異物檢測方法及液滴噴出方法發(fā)明為下述申請的分案申請，原申請信息如下：申請?zhí)枺?01110409325.1申請日：2011年12月09日發(fā)明名稱：異物檢測裝置及方法、液滴噴出裝置及方法關(guān)聯(lián)申請的引用：本申請基于并要求2010年12月9日提出的在先日本專利申請第2010－275033號和2011年2月25日提出的在先日本專利申請第2011－039540號的優(yōu)先權(quán)，在此引用其全部內(nèi)容。技術(shù)領(lǐng)域在此說明的實施方式整體上涉及異物檢測裝置、異物檢測方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。

背景技術(shù)：
已知有對液體中存在的異物進(jìn)行檢測的技術(shù)。例如已提出有一種在液滴噴出裝置中檢測噴出的液體中是否有氣泡等異物的技術(shù)。在這種技術(shù)中，例如，根據(jù)因存在氣泡而發(fā)生的振動能級的衰減或殘余振動波形來判別有無氣泡。但是，這種技術(shù)很難對細(xì)管路中等這種小區(qū)域中存在的氣泡等異物進(jìn)行檢測。因此，期望開發(fā)一種能夠高精度地檢測細(xì)管路中等這種小區(qū)域中存在的氣泡等異物的技術(shù)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的實施方式提供一種能提高異物檢測精度的異物檢測裝置、異物檢測方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。實施方式涉及的異物檢測方法，其特征在于，包括：向液體中導(dǎo)入具有滿足下述式子的頻率的壓力波的工序；將來自所述液體的反射波變換成電信號的工序；根據(jù)對所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號與未含有氣泡時得到的反射波的電信號之差，求取散射截面積，根據(jù)預(yù)先求取的氣泡大小與散射截面積之間的線性關(guān)系，提取關(guān)于氣泡的信息的工序；和根據(jù)提取到的所述關(guān)于氣泡的信息，求取所述氣泡大小的工序，在此，f是頻率，Ro是最大氣泡尺寸，Po是液體的平衡壓力，ρ是液體的密度，γ是熱容比。此外，實施方式涉及的其他異物檢測裝置包括：信號發(fā)生部，產(chǎn)生具有滿足下述式子的頻率的電信號；發(fā)信部，對來自所述信號發(fā)生部的電信號進(jìn)行變換，使液體中產(chǎn)生壓力波；接收部，接收來自所述液體的反射波并變換成電信號；保存部，保存與所述液體中未含有氣泡的狀態(tài)下得到的反射波的電信號有關(guān)的信息；和檢測部，根據(jù)對所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號與基于所保存的所述信息的電信號之差，求取散射截面積，根據(jù)預(yù)先求取的氣泡大小與散射截面積之間的關(guān)系，檢測所述氣泡大小，在此，f是頻率，Ro是最大氣泡尺寸，Po是液體的平衡壓力，ρ是液體的密度，γ是熱容比。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提高異物的檢測精度。附圖說明圖1是用于例示第一實施方式涉及的異物檢測裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖2是用于例示檢測定時的示意曲線圖。圖3A和圖3B是用于例示關(guān)于氣泡B的信息的提取的示意曲線圖，圖3A是用于例示有氣泡B時的基于反射波的電信號S1和沒有氣泡B時的電信號S2的圖，圖3B是用于例示含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號的圖。圖4是用于例示氣泡B的直徑尺寸與散射截面積之間的關(guān)系的曲線圖。