本發(fā)明涉及一種物理量傳感器和電子設(shè)備。

背景技術(shù)：
近年來，開發(fā)了一種例如利用硅MEMS（MicroElectroMechanicalSystem：微電子機械系統(tǒng)）技術(shù)，而實現(xiàn)小型且高靈敏度的物理量傳感器的技術(shù)。例如，在專利文獻1中，公開了一種具備如下的質(zhì)量體的加速度傳感器，所述質(zhì)量體具有能夠以扭轉(zhuǎn)連接部（torsionweb）為中心而進行旋轉(zhuǎn)的兩個翼部。在該加速度傳感器中，采用如下的結(jié)構(gòu)，即，通過分別在兩個翼部上設(shè)置貫穿孔，從而相對于扭轉(zhuǎn)連接部（torsionweb）反向且相同大小的扭轉(zhuǎn)產(chǎn)生相同大小的衰減轉(zhuǎn)矩。此外，該加速度傳感器在一側(cè)的翼部的下方具有第一電極，在另一側(cè)的翼部的下方具有第二電極，并且根據(jù)一側(cè)的翼部與第一電極之間的靜電電容、和另一側(cè)的翼部與第二電極之間的靜電電容來對加速度進行檢測。在專利文獻1的加速度傳感器中，質(zhì)量體被收納在填充有氮等氣體的箱體中，并且通過在翼部上設(shè)置貫穿孔，從而能夠減少由于氣體的粘性而產(chǎn)生的阻尼（欲使質(zhì)量體的運動停止的作用、流動阻力）。由此，能夠提高檢測靈敏度。但是，在專利文獻1的加速度傳感器中，由于貫穿孔的大小在兩個翼部上不同，因此在俯視觀察時，一側(cè)的翼部與第一電極重疊的區(qū)域的面積、和另一側(cè)的翼部與第二電極重疊的區(qū)域的面積不同。因此，在初始狀態(tài)（沒有施加加速度的狀態(tài)、翼部為水平的狀態(tài)）下，一側(cè)的翼部與第一電極之間的靜電電容、和另一側(cè)的翼部與第二電極之間的靜電電容不同。因此，由于為了消除該初始電容的差，而需要對翼部與電極之間的間隙的調(diào)節(jié)、或者用于對初始電容的差進行補正的電路等，因此無法簡化裝置的結(jié)構(gòu)，從而存在因制造工序增加而導致的、花費成本等的問題。專利文獻1：日本特表2009-537803號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種具有簡單的結(jié)構(gòu)且能夠提高檢測靈敏度的物理量傳感器。此外，本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種包括上述的物理量傳感器的電子設(shè)備。本發(fā)明是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，并能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實現(xiàn)。應(yīng)用例1本應(yīng)用例所涉及的一種物理量傳感器，包括：可動體，其能夠以第一軸為旋轉(zhuǎn)軸進行位移，并且具備在俯視觀察時以所述第一軸為界，而被設(shè)置在第一區(qū)域內(nèi)的第一可動電極部、和被設(shè)置在第二區(qū)域內(nèi)的第二可動電極部、以及被設(shè)置在所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域中的至少一個區(qū)域內(nèi)的阻尼調(diào)節(jié)部；梁部，其對所述可動體進行支承；第一固定電極部，其被配置為與所述第一可動電極部對置；第二固定電極部，其被配置為與所述第二可動電極部對置，在所述阻尼調(diào)節(jié)部上設(shè)置有第一貫穿孔，在所述第一可動電極部及所述第二可動電極部上設(shè)置有第二貫穿孔，于在俯視觀察時除所述第二貫穿孔之外的部分處，所述第一可動電極部與所述第一固定電極部重疊的區(qū)域的面積、和所述第二可動電極部與所述第二固定電極部重疊的區(qū)域的面積相同，所述第一貫穿孔的寬度大于所述第二貫穿孔的寬度。根據(jù)這種物理量傳感器，由于在俯視觀察時除第二貫穿孔之外的部分處，第一可動電極部與第一固定電極部重疊的區(qū)域的面積、和第二可動電極部與第二固定電極部重疊的區(qū)域的面積相同，因此能夠通過簡單的結(jié)構(gòu)，而使初始狀態(tài)（例如可動體為水平的狀態(tài)）下的、第一可動電極部與第一固定電極部之間的靜電電容、和第二可動電極部與第二固定電極部之間的靜電電容相同。而且，由于被設(shè)置在阻尼調(diào)節(jié)部上的貫穿孔的寬度，大于被設(shè)置在第一可動電極部和第二可動電極部上的貫穿孔的寬度，因此能夠在保證第一可動電極部的面積和第二可動電極部的面積的同時，高效地減小阻尼（欲使可動體的運動停止的作用、流動阻力）。因此，根據(jù)這種物理量傳感器，具有簡單的結(jié)構(gòu)，并且能夠提高檢測靈敏度。應(yīng)用例2在本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，所述可動體的所述第一區(qū)域的質(zhì)量與所述可動體的所述第二區(qū)域的質(zhì)量互相不同。根據(jù)這種物理量傳感器，能夠在例如施加了鉛直方向上的加速度時，使可動體的第一區(qū)域的轉(zhuǎn)矩、和可動體的第二區(qū)域的轉(zhuǎn)矩不均衡，從而使可動體產(chǎn)生預定的傾斜度。應(yīng)用例3在本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，被設(shè)置在所述第一可動電極部上的所述第二貫穿孔的所述第一固定電極部側(cè)的開口面的總面積、與被設(shè)置在所述第二可動電極部上的所述第二貫穿孔的所述第二固定電極部側(cè)的開口面的總面積彼此相同。