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      校正包括阻性輻射熱計(jì)陣列的探測(cè)器的漂移的方法和設(shè)備與流程

      文檔序號(hào):12005777閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
      校正包括阻性輻射熱計(jì)陣列的探測(cè)器的漂移的方法和設(shè)備與流程

      技術(shù)特征:
      1.一種用于檢測(cè)紅外輻射的方法,包括:■借助于懸置于輻射熱計(jì)探測(cè)器的基底上方的阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜的阻抗性輻射熱計(jì)來(lái)獲取所述紅外輻射,從而產(chǎn)生由所述輻射熱計(jì)提供的原始讀取信號(hào);■使用增益表來(lái)校正原始信號(hào)中的阻抗性輻射熱計(jì)的響應(yīng)離差,所述增益表的每個(gè)增益與所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜的輻射熱計(jì)相關(guān)聯(lián),其中,所述方法包括對(duì)所述增益表的校正,所述校正包括:■從對(duì)應(yīng)于溫度均勻的場(chǎng)景的所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜獲取讀取信號(hào);■根據(jù)如下關(guān)系式,根據(jù)所獲取的讀取信號(hào)計(jì)算用于校正增益表的表g:■以及根據(jù)如下關(guān)系式校正增益表:其中:■(i,j)表示所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜和所述表中的輻射熱計(jì)的坐標(biāo);■Gref和Gshut分別是校正之前的增益表和被校正的增益表;■Rac_shut(i,j)是獲取所述讀取信號(hào)時(shí)坐標(biāo)為(i,j)的輻射熱計(jì)的阻抗值;■Rac_ref(i,j)是坐標(biāo)為(i,j)的輻射熱計(jì)在先前時(shí)間的阻抗值;■TCRshut(i,j)是坐標(biāo)為(i,j)的輻射熱計(jì)在獲取所述讀取信號(hào)時(shí)的溫度變化系數(shù)值;■TCRref(i,j)是坐標(biāo)為(i,j)的輻射熱計(jì)在先前時(shí)間的溫度變化系數(shù)值;以及■N是用于歸一化增益表Gshut的標(biāo)量因數(shù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于:■所述阻抗性輻射熱計(jì)的輻射熱計(jì)材料是非晶硅或者硅鍺合金,■值Rac_ref(i,j)是所述輻射熱計(jì)針對(duì)平均溫度Tref的阻抗值,以及■項(xiàng)是根據(jù)如下關(guān)系式計(jì)算的:其中:■Tshut是所述輻射熱計(jì)在獲取信號(hào)時(shí)的平均溫度;■K是取決于所述阻抗性輻射熱計(jì)的預(yù)定系數(shù);■Ea_ref是所述輻射熱計(jì)激活能的預(yù)定值;■ln是自然對(duì)數(shù);■Rac_ref(i,j)@Tshut是在溫度Tshut時(shí)坐標(biāo)為(i,j)的輻射熱計(jì)的阻抗在先前時(shí)間的值;以及■Tref是在先前時(shí)間所述輻射熱計(jì)的平均溫度。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于:■所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜的每個(gè)輻射熱計(jì)的讀取信號(hào)是在電容器上對(duì)流過(guò)承受恒定偏置電壓的輻射熱計(jì)的電流與共模電流之差積分預(yù)定時(shí)間段的積分器的輸出電壓;■以及根據(jù)如下關(guān)系式計(jì)算項(xiàng)β(i,j):其中:■Cint是所述積分器電容器的電容值;■Tint是積分時(shí)間的值;■Vac是在積分期間對(duì)所述輻射熱計(jì)施加的偏置電壓的值;■NCshut(i,j)是坐標(biāo)為(i,j)的輻射熱計(jì)在獲取所述讀取信號(hào)時(shí)提供的信號(hào)的值;■NCref(i,j)是所述輻射熱計(jì)在先前時(shí)間提供的讀取信號(hào)的預(yù)定值;■是整個(gè)所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜上或者所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜預(yù)定部分上的讀取信號(hào)的平均值;■是在先前時(shí)間所述讀取信號(hào)的預(yù)定平均值;以及■是溫度Tshut時(shí)在先前時(shí)間所述輻射熱計(jì)的阻抗值Rac_ref(i,j)@Tshut的平均值。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于所述輻射熱計(jì)由非晶硅制成,并且其特征在于所述預(yù)定系數(shù)K是常數(shù),并且等于0.055eV。