圖5是用于例示第二實施方式涉及的異物檢測裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖6是用于例示第三實施方式涉及的異物檢測方法的流程圖。圖7是用于例示第四實施方式涉及的液滴噴出方法的流程圖。具體實施方式以下，參照附圖，關(guān)于實施方式進(jìn)行例示。再有，各附圖中，在相同的結(jié)構(gòu)要素上標(biāo)記同一符號，并省略詳細(xì)說明。再有，以下，作為一例，例示了將異物檢測裝置設(shè)置在液滴噴出裝置中的情況以及在液滴噴出方法中適用了異物檢測方法的情況。但是，異物檢測裝置和異物檢測方法的適用對象不限定于此，可以廣泛地適用于對液體中含有的氣泡等異物的檢測。圖1是用于例示第一實施方式涉及的異物檢測裝置和液滴噴出裝置的示意圖。液滴噴出裝置的驅(qū)動方式有“熱式”和“壓電式”，所述“熱式”是由加熱產(chǎn)生氣泡，利用膜態(tài)沸騰現(xiàn)象來使液體噴出，所述“壓電式”是利用壓電元件的彎曲位移來使液體噴出，作為一例，在此以壓電式為例進(jìn)行說明。在液滴噴出裝置100中設(shè)置有壓電部101、噴嘴主體102、撓性膜103、噴嘴部104、衰減部105、蓋106和異物檢測裝置1。壓電部101例如可以是將驅(qū)動電極101a、部件101b、驅(qū)動電極101c、部件101d、驅(qū)動電極101e依次層疊后整體燒結(jié)而成的。整體燒結(jié)后的壓電部101強度變高，而且也容易處理。部件101b和部件101d可以是由壓電材料形成的部件。作為壓電材料，可以例示壓電陶瓷(例如鋯鈦酸鉛)等。驅(qū)動電極101a、驅(qū)動電極101c和驅(qū)動電極101e可以是由銅合金等形成的電極。如后所述，壓電部101成為用于使液體噴出的加壓源，但也具有異物檢測裝置1的發(fā)信部和接收部的功能。再有，異物檢測裝置1中設(shè)置的信號發(fā)生部2，也具有輸出用于驅(qū)動壓電部101作為加壓源的電信號的功能。噴嘴主體102中設(shè)置有收納要噴出的液體的液室102a。將液室102a設(shè)置成貫通噴嘴主體102的兩端部間。液室102a可以是例如具有當(dāng)量直徑尺寸為d的截面的液室。在此，在液室102a的截面形狀是圓形的情況下，當(dāng)量直徑尺寸d是其直徑尺寸，在液室102a的截面形狀是例如多角形等的情況下，當(dāng)量直徑尺寸d是變換成具有相同截面積的圓形截面后的直徑尺寸。再有，關(guān)于當(dāng)量直徑尺寸d以后詳細(xì)敘述。此外，與液室102a連通有未圖示的流路，通過未圖示的流路向液室102a內(nèi)供給液體。噴嘴主體102可以由例如不銹鋼或鎳合金等形成。在噴嘴主體102的一個端部設(shè)置有撓性膜103。將撓性膜103設(shè)置成覆蓋液室102a的開口部。此外，在撓性膜103的與設(shè)置在噴嘴主體102上的一側(cè)相反的一側(cè)的面上，設(shè)置有壓電部101。該情況下，可以將壓電部101設(shè)置成與液室102a的開口部對置，使得由壓電部101的彎曲位移產(chǎn)生的壓力波容易傳播到液室102a內(nèi)的液體。再有，在本實施方式中，壓電部101成為向噴嘴主體102的設(shè)置在一個端部側(cè)的液室102a內(nèi)的液體施加壓力的加壓部。撓性膜103可以由例如不銹鋼等形成。在噴嘴主體102的另一個端部上設(shè)置有噴嘴部104。噴嘴部104呈板狀，設(shè)置有貫通厚度方向的噴嘴孔104a。噴嘴孔104a的一端向液室102a開口，另一端向液滴噴出裝置100的外部開口。噴嘴部104可以由例如不銹鋼或鎳合金等形成。在撓性膜103上，包圍壓電部101的周圍設(shè)置有衰減部105。在壓電部101中產(chǎn)生所謂的主振動，與此同時也產(chǎn)生寄生振動等無用的振動。因此，通過設(shè)置衰減部105，使寄生振動等衰減，以降低寄生振動等對主振動的壞影響。衰減部105可以由例如硅橡膠等形成。蓋106具備一端開口的凹部。并且，將蓋106設(shè)置在撓性膜103上，使得在凹部的內(nèi)部收納壓電部101和衰減部105。