根據(jù)這種物理量傳感器，由于具有簡單的結(jié)構(gòu)，并且，能夠使第一可動電極部與第一固定電極部之間的初始電容、和第二可動電極部與第二固定電極部之間的初始電容相等，因此能夠進一步提高檢測靈敏度的精度。應(yīng)用例4在本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，所述第二貫穿孔在所述第一軸的方向上延伸。根據(jù)這種物理量傳感器，能夠在保證第一可動電極部的面積和第二可動電極部的面積的同時，高效地減小阻尼。應(yīng)用例5在本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，所述第一貫穿孔和所述第二貫穿孔中的至少一方設(shè)置有多個。根據(jù)這種物理量傳感器，能夠進一步減小阻尼。應(yīng)用例6在本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，所述阻尼調(diào)節(jié)部被設(shè)置在所述可動體的、與所述第一軸交叉的第二軸的方向上的端部處。根據(jù)這種物理量傳感器，由于能夠?qū)⒌谝回灤┛自O(shè)置在從成為旋轉(zhuǎn)軸的第一軸離開的位置上，因此能夠高效地減小阻尼。應(yīng)用例7在本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，所述阻尼調(diào)節(jié)部被設(shè)置在所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域這兩個區(qū)域內(nèi)，被設(shè)置在所述第一區(qū)域內(nèi)的所述阻尼調(diào)節(jié)部的所述第一貫穿孔的寬度，大于被設(shè)置在所述第二區(qū)域內(nèi)的所述阻尼調(diào)節(jié)部的所述第一貫穿孔的寬度。根據(jù)這種物理量傳感器，具有簡單的結(jié)構(gòu)，并且能夠提高檢測靈敏度。應(yīng)用例8本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備包括上述任一應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器。根據(jù)這種電子設(shè)備，由于包括本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器，因此具有簡單的結(jié)構(gòu)，并且能夠提高檢測靈敏度。附圖說明圖1為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。圖2為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器的剖視圖。圖3為用于對貫穿孔與阻尼之間的關(guān)系進行說明的圖。圖4為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。圖5為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。圖6為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。圖7為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器的改變例的俯視圖。圖8為示意性地表示本實施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。圖9為示意性地表示本實施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。圖10為示意性地表示本實施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。具體實施方式下面，利用附圖，對本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式詳細地進行說明。另外，在下文中說明的實施方式并不是對權(quán)利要求書中所記載的本發(fā)明的內(nèi)容不合理地進行限定的實施方式。此外，在下文中所說明的結(jié)構(gòu)并不一定都是本發(fā)明的必要的結(jié)構(gòu)要件。1.物理量傳感器首先，參照附圖，對本實施方式所涉及的物理量傳感器進行說明。圖1為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器100的俯視圖。圖2為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器100的剖視圖。另外，圖2為沿圖1中的II-II線的剖視圖。此外，在圖1中，為了便于說明，而省略了蓋體60的圖示。在圖1及圖2中，作為互相正交的三個軸，圖示了X軸、Y軸、Z軸。物理量傳感器100例如可以作為慣性傳感器而使用，具體而言，例如可以作為用于對鉛直方向（Z軸方向）上的加速度進行測定的加速度傳感器（靜電電容型加速度傳感器、靜電電容型MEMS加速度傳感器）而利用。如圖1及圖2所示，物理量傳感器100包括支承基板（基板）10、可動體20、梁部30、32以及第一固定電極部50和第二固定電極部52。物理量傳感器100還可以包括固定部40和蓋體60。