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于存儲(chǔ)對(duì)于由非晶硅制成的輻射熱計(jì)在30℃的溫度時(shí)等于0.055eV的所述預(yù)定系數(shù)K,并且其特征在于,根據(jù)所述存儲(chǔ)值確定在獲取信號(hào)時(shí)系數(shù)K針對(duì)溫度Tshut的值。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于:■所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜的每個(gè)輻射熱計(jì)的讀取信號(hào)是在電容器上對(duì)流過(guò)承受恒定偏置電壓的輻射熱計(jì)的電流與共模電流之差積分預(yù)定時(shí)間段的積分器的輸出電壓;■以及根據(jù)如下關(guān)系式計(jì)算項(xiàng)其中■Cint是所述積分器電容器的電容值;■Tint是積分時(shí)間的值;■Vac是在積分期間對(duì)所述輻射熱計(jì)施加的偏置電壓的值;■NCshut(i,j)是坐標(biāo)為(i,j)的輻射熱計(jì)在獲取所述讀取信號(hào)時(shí)提供的信號(hào)的值;■NCref(i,j)是所述輻射熱計(jì)在先前時(shí)間提供的讀取信號(hào)的預(yù)定值;■是所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜上或者所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜預(yù)定部分上的讀取信號(hào)的平均值;■是在先前時(shí)間所述讀取信號(hào)的預(yù)定平均值;■是溫度Tshut時(shí)在先前時(shí)間所述輻射熱計(jì)的阻抗值Rac_ref(i,j)@Tshut的平均值;■Ea_ref是輻射熱計(jì)激活能的預(yù)定值;■q是電子的元電荷;■k是玻爾茲曼常數(shù);以及■Tref是在先前時(shí)間所述輻射熱計(jì)的平均溫度。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于所述方法包括識(shí)別特性發(fā)生漂移的所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜的輻射熱計(jì)的步驟,并且其特征在于對(duì)于未發(fā)生所述漂移的所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜的輻射熱計(jì)的讀取信號(hào),獲得讀取信號(hào)的平均值8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于輻射熱計(jì)探測(cè)器能夠根據(jù)所獲取的讀取信號(hào)執(zhí)行對(duì)每個(gè)輻射熱計(jì)的電阻抗的值Rac_shut(i,j)的計(jì)算。9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于根據(jù)如下關(guān)系式確定在溫度Tshut時(shí)在先前時(shí)間坐標(biāo)(i,j)的阻抗值Rac_ref(i,j)@Tshut:其中■q是電子的元電荷;以及■k是玻爾茲曼常數(shù)。10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于所述輻射熱計(jì)(1011)由非晶硅制成,并且其特征在于激活能Earef等于0.170eV。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于標(biāo)量因數(shù)N等于項(xiàng)g(i,j)·Gref(i,j)的平均值。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述探測(cè)器包括排列于所述阻抗性輻射熱計(jì)網(wǎng)膜的前面的快門,并且其特征在于當(dāng)所述快門被關(guān)閉時(shí)獲取網(wǎng)膜讀取信號(hào)。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述探測(cè)器是非調(diào)溫探測(cè)器,并且其特征在于所述方法包括在獲取所述讀取信號(hào)時(shí)測(cè)量探測(cè)器溫度的步驟。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述方法還包括根據(jù)關(guān)系式校正測(cè)溫計(jì)算中使用的輻射熱計(jì)探測(cè)器的平均響應(yīng)的步驟,其中是校正的平均響應(yīng),是探測(cè)器在先前時(shí)間的平均響應(yīng)。15.一種輻射熱計(jì)探測(cè)器,包括:由非晶硅或者硅鍺合金制成的阻抗性輻射熱計(jì)的網(wǎng)膜,所述網(wǎng)膜懸置于基底上;用于產(chǎn)生用于讀取所述網(wǎng)膜的信號(hào)的電路;以及能夠根據(jù)增益表校正由信號(hào)生成電路傳送的信號(hào)的單元,其特征在于所述輻射熱計(jì)探測(cè)器包括用于校正能夠?qū)崿F(xiàn)權(quán)利要求1的所述方法的增益表的裝置。
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