此外，在蓋106上適當(dāng)?shù)卦O(shè)置有用于穿過壓電部101的配線的未圖示的孔等。蓋106可以由例如樹脂或金屬等形成。異物檢測裝置1中設(shè)置有信號發(fā)生部2、切換部3、保存部4和檢測部5。如前所述，在本實施方式中，壓電部101發(fā)揮對電信號進(jìn)行變換并使液體中產(chǎn)生壓力波的發(fā)信部和接收反射波并變換成電信號的接收部的功能。再有，反射波中含有基于后述的機(jī)械系統(tǒng)振動的波、“由氣泡產(chǎn)生的壓力波”、和通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓力波，這些以后詳細(xì)敘述。信號發(fā)生部2產(chǎn)生用于檢測氣泡B等異物的電信號。即，產(chǎn)生用于使壓電部101產(chǎn)生具有規(guī)定頻率的壓力波的電信號。該情況下，信號發(fā)生部2可以產(chǎn)生具有滿足后述(3)式或(4)式的頻率f的電信號。再有，也可以按照頻率的范圍，設(shè)置多個信號發(fā)生部和頻率范圍切換部。再有，如前所述，信號發(fā)生部2也具有輸出用于驅(qū)動壓電部101作為加壓源的電信號的功能。切換部3進(jìn)行電信號的轉(zhuǎn)換。例如，在向壓電部101發(fā)送來自信號發(fā)生部2的電信號的時候，使得向檢測部5側(cè)發(fā)送該電信號。另一方面，在向檢測部5側(cè)發(fā)送來自壓電部101的電信號的時候，使得不向信號發(fā)生部2側(cè)發(fā)送該電信號。保存部4保存成為基準(zhǔn)的信息。例如，可以保存與液體中未含有氣泡B等異物的狀態(tài)有關(guān)的信息。與未含有氣泡B等異物的狀態(tài)有關(guān)的信息，可以保存預(yù)先收集到的該信息。此外，也可以逐次保存從噴出狀態(tài)等判斷并推斷為是沒有氣泡B等異物的狀態(tài)的信息。檢測部5根據(jù)由壓電部101收集到的信息、即后述的關(guān)于反射波的信息和來自保存部4的信息，檢測有無氣泡B等異物和氣泡B等異物大小的至少任一種。即，檢測部5根據(jù)對反射波進(jìn)行變換后得到的電信號與基于所保存的信息的電信號之差，檢測有無氣泡B等異物和氣泡B等異物大小的至少任一種。該情況下，檢測部5可以如后所述地根據(jù)對反射波進(jìn)行變換后得到的電信號與基于保存部4中所保存的信息的電信號之差的平方，來檢測異物大小。此外，檢測部5還可以根據(jù)對反射波進(jìn)行變換后得到的電信號與基于保存部4中所保存的信息的電信號之差，求取散射截面積σsc，從預(yù)先求取的氣泡B等異物大小與散射截面積σsc之間的關(guān)系，來檢測氣泡B等異物大小。此外，檢測部5可以將關(guān)于有無氣泡B等異物的檢測結(jié)果或氣泡B等異物大小的檢測結(jié)果，向外部設(shè)備等輸出。再有，關(guān)于有無氣泡B等異物的檢測和氣泡B等大小的檢測的詳細(xì)內(nèi)容以后敘述。下面，關(guān)于異物檢測裝置1的作用進(jìn)行例示。在此，作為一例，以異物是氣泡B的情況為例進(jìn)行說明。圖2是用于例示檢測定時的示意曲線圖。如圖2所示，在對圖1的壓電部101施加了規(guī)定的電信號A時，壓電部101動作，向液室102a中補充液體，在電信號A下降期間，進(jìn)行所述液體從噴嘴孔104a中噴出的動作。實際上，所述液體從噴嘴孔104a中噴出的動作延遲了補充到液室102a中的所述液體被壓迫為止的那段時間。在所述液體噴出結(jié)束后，通過也作為接收部的壓電部101檢測如S所示的電信號。在對壓電部101施加了所述規(guī)定的電信號A時，在液體中產(chǎn)生壓力波。并且，在施加電信號A后，利用撓性膜103等產(chǎn)生的機(jī)械系統(tǒng)振動、后述的“氣泡產(chǎn)生的壓力波”、和通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓力波等，通過也作為接收部的壓電部101檢測如圖2中的S所示的電信號。