在支承基板10上，設(shè)置有第一固定電極部50和第二固定電極部52。在圖示的示例中，固定電極部50、52被設(shè)置在對凹部12的底面進行規(guī)定的支承基板10的面14上。設(shè)置有固定電極部50、52的、支承基板10的面14為平坦的面。當可動體20為水平（平行于XY平面）的情況下，支承基板10的面14平行于可動體20。在支承基板10上，接合有固定部40及蓋體60。通過支承基板10和蓋體60，從而能夠形成用于收納可動體20的空間。在該空間內(nèi)，例如填充有氮、氦、氬等惰性氣體。支承基板10的材質(zhì)并不被特別地限定，例如為玻璃等絕緣材料。例如通過將支承基板10設(shè)定為玻璃等絕緣材料、將可動體20設(shè)定為硅等半導體材料，從而能夠通過使可動體20和支承基板10粘合在一起，而容易地使兩者電絕緣，由此能夠簡化傳感器結(jié)構(gòu)?？蓜芋w20隔著間隙2而被設(shè)置在支承基板10上?？蓜芋w20通過第一梁部30和第二梁部32而被支承?？蓜芋w20能夠以第一軸Q1為旋轉(zhuǎn)軸而進行位移。具體而言，可動體20能夠在例如被施加了鉛直方向（Z軸方向）上的加速度時，以由梁部30、32確定的第一軸Q1為旋轉(zhuǎn)軸（擺動軸）而進行杠桿式擺動?？蓜芋w20的外邊緣的形狀在俯視觀察時（從Z軸方向觀察時）例如為長方形。此外，可動體20的厚度（Z軸方向上的大?。├鐬楣潭?。可動體20具有第一杠桿片20a和第二杠桿片20b。第一杠桿片20a為，在俯視觀察時，通過第一軸Q1而被劃分的、可動體20的兩個區(qū)域中的一側(cè)區(qū)域即第一區(qū)域（在圖1中為位于右側(cè)的部分）。第二杠桿片20b為，在俯視觀察時，通過第一軸Q1而被劃分的、可動體20的兩個區(qū)域中的另一側(cè)區(qū)域即第二區(qū)域（在圖1中為位于左側(cè)的部分）。例如，在向可動體20施加了鉛直方向上的加速度（例如重力加速度）時，第一杠桿片20a和第二杠桿片20b各自產(chǎn)生轉(zhuǎn)矩（力矩）。在此，當?shù)谝桓軛U片20a的轉(zhuǎn)矩（例如順時針方向的轉(zhuǎn)矩）和第二杠桿片20b的轉(zhuǎn)矩（例如逆時針方向的轉(zhuǎn)矩）均衡時，可動體20的傾斜度不會發(fā)生變化，從而無法檢測出加速度的變化。因此，可動體20被設(shè)計成，當施加了鉛直方向上的加速度時，第一杠桿片20a的轉(zhuǎn)矩和第二杠桿片20b的轉(zhuǎn)矩不均衡，從而使可動體20產(chǎn)生預定的傾斜度。在物理量傳感器100中，通過將第一軸Q1配置在從可動體20的中心（重心）偏離的位置上（通過使從第一軸Q1到各個杠桿片20a、20b的頂端的距離不同），從而使杠桿片20a、20b具有互不相同的質(zhì)量。即，可動體20以第一軸Q1為界，在一側(cè)（第一杠桿片20a）和另一側(cè)（第二杠桿片20b）質(zhì)量有所不同。在圖示的示例中，從第一軸Q1到第一杠桿片20a的端面24的距離，大于從第一軸Q1到第二杠桿片20b的端面25的距離。此外，第一杠桿片20a的厚度與第二杠桿片20b的厚度相等。因此，第一杠桿片20a的質(zhì)量大于第二杠桿片20b的質(zhì)量。通過以上述方式使杠桿片20a、20b具有互不相同的質(zhì)量，從而能夠在施加了鉛直方向上的加速度時，使第一杠桿片20a的轉(zhuǎn)矩和第二杠桿片20b的轉(zhuǎn)矩不均衡。因此，能夠在施加了鉛直方向上的加速度時，使可動體20產(chǎn)生預定的傾斜度。另外，雖然未圖示，但也可以采用如下方式，即，通過將第一軸Q1配置在可動體20的中心處，且使杠桿片20a、20b的厚度互不相同，從而使杠桿片20a、20b具有互不相同的質(zhì)量。在這種情況下，也能夠在施加了鉛直方向上的加速度時，使可動體20產(chǎn)生預定的傾斜度?？蓜芋w20以與支承基板10分離的方式而設(shè)置。在圖示的示例中，在可動體20與支承基板10之間，設(shè)置有間隙2。此外，可動體20通過梁部30、32而以與固定部40分離的方式而被連接。在可動體20與固定部40之間，設(shè)置有間隙4。由于在可動體20的周圍存在間隙2、4，從而可動體20能夠進行杠桿式擺動?？蓜芋w20于在俯視觀察時位于第一軸Q1的一側(cè)的第一杠桿片20a上，具有第一可動電極部21和阻尼調(diào)節(jié)部23。而且，可動體20于在俯視觀察時位于第一軸Q1的另一側(cè)的第二杠桿片20b上，具有第二可動電極部22。第一可動電極部21為，可動體20中的、在俯視觀察時與第一固定電極部50重疊的部分。第一可動電極部21為，可動體20中的、與第一固定電極部50之間形成靜電電容C1的部分。在第一可動電極部21上設(shè)置有貫穿孔（第二貫穿孔）27，所述貫穿孔27在厚度方向上貫穿可動體20。在圖示的示例中，在第一可動電極部21上設(shè)置有多個（五個）貫穿孔27。第二可動電極部22為，可動體20中的、在俯視觀察時與第二固定電極部52重疊的部分。第二可動電極部22為，可動體20中的、與第二固定電極部52之間形成靜電電容C2的部分。在第二可動電極部22上設(shè)置有貫穿孔（第二貫穿孔）28，所述貫穿孔28在厚度方向上貫穿可動體20。在第二可動電極部22上設(shè)置有多個（五個）貫穿孔28。在物理量傳感器100中，可以通過由導電性材料構(gòu)成可動體20，來形成可動電極部21、22，也可以在可動體20的表面上形成由金屬等導體層構(gòu)成的可動電極部。在圖示的示例中，通過由導電性材料（摻雜了雜質(zhì)的硅）構(gòu)成可動體20，來形成可動電極部21、22。