的方式將氣體減壓裝置設(shè)置在連接管道中，在中間區(qū)域中能夠進行高真空泵直至出口所具有的壓縮比和內(nèi)部的吸氣能力的匹配。在此優(yōu)選的是，氣體減壓裝置是可變化的或者可調(diào)節(jié)的。尤其在開始檢查要測試的物體時，通過氣體減壓裝置將測試氣體的壓力降低至少30％，優(yōu)選降低至少40％。優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的機構(gòu)設(shè)為：在泄漏尋找開始時，已經(jīng)將反流路徑相對于主流路徑縮短至少1/5，尤其縮短至少1/4。在尤其優(yōu)選的實施形式中，中間區(qū)域設(shè)置在沿主流動方向最后的分子泵或者氣體摩擦泵的區(qū)域中，經(jīng)由所述中間區(qū)域?qū)y試腔室或者要測試的物體在檢查開始時與高真空泵連接。關(guān)于流路徑在該分子級或者氣體摩擦級中的長度，中間區(qū)域優(yōu)選設(shè)置成與距該分子級或者氣體摩擦級的入口處相比距出口處更近。因此，在優(yōu)選的實施形式中，中間區(qū)域在流動方向上關(guān)于最后的分子級或氣體摩擦級中的流的路徑長度設(shè)置在主流路徑的第二半部中。在優(yōu)選的實施形式中，所述分子泵或者氣體摩擦泵中的總氣流路徑相對于中間區(qū)域和出口之間的路徑的比例小于1/2，尤其小于1/3并且尤其優(yōu)選小于1/4。設(shè)置有中間區(qū)域的最后的級之內(nèi)的反流路徑優(yōu)選小于在所述級之內(nèi)的主流路徑的80％、尤其小于60％。特別地，反流路徑相對于下述級為50％：在所述級中中間區(qū)域例如設(shè)置在所述級的中央。根據(jù)本發(fā)明，中間區(qū)域和出口之間的間距大于0，并且優(yōu)選相對于分子泵或者氣體摩擦泵之內(nèi)的總的流路徑的比例大于1/6、尤其大于1/5。在本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施形式中設(shè)有氣體選擇性的氣體減壓裝置、即尤其設(shè)有氣體選擇性的節(jié)流閥或者孔板。由此，如氦氣或者氫氣的測試氣體或者相應的測試氣體組成部分比其他氣體流動通過氣體減壓裝置更快，使得能夠在更短的測試時間中由測試氣體檢測器測得所述測試氣體。因此，通過設(shè)有氣體選擇性的氣體減壓裝置能夠尤其在泄漏尋找開始時進一步降低測試時間。在本發(fā)明的一個優(yōu)選的改進型式中，設(shè)有跨接氣體減壓裝置的旁通管道。具有閥的旁通管道用于在相對于粗略檢查而降低的測試氣體壓力下將測試氣體輸送到中間區(qū)域。因此，一旦不再必須對充斥于測試氣體管道中的測試氣體壓力進行減壓以便能夠?qū)Ω哒婵毡玫闹虚g區(qū)域進行輸送，就跨接氣體減壓裝置。同樣可能的是，將氣體減壓裝置構(gòu)造成，使得其能夠被完全地打開進而不再作用為節(jié)流閥。優(yōu)選地，氣體減壓裝置是高真空泵的組成部分。因此，氣體減壓裝置尤其設(shè)置在泵殼體中或者至少直接地與所述泵殼體連接。這具有下述優(yōu)點：簡化高真空泵到測試氣體管道上的連接，因為不必在中間接入氣體減壓裝置。此外可能的是，除了將測試氣體管道與中間區(qū)域連接的連接管道之外，還設(shè)有至少一個另外的連接管道。能夠經(jīng)由至少一個另外的連接管道將測試氣體管道與高真空泵的另外的中間區(qū)域連接。在此，該中間區(qū)域設(shè)置得距高真空泵的入口更近，使得相對于主流路徑進一步縮短反流路徑。在此，另外的連接管道優(yōu)選設(shè)有閥，因為當測試氣體管道中的壓力相應低時，才能夠?qū)⑺鲞B接通道打開進而將測試氣體輸送經(jīng)過高真空泵的相應的區(qū)域。此外，本發(fā)明涉及一種用于檢漏的方法。在此，測試腔室和/或要測試的物體經(jīng)由測試氣體管道與前級真空泵連接。