因此就根據(jù)電信號S來進(jìn)行有無氣泡B的檢測或氣泡B大小的檢測。再有，電信號S中還含有“氣泡產(chǎn)生的壓力波”以外的信息，但可以通過在檢測部5中求取與未含有氣泡B時的電信號之差，來去掉“氣泡產(chǎn)生的壓力波”以外的信息。首先，為了進(jìn)行關(guān)于氣泡B的檢測，在信號發(fā)生部2中產(chǎn)生具有規(guī)定頻率f的電信號。該電信號是用于使壓電部101產(chǎn)生具有規(guī)定頻率的壓力波的信號。此外，在按照頻率的范圍設(shè)置了多個信號發(fā)生部和頻率范圍切換部的情況下，進(jìn)行頻率范圍的切換，使得能夠產(chǎn)生具有適當(dāng)頻率的電信號。再有，關(guān)于頻率f的詳細(xì)內(nèi)容以后敘述。從信號發(fā)生部2輸出的電信號，經(jīng)切換部3輸入到壓電部101中。也作為異物檢測裝置1的發(fā)信部的壓電部101，通過將輸入的電信號變換成彎曲位移來產(chǎn)生壓力波。產(chǎn)生的壓力波經(jīng)撓性膜103，傳播到液室102a內(nèi)的液體中，通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等，產(chǎn)生由散射(反射)產(chǎn)生的壓力波。此外，在有氣泡B的情況下，通過壓力波碰到氣泡B而產(chǎn)生由散射(反射)產(chǎn)生的壓力波。另外，通過壓力波碰到氣泡B，而在氣泡B中產(chǎn)生體積變化，產(chǎn)生該體積變化所引起的壓力波。再有，在氣泡B中的由散射產(chǎn)生的壓力波和由體積變化所引起的壓力波中，由體積變化引起的壓力波的壓力大到有位數(shù)上的差別。在本說明書中，將通過碰到氣泡B而產(chǎn)生的由散射產(chǎn)生的壓力波和因氣泡B的體積變化所引起的壓力波，合并稱為“由氣泡產(chǎn)生的壓力波”。此外，將“由氣泡產(chǎn)生的壓力波”、通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓力波、以及與所述撓性膜103等的機(jī)械系統(tǒng)振動有關(guān)的波，合并稱為“反射波”。因此，反射波中就會含有氣泡B的有無或大小等的關(guān)于氣泡B的信息。將產(chǎn)生的反射波入射到也作為異物檢測裝置1的接收部的壓電部101中，變換成與壓電部101的彎曲位移相應(yīng)的電信號。基于反射波的電信號，經(jīng)切換部3輸入到檢測部5中。另一方面，從保存部4中提供與未含有氣泡B的狀態(tài)有關(guān)的信息，并被變換成電信號。并且，在檢測部5中，通過求取基于反射波的電信號與未含有氣泡B時的電信號之差，來提取關(guān)于氣泡B的信息。檢測部5根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息，檢測有無氣泡B。例如，可以根據(jù)預(yù)先設(shè)定的閾值等進(jìn)行有無氣泡B的檢測。此外，檢測部5也可以根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息來檢測氣泡B的大小。下面，關(guān)于有無氣泡B的檢測或氣泡B大小的檢測進(jìn)一步進(jìn)行例示。圖3A和圖3B是用于例示關(guān)于氣泡B的信息的提取的示意曲線圖。圖3A是用于例示有氣泡B時的基于反射波的電信號S1和沒有氣泡B時的基于反射波的電信號S2的示意曲線圖。圖3B是用于例示含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號的示意曲線圖。如圖3A所示，在有氣泡B時的基于反射波的電信號S1和未含有氣泡B時的電信號S2中，波形是不同的。因此，通過求取有氣泡B時的基于反射波的電信號S1與未含有氣泡B時的電信號S2之差，就能夠提取出如圖3B所示的含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號。