阻尼調(diào)節(jié)部23為，可動體20中的、在俯視觀察時不與固定電極部50、52重疊的部分。在圖示的示例中，阻尼調(diào)節(jié)部23被設(shè)置在可動體20的第二軸Q2的方向（沿著第二軸Q2的方向）上的端部處。在此，第二軸Q2為與第一軸Q1正交的軸。在第一振動片20a中，在第二軸Q2的方向（在圖示的示例中為＋X軸方向）上，從第一軸Q1側(cè)起，第一可動電極部21、阻尼調(diào)節(jié)部23依次排列。在阻尼調(diào)節(jié)部23上，設(shè)置有于厚度方向上貫穿可動體20的貫穿孔（第一貫穿孔）26。在圖示的示例中，在阻尼調(diào)節(jié)部23上設(shè)置有多個（三個）貫穿孔26。另外，貫穿孔26、27、28的數(shù)量并不被特別地限定。能夠通過在阻尼調(diào)節(jié)部23中，對貫穿孔26的數(shù)量或面積進行調(diào)節(jié)，從而對可動體20的衰減進行調(diào)節(jié)。貫穿孔26、27、28在可動體20進行擺動（轉(zhuǎn)動）時成為氣體的流道。因此，通過貫穿孔26、27、28，從而能夠減少在可動體20進行擺動時，由于氣體的粘性而產(chǎn)生的阻尼（欲使可動體的運動停止的作用、流動阻力）。因此，能夠提高檢測靈敏度。此外，由于貫穿孔26、27、28分別被設(shè)置有多個，因此能夠進一步減少阻尼，從而能夠進一步提高檢測靈敏度。貫穿孔26的寬度a大于貫穿孔27的寬度b以及貫穿孔28的寬度c。在此，貫穿孔的寬度是指，與成為旋轉(zhuǎn)軸的第一軸Q1正交的、第二軸Q2的方向上的貫穿孔的大小，在圖示的示例中，為貫穿孔的X軸方向上的大小。通過將貫穿孔26的寬度a設(shè)定為大于貫穿孔27的寬度b及貫穿孔28的寬度c，從而能夠在保證可動電極部21、22的面積的同時，高效地減少阻尼。在下文中，對該理由進行說明。圖3為用于對貫穿孔與阻尼之間的關(guān)系進行說明的圖。在圖3中，圖示了具有可動電極部1021及固定電極部1050的模型M1、模型M2。具體而言，模型M1的可動電極部1021的寬度w1為，模型M2的可動電極部1021的寬度w2的兩倍。此外，模型M1的相鄰的可動電極部1021間的間隔S1為，模型M2的相鄰的可動電極部1021間的間隔S2的兩倍。此外，模型M1的可動電極部1021的長度L1與模型M2的可動電極部1021的長度L2為相同的大小。因此，模型M1的可動電極部1021的總面積（2×w1×L1）與模型M2的可動電極部1021的總面積（4×w2×L2）相等，模型M1的可動電極部1021間的間隔的總面積（2×S1×L1）與模型M2的可動電極部1021的間隔的總面積（4×S2×L2）相等。在此，通過使可動電極部1021進行運動，從而使電極部1021、1050之間的氣體移動，此時，關(guān)于可動電極部1021的運動，由于氣體的粘性而產(chǎn)生欲使可動電極部的運動停止的作用、即產(chǎn)生阻尼。當將可動電極部1021的寬度設(shè)定為w，將可動電極部1021的長度設(shè)定為L，將可動電極部1021與固定電極部1050之間的距離設(shè)定為d，并將電極部1021、1050的對數(shù)設(shè)定為n時，表示阻尼大小的阻尼系數(shù)D可以用下式（1）來表示。數(shù)學式1在此，η為空氣的粘性系數(shù)。根據(jù)式（1），模型M2的阻尼系數(shù)D成為模型M1的阻尼系數(shù)D的1/4。其理由為，阻尼系數(shù)D與可動電極部1021的寬度w的三次方成正比。如此，在模型M2中，盡管可動電極部1021的面積與模型M1相同，但與模型M1相比，能夠減小阻尼系數(shù)D（減小阻尼）。根據(jù)該結(jié)果可知，通過減小相鄰的可動電極部間的間隔并減小可動電極部的寬度，從而能夠在保證可動電極部的面積的同時，高效地減小阻尼。因此，在物理量傳感器100中，通過減小貫穿孔27、28的寬度b、c，從而能夠在保證可動電極部21、22的面積的同時，高效地減小阻尼。另外，在阻尼調(diào)節(jié)部23中，由于不需要保證（增大）面積，因此能夠通過形成與被設(shè)置在可動電極部21、22上的貫穿孔27、28相比寬度較大的貫穿孔26，從而進一步減小阻尼。如圖1所示，被設(shè)置在阻尼調(diào)節(jié)部23上的貫穿孔26在第一軸Q1的方向上延伸。貫穿孔26的平面形狀例如為具有平行于第一軸Q1的長邊和平行于第二軸Q2的短邊的長方形。被設(shè)置在阻尼調(diào)節(jié)部23上的多個（三個）貫穿孔26，沿著第二軸Q2（在X軸方向上）排列。多個貫穿孔26的寬度a以及長度（Y軸方向上的大小）相同。即，多個貫穿孔26具有彼此相同的形狀。另外，多個貫穿孔26也可以具有分別不同的形狀。被設(shè)置在第一可動電極部21上的貫穿孔27在第一軸Q1的方向上延伸。在圖示的示例中，貫穿孔27的平面形狀為，具有平行于第一軸Q1的長邊和平行于第二軸Q2的短邊的長方形。因此，在第一可動電極部21中，能夠?qū)⑾噜彽呢灤┛?7間的部分的平面形狀設(shè)定為，具有平行于第一軸Q1的長邊和平行于第二軸Q2的短邊的長方形。因此，能夠在保證第一可動電極部21的面積的同時，高效地減小阻尼。被設(shè)置在第一可動電極部21上的多個（五個）貫穿孔27沿著第二軸Q2排列。多個貫穿孔27的寬度b以及長度相同。即，多個貫穿孔27具有彼此相同的形狀。另外，多個貫穿孔27也可以具有分別不同的形狀。被設(shè)置在第二可動電極部22上的貫穿孔28在第一軸Q1的方向上延伸。