此外，設(shè)有高真空泵，在所述高真空泵的入口處設(shè)置有測試氣體檢測器并且所述高真空泵的出口與前級真空泵連接。高真空泵具有至少一個轉(zhuǎn)子元件，使得限定從入口沿著至少一個轉(zhuǎn)子元件到出口的主流路徑。此外，高真空泵具有尤其構(gòu)成為渦輪分子泵的第一級以及沿主流動方向連接在所述第一級上的、尤其構(gòu)成為氣體摩擦級的第二級。此外，根據(jù)本發(fā)明，設(shè)有沿主流動方向連接在第二級上的、還優(yōu)選構(gòu)成為氣體摩擦泵的第三級.根據(jù)本發(fā)明，測試氣體管道為了粗略地檢查物體而經(jīng)由連接管道與設(shè)置在另外的級或者第三級中的中間區(qū)域連接。因為高真空泵的出口還與前級真空泵保持連接，所以由此相對于主流路徑縮短反流路徑。優(yōu)選直接在泄漏尋找開始時進行粗略檢查。在優(yōu)選的實施方式中，在粗略檢查成功的情況下，然后將測試腔室和/或要檢查的物體經(jīng)由與測試氣體管道連接的另外的連接管道與高真空泵的另外的中間區(qū)域連接，從而實現(xiàn)反流路徑的進一步縮短。此外優(yōu)選的是，尤其在粗略檢查時，進行尤其氣體選擇性的節(jié)流或者對輸送給高真空泵的測試氣體減壓。在尤其優(yōu)選的實施形式中，借助于之前描述的根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的方法。附圖說明下面，根據(jù)一個優(yōu)選的實施形式在參考附圖的情況下詳細闡明本發(fā)明。其示出：圖1示出根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置的一個優(yōu)選的實施形式是示意剖面圖；并且圖2示出高真空泵的第二至第五級的另一優(yōu)選的實施形式的示意側(cè)視圖。具體實施方式在所示出的實施例中，高真空泵為渦輪分子泵，在運輸方向上在所述渦輪分子泵的下游設(shè)置有兩個霍爾維克級11(第二和第三級)。渦輪分子泵的第一轉(zhuǎn)子元件12與多個轉(zhuǎn)子葉片14連接。葉片形的轉(zhuǎn)子葉片14與設(shè)置在轉(zhuǎn)子葉片14之間的定子元件16共同作用。定子元件16經(jīng)由定子環(huán)18固定在泵殼體20中。通過轉(zhuǎn)子葉片14以及定子葉片16沿箭頭22的方向進行氣體運輸。連接到渦輪分子泵的霍爾維克級11具有與第一轉(zhuǎn)子元件12連接的柱形的轉(zhuǎn)子元件13，所述轉(zhuǎn)子元件設(shè)置在螺紋軌道之間。因此，柱形的轉(zhuǎn)子元件與相應的螺紋軌道相結(jié)合地構(gòu)成第二級15和第三級17。由此首先在第二級15之內(nèi)沿箭頭26的方向進行氣體運輸以用于在測試氣體檢測器38的區(qū)域中產(chǎn)生真空，并且此后沿箭頭28在第三級17之內(nèi)將氣體運輸至出口區(qū)域30。第一級由渦輪分子泵構(gòu)成。出口區(qū)域30在所示出的實施例中經(jīng)由出口通道32與高真空泵的泵出口34連接。測試氣體檢測器38與高真空泵的入口36連接。前級真空泵40經(jīng)由設(shè)置有閥39的管道37與高真空泵的出口34連接。設(shè)置有要測試的物體的測試腔室42經(jīng)由測試氣體管道44同樣與前級真空泵40連接。代替設(shè)置測試腔室42，測試氣體管道44也可以直接地與要測試的物體連接。在測試氣體管道44中設(shè)置有另一閥46。測試氣體管道44經(jīng)由連接管道48與霍爾維克級11的中間區(qū)域50連接。中間區(qū)域50為沿主流動方向22、26、28設(shè)置在出口區(qū)域30上游的區(qū)域。因此，測試氣體的反流路徑短于主流路徑，因為測試氣體僅必須從第三級17中的中間區(qū)域50流動至高真空泵的入口36。