再有，由于未含有氣泡B時的基于反射波的電信號和未含有氣泡B時的電信號S2中，波形是同樣的，因此，若求取兩者之差，則大致等于0(零)?？梢允褂眠@樣提取出的關(guān)于氣泡B的信息和預(yù)先設(shè)定的閾值等來檢測有無氣泡B。圖4是用于例示氣泡B的半徑尺寸與散射截面積之間的關(guān)系的曲線圖。橫軸是氣泡B的半徑尺寸，縱軸是散射截面積σsc，圖中的d1～d5表示液室102a的當(dāng)量直徑尺寸。再有，d1是10mm，d2是4mm，d3是3mm，d4是2mm，d5是1mm的情況。在此，在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系中，即使在散射截面積σsc一定的情況下，有時也會存在多個與散射截面積σsc對應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。例如，如圖4所示，在當(dāng)量直徑尺寸是d1的情況下，假設(shè)散射截面積σsc為“α”，則存在3個與之對應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。因此，在這樣的情況下，很難確定氣泡B的大小。該情況下，由于不能夠知道氣泡B的大小，因此，在氣泡B生長到發(fā)生噴出異常(發(fā)生不噴出、液量的均勻性變差、著液精度變差等)的大小之前，不能施行使其進(jìn)行排出動作等的應(yīng)對。因此，不能夠?qū)姵霎惓５陌l(fā)生防患于未然。但是，如圖4所示，在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系變?yōu)榫€性的部分中，可以根據(jù)散射截面積σsc來求取氣泡B的半徑尺寸。在此，可以利用以下(1)式求取散射截面積σsc。再有，Wsc是散射功率，Iinc是入射強度。此外，可以利用以下(2)式求取散射功率Wsc。在此，ρ是液體的密度，c是音速，r是到氣泡B的距離，Ps(r，t)是從氣泡B放射的壓力。該情況下，Ps(r，t)中包含空間依存和時間依存。此外，〈〉t表示是時間平均。再有，可以在小區(qū)域中假設(shè)r為收納液體的要素的壓力傳播方向的尺寸。例如，可以在液室102a中假設(shè)r為液室102a的軸向尺寸(噴出方向的尺寸)。并且，由于Ps(r，t)是從氣泡B放射的壓力，因此，圖3B中例示的波形就成為Ps(r，t)。即，通過提取如圖3B例示的含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號，就能夠求取散射截面積σsc來檢測氣泡B的大小。再有，可以在檢測部5中進(jìn)行根據(jù)含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號運算散射截面積σsc、以及根據(jù)運算出的散射截面積σsc運算氣泡B的半徑尺寸的運算。在此例示了根據(jù)散射截面積σsc運算氣泡B的半徑尺寸的情況，但不限定于此。如果能夠知道含有關(guān)于氣泡B的信息的Ps(r，t)，即使不進(jìn)行到散射截面積σsc的運算，也能夠運算出氣泡B的半徑尺寸。即，由于(2)式內(nèi)含有關(guān)于氣泡B的信息的部分是Ps(r，t)，因此，可以和氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系同樣地求取氣泡B的半徑尺寸與Ps(r，t)2之間的關(guān)系。因此就可以根據(jù)含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號與基于關(guān)于未含有氣泡B的狀態(tài)的信息的電信號之差的平方，來檢測氣泡B的大小。在此，如圖4所示地出現(xiàn)氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系為線性的部分和為非線性的部分。