在圖示的示例中，貫穿孔28的平面形狀為，具有平行于第一軸Q1的長邊和平行于第二軸Q2的短邊的長方形。因此，在第二可動電極部22中，能夠?qū)⑾噜彽呢灤┛?8間的部分的平面形狀設(shè)定為，具有平行于第一軸Q1的長邊和平行于第二軸Q2的短邊的長方形。因此，能夠在保證第二可動電極部22的面積的同時，高效地減小阻尼。被設(shè)置在第二可動電極部22上的多個（五個）貫穿孔28沿著第二軸Q2排列。多個貫穿孔28的寬度c以及長度相同。即，多個貫穿孔28具有彼此相同的形狀。另外，多個貫穿孔28也可以具有分別不同的形狀。在圖示的示例中，在俯視觀察時，固定電極部50、52位于可動體20的外邊緣的內(nèi)側(cè)。因此，第一可動電極部21與第一固定電極部50重疊的區(qū)域的面積，等于從第一固定電極部50的面積中減去被設(shè)置在第一可動電極部21上的貫穿孔27的總面積而得到的面積。此外，第二可動電極部22與第二固定電極部52重疊的區(qū)域的面積，等于從第二固定電極部52的面積中減去被設(shè)置在第二可動電極部22上的貫穿孔28的總面積而得到的面積。在此，貫穿孔27和貫穿孔28具有相同的形狀，從而貫穿孔27的面積（開口的面積）和貫穿孔28（開口的面積）的面積相等。此外，貫穿孔27的數(shù)量與貫穿孔28的數(shù)量相等。即，被設(shè)置在第一可動電極部21上的貫穿孔27的總面積與被設(shè)置在第二可動電極部22上的貫穿孔28的總面積相等。此外，第一固定電極部50的面積與第二固定電極部52的面積相等。因此，于在俯視觀察時除第二貫穿孔27、28之外的部分處，第一可動電極部21與第一固定電極部50重疊的區(qū)域的面積、和第二可動電極部22與第二固定電極部52重疊的區(qū)域的面積相等。因此，能夠在初始狀態(tài)（可動體為水平的狀態(tài)）下，使第一可動電極部21與第一固定電極部50之間的靜電電容C1、和第二可動電極部22與第二固定電極部52之間的靜電電容C2相等。在支承基板10的與第一可動電極部21對置的位置處，設(shè)置有第一固定電極部50。通過該第一可動電極部21和第一固定電極部50從而形成了靜電電容C1。此外，在支承基板10的與第二可動電極部22對置的位置處，設(shè)置有第二固定電極部52。通過該第二可動電極部22和第二固定電極部52從而形成了靜電電容C2。靜電電容C1和靜電電容C2例如被構(gòu)成為，在初始狀態(tài)（可動體20為水平的狀態(tài)）下相等。第一可動電極部21和第二可動電極部22的位置根據(jù)可動體20的運動而發(fā)生變化。對應(yīng)于該可動電極部21、22的位置的變化，靜電電容C1、C2發(fā)生變化。在可動體20上例如經(jīng)由梁部30、32而被施加了預定的電位。另外，雖然未圖示，但也可以采用如下方式，即，在蓋體60的、與第一可動電極部21對置的位置處設(shè)置有第一固定電極部50，并在蓋體60的、與第二可動電極部22對置的位置處設(shè)置有第二固定電極部52。第一梁部30和第二梁部32以能夠使可動體20繞第一軸Q1進行位移的方式而對可動體20進行支承。梁部30、32作為扭簧（Torsionspring）而發(fā)揮功能。由此，相對于由于可動體20進行杠桿式擺動而在梁部30、32上產(chǎn)生的扭曲變形，梁部30、32具有較強的復原力，從而能夠防止梁部30、32發(fā)生破損的情況。如圖1所示，在俯視觀察時，第一梁部30和第二梁部32被配置在第一軸Q1上。梁部30、32在第一軸Q1上從固定部40延伸至可動體20。梁部30、32為，對成為可動體20的旋轉(zhuǎn)軸（擺動軸）的第一軸Q1的位置進行確定的部件。梁部30、32將固定部40和可動體20連接在一起。第一梁部30被連接在可動體20的＋Y軸方向側(cè)的側(cè)面上，第二梁部32被連接在可動體20的－Y軸方向側(cè)的側(cè)面上。在俯視觀察時，固定部40被設(shè)置在可動體20的四周。在圖示的示例中，固定部40以在俯視觀察時對可動體20進行包圍的方式而設(shè)置。另外，固定部40的形狀并不被特別地限定。固定部40被固定在支承基板10上。固定部40和可動體20分離，從而在固定部40與可動體20之間設(shè)置有間隙4。可動體20、梁部30、32以及固定部40被設(shè)置成一體?？蓜芋w20、梁部30、32以及固定部40通過對一個基板（例如硅基板）進行圖案形成，從而一體地被設(shè)置。第一固定電極部50被設(shè)置在支承基板10上。第一固定電極部50被配置在與第一可動電極部21對置的位置處。在第一固定電極部50的上方，隔著間隙2而設(shè)置有第一可動電極部21。第一固定電極部50被設(shè)置為，與第一可動電極部21之間形成靜電電容C1。第二固定電極部52被設(shè)置在支承基板10上。第二固定電極部52被配置在與第二可動電極部22對置的位置處。在第二固定電極部52的上方，隔著間隙2而設(shè)置有第二可動電極部22。第二固定電極部52被設(shè)置為，與第二可動電極部22之間形成靜電電容C2。第一固定電極部50的面積與第二固定電極部52的面積相等。第一固定電極部50的平面形狀和第二固定電極部52的平面形狀為，例如以第一軸Q1為軸而對稱。固定電極部50、52的材質(zhì)例如為鋁、金、ITO（IndiumTinOxide：銦錫氧化物）等。固定電極部50、52的材質(zhì)優(yōu)選為，ITO等透明電極材料。其理由為，通過使用透明電極材料以作為固定電極部50、52，從而在支承基板10為透明基板（玻璃基板）時，能夠容易地對存在于固定電極部50、52上的異物等進行目視確認。蓋體60被放置在支承基板10上。