出口區(qū)域30和中間區(qū)域50之間的路程不必須被測試氣體穿流。在連接管道48中除閥52之外還設(shè)置有尤其為節(jié)流閥的氣體減壓裝置54。節(jié)流閥能夠通過設(shè)置有閥58的旁通管道56跨接。高真空泵的另一中間區(qū)域60經(jīng)由設(shè)有閥64的另一連接管道62與測試氣體管道44連接。所述另一中間區(qū)域60在此位于高真空泵的入口附近，使得進一步降低反流路徑。必要時，如在所示出的實施例中示出，高真空泵的再一中間區(qū)域66能夠經(jīng)由具有閥70的另一連接管道68與測試氣體管道44連接。所述再一中間區(qū)域66與距中間入口相比距入口36更近，使得又進一步縮短反流路徑。在開始檢查要測試的物體時首先打開閥46，以便借助于前級真空泵40在測試腔室42中或者直接在要測試的物體中降低壓力。同時，借助于高真空泵將測試氣體檢測器38的區(qū)域中的壓力保持在所需要的低壓力上。一旦壓力下降到高真空泵的前級真空穩(wěn)定的水平上，就開始進行粗略檢查。為此，保持閥46打開，而附加地也保持閥39和閥52打開。因此，引導旁通流經(jīng)過氣體摩擦泵的區(qū)域并且現(xiàn)有的測試氣體能夠到達檢測器。那么，在進一步降低壓力水平的情況下，關(guān)閉閥46并且將整個要泵出的氣體流引導經(jīng)過氣體摩擦泵的出口側(cè)的區(qū)域。例如，渦輪分子泵在中間區(qū)域50的區(qū)域中的內(nèi)部吸氣能力為5l/s。在例如15mbar的相對高的壓力下，借助節(jié)流閥的例如2mm的橫截面能夠?qū)怏w減壓到中間區(qū)域50中的允許的壓力上，例如7mbar。只要在第一粗略測試中沒有檢測到要測試的物體的非氣密性，就進一步降低壓力。在此，此后關(guān)閉閥52并且打開閥58，使得測試氣體能夠經(jīng)由旁通管道56流動至中間區(qū)域50。在所述壓力范圍中，不再需要通過氣體減壓裝置54對測試氣體壓力進行減壓。只要在此也不能夠由測試氣體檢測器38檢測到測試氣體，就進一步降低壓力，其中保持閥52關(guān)閉，關(guān)閉閥58并且打開另一連接管道62的閥64。在進一步降低壓力的情況下，能夠?qū)y試氣體輸送到中間區(qū)域60中，其具有進一步縮短的反流路徑進而具有測試氣體到測試氣體檢測器38的縮短的路徑。必要時，能夠進一步降低壓力，其中能夠關(guān)閉閥64并且打開閥70，以便實現(xiàn)經(jīng)由另一連接管道68將測試氣體輸送給區(qū)域66。圖2示出根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置的另一實施形式的細節(jié)圖。在此，僅示出連接到尤其構(gòu)成為渦輪分子泵的第一級10的區(qū)域。在該區(qū)域中類似的和相同的構(gòu)件設(shè)有與圖1中示出的實施形式相同的附圖標記。代替根據(jù)在圖1中示出的實施形式的兩個霍爾維克泵，即級二和三，在圖2中示出的實施形式具有四個霍爾維克泵。所述霍爾維克泵形成第二級15、第三級17、第四級72和第五級74。由測試氣體檢測器38抽吸的介質(zhì)沿著主流路徑首先如通過箭頭22示出的那樣流動經(jīng)過渦輪分子級。此后，氣體通過構(gòu)成為霍爾維克級的第二級15(箭頭26)并且此后到達到第三級17中(箭頭28)。氣體如通過箭頭76示出那樣在所述霍爾維克級的主流動方向末端處重新?lián)Q向并且到達第四級72中，在所述第四級中所述氣體沿箭頭78流動。所述氣體從第四級中通過換向(箭頭80)到達到最后的級中、或者到達在所示出的實施例中的第五級74中。氣體從所述級中到達出口通道32中，所述出口通道通到高真空泵的出口34處。在所述實施例中，與連接管道48連接的中間區(qū)域50在最后的或者第五級74的中間區(qū)域中與所述最后的或者第五級連接。