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      振動(dòng)片、振動(dòng)片的制造方法、角速度傳感器、電子設(shè)備、移動(dòng)體與流程

      文檔序號(hào):11460392閱讀:來源:國知局
      振動(dòng)片、振動(dòng)片的制造方法、角速度傳感器、電子設(shè)備、移動(dòng)體與流程

      技術(shù)特征:
      1.一種振動(dòng)片,其特征在于,具備:基部;振動(dòng)臂,其從所述基部起進(jìn)行延伸;驅(qū)動(dòng)部以及檢測部,其被設(shè)置在所述振動(dòng)臂上;調(diào)節(jié)臂,其以與所述振動(dòng)臂并行的方式從所述基部起進(jìn)行延伸;調(diào)節(jié)部,其被設(shè)置在所述調(diào)節(jié)臂的主面上,所述調(diào)節(jié)部具有第一電極、第二電極以及被設(shè)置在所述第一電極與所述第二電極之間的壓電體層,所述調(diào)節(jié)臂的輸出信號(hào)相對(duì)于在所述振動(dòng)臂上未施加有角速度時(shí)從所述檢測部輸出的信號(hào)為反相。2.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片,其特征在于,在所述檢測部的與所述基部為相反側(cè)的頂端部處,于與所述驅(qū)動(dòng)部相比靠頂端側(cè)設(shè)置有,與所述檢測部的其他部分相比面積較大的大寬度部。3.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片,其特征在于,所述調(diào)節(jié)臂的長度短于所述振動(dòng)臂的長度。4.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片,其特征在于,所述調(diào)節(jié)部在所述調(diào)節(jié)臂的寬度方向上分支,且在長度方向上延伸設(shè)置。5.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)片,其特征在于,所述調(diào)節(jié)部具有共通部和多個(gè)分支部,所述共通部沿著所述調(diào)節(jié)臂的延伸方向設(shè)置,所述多個(gè)分支部從所述共通部起向所述調(diào)節(jié)臂的寬度方向兩側(cè)分支,且在所述延伸方向上配置。6.如權(quán)利要求5所述的振動(dòng)片,其特征在于,所述多個(gè)分支部中,與所述共通部側(cè)相比,寬度方向頂端側(cè)寬度較寬。7.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片,其特征在于,在所述調(diào)節(jié)臂中,在頂端部上設(shè)置有錘部,在所述基部側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)部。8.一種振動(dòng)片的制造方法,其特征在于,包括:形成基部、振動(dòng)臂、調(diào)節(jié)臂和調(diào)節(jié)部的工序,其中,所述振動(dòng)臂從所述基部起進(jìn)行延伸,所述調(diào)節(jié)臂以與所述振動(dòng)臂并行的方式從所述基部起進(jìn)行延伸,所述調(diào)節(jié)部在所述調(diào)節(jié)臂的主面上具有第一電極、第二電極以及設(shè)置在所述第一電極與所述第二電極之間的壓電體層,且在所述調(diào)節(jié)部中,所述第一電極被設(shè)置于所述調(diào)節(jié)臂的主面?zhèn)?;?duì)所述振動(dòng)臂的泄漏信號(hào)進(jìn)行檢測的工序;在所述泄漏信號(hào)的振幅處于目標(biāo)值的范圍外、且處于所設(shè)定的可調(diào)節(jié)值的范圍外時(shí),去除或附加所述壓電體層的一部分而對(duì)所述調(diào)節(jié)臂的頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序;在所述泄漏信號(hào)的振幅處于所述可調(diào)節(jié)值的范圍內(nèi)、且處于目標(biāo)值的范圍外時(shí),去除或附加所述第二電極的一部分而對(duì)所述調(diào)節(jié)部中所產(chǎn)生的電荷進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序。9.如權(quán)利要求8所述的振動(dòng)片的制造方法,其特征在于,所述調(diào)節(jié)部具有共通部和多個(gè)分支部,所述共通部沿著所述調(diào)節(jié)臂的延伸方向設(shè)置,所述多個(gè)分支部從所述共通部起向?qū)挾确较騼蓚?cè)分支,且在所述延伸方向上配置,所述振動(dòng)片的制造方法包括將所述分支部切斷的工序。10.一種角速度傳感器,其特征在于,具備:權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片;電子部件,其包括使所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電路、和對(duì)來自所述檢測部的信號(hào)進(jìn)行檢測的電路;封裝件,其對(duì)所述振動(dòng)片以及所述電子部件進(jìn)行收納。11.一種電子設(shè)備,其特征在于,具備權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片。12.一種移動(dòng)體,其特征在于,具備權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片。
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