作為蓋體60，例如可以使用硅基板（硅制的基板）。當使用玻璃基板以作為支承基板10時，支承基板10和蓋體60可以通過陽極接合而被接合在一起。接下來，對物理量傳感器100的動作進行說明。在物理量傳感器100中，可動體20根據(jù)加速度、角速度等物理量，而繞第一軸Q1進行擺動（轉(zhuǎn)動）。隨著該可動體20的運動，第一可動電極部21與第一固定電極部50之間的距離、以及第二可動電極部22與第二固定電極部52之間的距離將發(fā)生變化。具體而言，電極部21、50間的距離和電極部22、52間的距離中的一方增大，而另一方減小。因此，由于可動體20的擺動（轉(zhuǎn)動），從而靜電電容C1、C2中的一方增大，而另一方減小。因此，能夠根據(jù)靜電電容C1與靜電電容C2之差（通過所謂的差動電容檢測方式），而對加速度與角速度等物理量進行檢測。如上文所述，物理量傳感器100可以作為加速度傳感器或陀螺傳感器等慣性傳感器而使用，具體而言，例如可以作為用于對鉛直方向上的加速度進行檢測的靜電電容型加速度傳感器而使用。本實施方式所涉及的物理量傳感器100例如具有以下的特征。在物理量傳感器100中，可動體20具有以成為旋轉(zhuǎn)軸的第一軸Q1為界，而被設(shè)置在第一杠桿片20a上的第一可動電極部21及阻尼調(diào)節(jié)部23、和被設(shè)置在第二杠桿片20b上的第二可動電極部22，并且于在俯視觀察時除第二貫穿孔27、28之外的部分處，第一可動電極部21與第一固定電極部50重疊的區(qū)域的面積、和第二可動電極部22與第二固定電極部52重疊的區(qū)域的面積相等。由此，能夠在初始狀態(tài)（可動體為水平的狀態(tài)）下，使第一可動電極部21與第一固定電極部50之間的靜電電容C1、和第二可動電極部22與第二固定電極部52之間的靜電電容C2相等。因此，例如，由于不需要對可動電極部與固定電極部之間的間隙的調(diào)節(jié)、或?qū)Τ跏茧娙莸牟钸M行補正的電路等以消除電極部21、50間的初始電容與電極部22、52間的初始電容之差，從而能夠?qū)⒀b置設(shè)定成簡單的結(jié)構(gòu)。如此，根據(jù)物理量傳感器100，從而能夠通過簡單的結(jié)構(gòu)來使初始狀態(tài)下的靜電電容C1、C2相等。而且，在物理量傳感器100中，被設(shè)置在阻尼調(diào)節(jié)部23上的貫穿孔26的寬度a，大于被設(shè)置在可動電極部21、22上的貫穿孔27、28的寬度b、c。由此，能夠在保證可動電極部21、22的面積的同時，高效地減少阻尼。此外，在阻尼調(diào)節(jié)部23中，由于不需要保證（增大）面積，因此能夠通過形成與被設(shè)置在可動電極部21、22上的貫穿孔27、28相比寬度較大的貫穿孔26，從而進一步減小阻尼。因此，根據(jù)物理量傳感器100，能夠提高檢測靈敏度。如此，根據(jù)物理量傳感器100，具有簡單的結(jié)構(gòu)，并且能夠提高檢測靈敏度。在物理量傳感器100中，可動體20的第一杠桿片20a的質(zhì)量與可動體20的第二杠桿片20b的質(zhì)量不同。因此，能夠在例如施加了鉛直方向上的加速度時，使可動體20的一側(cè)（第一杠桿片20a）的轉(zhuǎn)矩、和可動體20的另一側(cè)（第二杠桿片20b）的轉(zhuǎn)矩不均衡，從而使可動體產(chǎn)生預定的傾斜度。在物理量傳感器100中，被設(shè)置在第一可動電極部21上的貫穿孔27的面積、與被設(shè)置在第二可動電極部22上的貫穿孔28的面積相同。由此，能夠通過簡單的結(jié)構(gòu)，來使初始狀態(tài)下的靜電電容C1、C2相等。此外，在物理量傳感器100中，被設(shè)置在第一可動電極部21上的貫穿孔27的總面積、與被設(shè)置在第二可動電極部22上的貫穿孔28的總面積相同。由此，能夠通過簡單的結(jié)構(gòu)，而使初始狀態(tài)下的靜電電容C1、C2相等。在物理量傳感器100中，被設(shè)置在可動電極部21、22上的貫穿孔27、28在俯視觀察時于第一軸Q1的方向上延伸。由此，能夠在保證可動電極部21、22的面積的同時，高效地減少阻尼。在物理量傳感器100中，在阻尼調(diào)節(jié)部23上設(shè)置有多個貫穿孔26。此外，在第一可動電極部21上設(shè)置有多個貫穿孔27，在第二可動電極部22上設(shè)置有多個貫穿孔28。由此，能夠進一步減小阻尼。在物理量傳感器100中，阻尼調(diào)節(jié)部23被設(shè)置在可動體20的第二軸Q2的方向上的端部處。由此，由于能夠在遠離成為旋轉(zhuǎn)軸的第一軸Q1的位置處設(shè)置貫穿孔26，因此能夠高效地減小阻尼。2.物理量傳感器的制造方法接下來，參照附圖，對本實施方式所涉及的物理量傳感器的制造方法進行說明。圖4～圖6為示意性地表示本實施方式所涉及的物理量傳感器100的制造工序的剖視圖。如圖4所示，例如通過對玻璃基板進行蝕刻而在玻璃基板上形成凹部12，從而獲得支承基板10。蝕刻例如通過濕式蝕刻來進行。接下來，在對凹部12的底面進行規(guī)定的支承基板10的面14上，形成第一固定電極部50及第二固定電極部52。固定電極部50、52通過如下方式而形成，即，在利用濺射法等而在支承基板10的面14上形成導電層之后，利用光刻技術(shù)及蝕刻技術(shù)而對該導電層進行圖案形成的方式。如圖5所示，使硅基板201（傳感器基板）接合在支承基板10上。支承基板10與硅基板201之間的接合例如利用陽極接合、直接接合、或者粘合劑來實施。