此外，已知在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系為線性的部分中，液室102a的當(dāng)量直徑尺寸d1～d5產(chǎn)生的影響較小。因此，最好將壓電部101驅(qū)動成氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系變成線性。該情況下，若使壓電部101的驅(qū)動頻率、即在信號發(fā)生部2中產(chǎn)生的電信號的頻率f如以下的(3)式那樣，就能夠使得氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系變成線性。在此，Ro是最大氣泡尺寸，Po是液室102a內(nèi)的液體的平衡壓力，ρ是液體的密度，γ是熱容比。再有，所述最大氣泡尺寸Ro是設(shè)為檢測對象的氣泡中大小最大的氣泡的半徑尺寸。例如，是與用于后述的噴出異常判定的閾值對應(yīng)的氣泡的半徑尺寸等。該情況下，可以按照設(shè)置有異物檢測裝置1的對象來適當(dāng)?shù)卦O(shè)定平衡壓力Po或最大氣泡尺寸Ro。并且，使用例如預(yù)先由實驗或仿真等求取的平衡壓力Po或最大氣泡尺寸Ro，求取使信號發(fā)生部2中產(chǎn)生的電信號的頻率f。并且，若利用求取的頻率f來驅(qū)動壓電部101，就能夠使氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系成為線性。因此，根據(jù)使用上述(1)式和(2)式運算出的散射截面積σsc來求取氣泡B的半徑尺寸就變得容易。即，如果利用這樣地求取的頻率f來驅(qū)動壓電部101，就能夠求取最大氣泡尺寸Ro以下的大小的氣泡B的半徑尺寸。此外，若考慮液室102a的當(dāng)量直徑尺寸d，就能夠使得不存在多個與散射截面積σsc對應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。即，由于能夠使與散射截面積σsc對應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸只有1個，因此能夠除掉誤檢測。該情況下，根據(jù)本發(fā)明者獲得的知識，如果使信號發(fā)生部2中產(chǎn)生具有滿足以下(4)式的頻率f的電信號，就能夠除掉誤檢測的發(fā)生。在此，d是液室102a的當(dāng)量直徑尺寸。再有，也可以設(shè)置具有滿足以下(5)式的當(dāng)量直徑尺寸d的液室102a。該情況下，液室102a相當(dāng)于設(shè)置在異常檢測裝置1中的收納液體的收納部的一例。在此，f是在信號發(fā)生部2中產(chǎn)生的頻率。將(3)式或(4)式中示出的關(guān)于頻率f的信息輸入到信號發(fā)生部2中，信號發(fā)生部2根據(jù)輸入的關(guān)于頻率f的信息產(chǎn)生電信號。再有，也可以設(shè)置未圖示的運算部，該運算部根據(jù)輸入的最大氣泡尺寸Ro、液室102a內(nèi)的液體的平衡壓力Po、液體的密度ρ、熱容比γ和液室102a的當(dāng)量直徑尺寸d等，運算關(guān)于頻率f的信息，使得從未圖示的運算部向信號發(fā)生部2提供運算出的關(guān)于頻率f的信息。根據(jù)本實施方式涉及的異物檢測裝置1，不僅對于氣泡B等異物的有無，而且對于氣泡B等異物大小也能夠高精度地檢測。因此，能夠以更高準(zhǔn)確度實現(xiàn)將問題防患于未然或生產(chǎn)性能的提高。以上例示了檢測有無氣泡B的情況，但也可以檢測有無灰塵等固體異物。此外還例示了檢測氣泡B的大小的情況，但還可以檢測因壓力變化而產(chǎn)生體積變化的這種異物大小。下面，關(guān)于液滴噴出裝置100的作用進(jìn)行例示。在信號發(fā)生部2中產(chǎn)生用于使壓電部101產(chǎn)生壓力波的電信號。該情況下，若控制施加到壓電部101上的電壓，就能夠控制壓電部101的彎曲位移進(jìn)而控制噴出量。因此，在信號發(fā)生部2中產(chǎn)生的電信號具有與噴出量相應(yīng)的電壓變化。