如圖6所示，在通過例如研磨機而對硅基板201進行研磨以使硅基板201薄膜化之后，圖案形成為所需的形狀，從而形成可動體20、梁部30、32以及固定部40。另外，在可動體20上形成有貫穿孔26、27、28。圖案形成通過光刻技術(shù)及蝕刻技術(shù)（干蝕刻）來實施，作為更加具體的蝕刻技術(shù)，可以利用博世（Bosch）法。在本工序中，通過對硅基板201進行圖案形成（蝕刻），從而一體地形成可動體20、梁部30、32和固定部40。如圖1及圖2所示，將蓋體60接合在支承基板10上，從而將可動體20收納在通過支承基板10和蓋體60而形成的空間內(nèi)。支承基板10與蓋體60之間的接合例如利用陽極接合或粘合劑等來實施。通過在惰性氣體氣氛下實施該工序，從而能夠?qū)⒍栊詺怏w填充在收納有可動體20的空間內(nèi)。通過以上的工序，從而能夠制造出物理量傳感器100。3.物理量傳感器的改變例接下來，參照附圖，對本實施方式的改變例所涉及的物理量傳感器進行說明。圖7為示意性地表示本實施方式的改變例所涉及的物理量傳感器200的俯視圖。下面，對于物理量傳感器200中，具有與物理量傳感器100的結(jié)構(gòu)部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并省略其詳細的說明。在上述的物理量傳感器100中，如圖1所示，將成為旋轉(zhuǎn)軸的第一軸Q1配置在從可動體20的中心（重心）偏離的位置上。與此相對，在物理量傳感器200中，如圖7所示，成為旋轉(zhuǎn)軸的第一軸Q1被配置為，穿過可動體20的中心（重心）?？蓜芋w20在第一軸Q1的一側(cè)（第一杠桿片20a）具有第一可動電極部21及阻尼調(diào)節(jié)部23（第一阻尼調(diào)節(jié)部23），并在第一軸Q1的另一側(cè)（第二杠桿片20b）具有第二可動電極部22及第二阻尼調(diào)節(jié)部223。第二阻尼調(diào)節(jié)部223為，第二杠桿片20b中的、在俯視觀察時不與第二固定電極部52重疊的部分。在圖示的示例中，第二阻尼調(diào)節(jié)部223被設(shè)置在可動體20的第二軸Q2的方向（沿著第二軸Q2的方向）上的端部處。在第二阻尼調(diào)節(jié)部223上，設(shè)置有于厚度方向上貫穿可動體20的貫穿孔226。在圖示的示例中，在第二阻尼調(diào)節(jié)部223上設(shè)置有多個（兩個）貫穿孔226。通過在阻尼調(diào)節(jié)部23、223中，對貫穿孔26、226的數(shù)量或面積進行調(diào)節(jié)，從而能夠調(diào)節(jié)可動體20的衰減。被設(shè)置在第二阻尼調(diào)節(jié)部223上的貫穿孔226的寬度a2，大于被設(shè)置在第一阻尼調(diào)節(jié)部23上的貫穿孔26的寬度a1。因此，第一杠桿片20a的質(zhì)量大于第二杠桿片20b的質(zhì)量。因此，能夠在例如施加了鉛直方向上的加速度時，使可動體20的一側(cè)（第一杠桿片20a）的轉(zhuǎn)矩和可動體20的另一側(cè)（第二杠桿片20b）的轉(zhuǎn)矩不均衡，從而使可動體產(chǎn)生預定的傾斜度。根據(jù)物理量傳感器200，被設(shè)置在阻尼調(diào)節(jié)部23、223上的貫穿孔26、226的寬度a1、a2，大于被設(shè)置在可動電極部21、22上的貫穿孔27、28的寬度b、c。由此，與物理量傳感器100相同，能夠在保證可動電極部21、22的面積的同時，高效地減小阻尼。此外，在阻尼調(diào)節(jié)部23、223中，由于不需要增大面積，因此能夠通過形成與被設(shè)置在可動電極部21、22上的貫穿孔27、28相比寬度較大的貫穿孔26、226，從而進一步減小阻尼。因此，根據(jù)物理量傳感器200，能夠提高檢測靈敏度。而且，由于第一可動電極部21與第一固定電極部50重疊的區(qū)域的面積、和第二可動電極部22與第二固定電極部52重疊的區(qū)域的面積相等，因此能夠通過簡單的結(jié)構(gòu)而使初始狀態(tài)下的靜電電容C1、C2相等。4.電子設(shè)備接下來，參照附圖，對本實施方式所涉及的電子設(shè)備進行說明。本實施方式所涉及的電子設(shè)備包括本發(fā)明所涉及的物理量傳感器。在下文中，對包括作為本發(fā)明所涉及的物理量傳感器的物理量傳感器100的電子設(shè)備進行說明。圖8為示意性地表示作為本實施方式所涉及的電子設(shè)備的便攜式（或者筆記本式）個人計算機1100的立體圖。如圖8所示，個人計算機1100通過具備鍵盤1102的主體部1104、和具有顯示部1108的顯示單元1106而構(gòu)成，顯示單元1106以能夠通過鉸鏈結(jié)構(gòu)部而相對于主體部1104進行轉(zhuǎn)動的方式被支承。在這種個人計算機1100中，內(nèi)置有物理量傳感器100。圖9為示意性地表示作為本實施方式所涉及的電子設(shè)備的移動電話（也包括PHS（PersonalHandy-phoneSystem，個人移動電話系統(tǒng)））1200的立體圖。如圖9所示，移動電話1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。在這種移動電話1200中，內(nèi)置有物理量傳感器100。圖10為示意性地表示作為本實施方式所涉及的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機1300的立體圖。另外，在圖10中，還簡單地圖示了與外部設(shè)備之間的連接。