從信號發(fā)生部2輸出的電信號，經(jīng)切換部3輸入到壓電部101中。壓電部101通過將輸入的電信號變換成彎曲位移來產(chǎn)生壓力波。產(chǎn)生的壓力波經(jīng)撓性膜103傳播到液室102a內(nèi)的液體中，液室102a內(nèi)的液體被朝向噴嘴孔104a的方向加壓。被朝向噴嘴孔104a的方向加壓后的液體，作為液滴從噴嘴孔104a噴出。經(jīng)未圖示的流路，將因噴出而減少的那部分液體補充到液室102a內(nèi)。并且，例如逐次或是定期地進(jìn)行上述的氣泡B的有無的檢測或大小的檢測。此外，根據(jù)檢測到的氣泡B的大小，來進(jìn)行關(guān)于發(fā)生噴出異常的判定。該情況下，可以在存在大于規(guī)定閾值的氣泡B時，中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。此外，還可以在例如氣泡B的大小不足規(guī)定的閾值的情況下，繼續(xù)進(jìn)行噴出作業(yè)，在氣泡B的大小達(dá)到規(guī)定的閾值以上的情況下，中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。根據(jù)本實施方式涉及的液滴噴出裝置100，能夠?qū)栴}的發(fā)生防患于未然，并且提高生產(chǎn)性能。圖5是用于例示第二實施方式涉及的異物檢測裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖5中例示的液滴噴出裝置100a也是壓電式的液滴噴出裝置。在液滴噴出裝置100a中設(shè)置有壓電部101、噴嘴主體102、撓性膜103、噴嘴部104、衰減部105、蓋106和異物檢測裝置1a。在本實施方式中，壓電部101成為用于使液體噴出的加壓源，但是也具有異物檢測裝置1a的發(fā)信部的功能。但是，與上述的液滴噴出裝置100不同，不具有異物檢測裝置1a的接收部的功能。在異物檢測裝置1a中設(shè)置有信號發(fā)生部2、保存部4、檢測部5和接收部6。在上述的異物檢測裝置1中，將壓電部101作為異物檢測裝置1的發(fā)信部和接收部，利用切換部3進(jìn)行電信號的轉(zhuǎn)換。與此相對，在異物檢測裝置1a中另外設(shè)置了接收部6，因此不需要切換部3。接收部6例如可以具有與壓電部101同樣地由壓電材料形成的部件和驅(qū)動電極。但并不限定于此，可以適當(dāng)?shù)剡x擇能夠產(chǎn)生與機(jī)械性位移相應(yīng)的電信號的器件。在異物檢測裝置1a中，由接收部6接收產(chǎn)生的反射波，并由接收部6變換成電信號。將基于該反射波的電信號輸入到檢測部5中，與上述同樣地檢測有無氣泡B或氣泡B的大小。再有，可以與上述同樣地進(jìn)行有無氣泡B的檢測或氣泡B大小的檢測，因此省略詳細(xì)的說明。根據(jù)本實施方式涉及的異物檢測裝置1a，能夠享受與上述異物檢測裝置1同樣的效果。此外，關(guān)于能省略切換部3這點，能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡化。再有，可以使液滴噴出裝置100a的作用與上述的液滴噴出裝置100的情況同樣，因此省略詳細(xì)的說明。以上例示的是將壓電部101與異物檢測裝置1的發(fā)信部和接收部兼用的情況，以及將壓電部101與異物檢測裝置1a的發(fā)信部兼用的情況，但并不限定于此。例如，也可以將壓電部101與異物檢測裝置的接收部兼用。此外，也可以分別另行設(shè)置壓電部101與異物檢測裝置的發(fā)信部和接收部。再有，在熱式的液滴噴出裝置的情況下，也可以只設(shè)置異物檢測裝置的接收部。該情況下，作為接收部，最好設(shè)成如上述那樣的壓電部。下面，關(guān)于第三實施方式涉及的異物檢測方法進(jìn)行例示。圖6是用于例示第三實施方式涉及的異物檢測方法的流程圖。在此，作為一例，以異物是氣泡B的情況為例進(jìn)行說明。首先，向液體中導(dǎo)入具有規(guī)定頻率f的壓力波(步驟S1)。