在此，通常的照相機通過被攝物體的光學圖像而使銀鹽感光膠片感光，與此相對，數(shù)碼照相機1300通過CCD（ChargeCoupledDevice：電荷耦合元件）等攝像元件而對被攝物體的光學圖像進行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號（圖像信號）。在數(shù)碼照相機1300的殼體（主體）1302的背面設(shè)置有顯示部1310，并且成為根據(jù)由CCD產(chǎn)生的攝像信號來進行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1310作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。此外，在殼體1302的正面?zhèn)龋▓D中背面?zhèn)龋┰O(shè)置有包括光學鏡片（攝像光學系統(tǒng)）與CCD等在內(nèi)的受光單元1304。當攝影者對被顯示在顯示部1310上的被攝物體進行確認，并按下快門按鈕1306時，該時間點上的CCD的攝像信號被傳送并存儲在存儲器1308中。此外，在該數(shù)碼照相機1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有影像信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。并且，根據(jù)需要，而在影像信號輸出端子1312上連接有影像監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個人計算機1440。而且，形成了如下的結(jié)構(gòu)，即，通過預定的操作，從而使被存儲于存儲器1308中的攝像信號向影像監(jiān)視器1430或個人計算機1440輸出的結(jié)構(gòu)。在這種數(shù)碼照相機1300中，內(nèi)置有物理量傳感器100。如上所述的電子設(shè)備1100、1200、1300具有簡單的結(jié)構(gòu)，并且包括能夠提高檢測靈敏度的物理量傳感器100。因此，電子設(shè)備1100、1200、1300具有簡單的結(jié)構(gòu)，并且能夠提高檢測靈敏度。另外，具備上述物理量傳感器100的電子設(shè)備，除了能夠應(yīng)用于圖8所示的個人計算機（便攜式個人計算機）、圖9所示的移動電話、圖10所示的數(shù)碼照相機中之外，還能夠應(yīng)用于如下的裝置中，例如，噴墨式噴出裝置（例如，噴墨打印機）、膝上型個人計算機、電視機、攝像機、錄像機、各種汽車導航裝置、尋呼機、電子記事本（也包括附帶通信功能的產(chǎn)品）、電子詞典、臺式電子計算機、電子游戲機、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠鏡、POS（pointofsale：銷售點）終端、醫(yī)療設(shè)備（例如，電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖測量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡）、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計量儀器類（例如，車輛、飛機、船舶的計量儀器類）、飛行模擬器等。本發(fā)明包括與在實施方式中所說明的結(jié)構(gòu)實質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)（例如，功能、方法及結(jié)果相同的結(jié)構(gòu)，或者目的及效果相同的結(jié)構(gòu)）。此外，本發(fā)明包括對在實施方式中所說明的結(jié)構(gòu)的非本質(zhì)性的部分進行了置換的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明包括起到與在實施方式中所說明的結(jié)構(gòu)相同的作用效果的結(jié)構(gòu)、或者能夠達成相同的目的的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明包括在實施方式中所說明的結(jié)構(gòu)上追加了公知技術(shù)的結(jié)構(gòu)。符號說明2…間隙；4…間隙；10…支承基板；12…凹部；14…面；20…可動體；20a…第一杠桿片；20b…第二杠桿片；21…第一可動電極部；22…第二可動電極部；24、25…端面；23…阻尼調(diào)節(jié)部；26…貫穿孔（第一貫穿孔）；27、28…貫穿孔（第二貫穿孔）；30…第一梁部；32…第二梁部；40…固定部；50…第一固定電極部；52…第二固定電極部；60…蓋體；100、200…物理量傳感器；201…硅基板；223…第二阻尼調(diào)節(jié)部；226…貫穿孔；1021…可動電極部；1050…固定電極部；1100…個人計算機；1100…電子設(shè)備；1102…鍵盤；1104…主體部；1106…顯示單元；1108…顯示部；1200…移動電話；1202…操作按鈕；1204…聽筒；1206…話筒；1208…顯示部；1300…數(shù)碼照相機；1302…殼體；1304…受光單元；1306…快門按鈕；1308…存儲器；1310…顯示部；1312…影像信號輸出端子；1314…輸入輸出端子；1430…影像監(jiān)視器；1440…個人計算機；C1、C2…靜電電容；Q1…第一軸；Q2…第二軸。