該情況下，可以使頻率f滿足(3)式。另外，也可以使其也滿足(4)式。此外，在按照頻率的范圍而設(shè)置有多個信號發(fā)生部和頻率范圍切換部的情況下，進(jìn)行頻率范圍的切換，使得能夠產(chǎn)生具有適合的頻率f的電信號。接著，將來自液體的反射波變換成電信號(步驟S2)。接著，通過求取對反射波進(jìn)行變換后得到的電信號與未含有氣泡B時的電信號之差，提取關(guān)于氣泡B的信息(步驟S3)。接著，根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息，求取氣泡B的有無和氣泡B的大小的至少任一種(步驟S4)。這時，可以與上述同樣地求取氣泡B的大小。例如，可以根據(jù)含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號與關(guān)于未含有氣泡B的狀態(tài)的信息之差的平方，來檢測異物大小。此外，還可以例如利用(1)式和(2)式求取散射截面積σsc，根據(jù)預(yù)先求取的氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系(例如參照圖4)，求取氣泡B的半徑尺寸。再有，由于可以使各步驟中的內(nèi)容與上述的同樣，因此省略詳細(xì)的說明。此外，已經(jīng)例示了求取有無氣泡B的情況，但也能夠求取有無灰塵等固體異物。此外，已經(jīng)例示了求取氣泡B的大小的情況，但也能夠求取因壓力變化而產(chǎn)生體積變化的這種異物大小。根據(jù)本實施方式涉及的異物檢測方法，即使是液室102a等這樣的小區(qū)域，也能夠高精度地檢測氣泡B等異物。此外，由于能夠以高精度求取氣泡B等異物大小，因此能夠以更高準(zhǔn)確度實現(xiàn)將問題防患于未然或生產(chǎn)性能的提高。下面，關(guān)于第四實施方式涉及的液滴噴出方法進(jìn)行例示。圖6是用于例示第四實施方式涉及的液滴噴出方法的流程圖。在此，作為一例，以異物是氣泡B的情況為例進(jìn)行說明。首先，對液體施加規(guī)定的壓力，使液體作為液滴從噴嘴孔噴出(步驟S11)。接著，使用上述的異物檢測方法，求取有無氣泡B和氣泡B大小的至少任一種(步驟S12)。該情況下，例如可以逐次或是定期地執(zhí)行異物檢測方法。在存在大于規(guī)定閾值的氣泡B的情況下，可以中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。該情況下，還可以在氣泡B的大小不足規(guī)定的閾值的情況下，繼續(xù)進(jìn)行噴出作業(yè)，在氣泡B的大小達(dá)到規(guī)定的閾值以上的情況下，中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。根據(jù)本實施方式涉及的液滴噴出裝置100，能夠?qū)栴}的發(fā)生防患于未然，并且提高生產(chǎn)性能。根據(jù)以上例示的實施方式，可以實現(xiàn)能高精度地檢測異物的異物檢測裝置、異物檢測方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。以上例示了本發(fā)明的幾個實施方式，但這些實施方式只是作為例子而提出的，并不表示限定發(fā)明范圍。這些新的實施方式可以以其他各種各樣的方式來實施，可以在不脫離發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種各樣的省略、置換、變更等。這些實施方式或其變形例都包含在發(fā)明范圍或主旨內(nèi)，并且也包含在權(quán)利要求書記載的發(fā)明和其等同的范圍內(nèi)。此外，上述各實施方式可以相互組合進(jìn)行實施。例如，異物檢測裝置1、異物檢測裝置1a、液滴噴出裝置100、液滴噴出裝置100a等所具備的各要素的形狀、尺寸、材質(zhì)、配置和數(shù)量等，并不限定于例示的內(nèi)容，可以適當(dāng)?shù)刈兏?