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      加速度計(jì)的制作方法

      文檔序號:12591778閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種加速度計(jì),其特征在于,所述加速度計(jì)包括:

      摩擦導(dǎo)電部件(1),所述摩擦導(dǎo)電部件(1)包括間隔設(shè)置的第一電極(11)和第二電極(12);以及

      運(yùn)動部件(2),對應(yīng)所述摩擦導(dǎo)電部件(1)設(shè)置,能夠在所述加速度計(jì)的加速運(yùn)動期間與所述摩擦導(dǎo)電部件(1)產(chǎn)生相對運(yùn)動,使所述第一電極(11)和/或第二電極(12)上產(chǎn)生摩擦電荷,從而在所述第一電極(11)與第二電極(12)之間形成表征加速度的摩擦電勢差。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度計(jì),其特征在于,所述摩擦導(dǎo)電部件(1)與運(yùn)動部件(2)間的接觸面材料具有摩擦電極序差異。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的加速度計(jì),其特征在于,所述摩擦導(dǎo)電部件(1)和/或運(yùn)動部件(2)間的接觸面具有微納米結(jié)構(gòu)層。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述加速度計(jì)還包括:

      彈性部件(3),連接所述運(yùn)動部件(2),用于在所述運(yùn)動部件(2)與所述摩擦導(dǎo)電部件(1)無相對運(yùn)動時(shí),使所述運(yùn)動部件(2)保持在初始位置。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加速度計(jì),其特征在于,所述初始位置為所述摩擦導(dǎo)電部件(1)的中間位置,使所述運(yùn)動部件(2)分別與所述第一電極(11)和第二電極(12)的接觸面積相等;或者,

      所述初始位置為所述摩擦導(dǎo)電部件(1)的第一電極(11)和第二電極(12)間隔的一側(cè),所述運(yùn)動部件(2)覆蓋所述第一電極(11)和第二電極 (12)之間的間隔。

      6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的加速度計(jì),其特征在于,所述彈性部件(3)為彈簧。

      7.根據(jù)權(quán)利要求4-6中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述運(yùn)動部件(2)包括:

      質(zhì)量塊(21),能夠相對所述摩擦導(dǎo)電部件(1)運(yùn)動,且所述質(zhì)量塊(21)的兩端分別連接所述彈性部件(3)。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加速度計(jì),其特征在于,所述運(yùn)動部件(1)還包括:

      摩擦層(22),設(shè)置于所述質(zhì)量塊(21)的表面,用于跟隨所述質(zhì)量塊(21)的運(yùn)動而運(yùn)動,并與所述摩擦導(dǎo)電部件(1)產(chǎn)生滑動摩擦。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加速度計(jì),其特征在于,所述運(yùn)動部件(2)還包括:

      緩沖層(23),設(shè)置于所述質(zhì)量塊(21)與摩擦層(22)之間。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述第一電極(11)和第二電極(12)之間的間隔小于1mm。

      11.根據(jù)權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述第一電極(11)和第二電極(12)的長度分別大于或等于所述運(yùn)動部件(2)滑動接觸面的長度。

      12.根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述第一電極(11)和第二電極(12)的大小形狀相同。

      13.根據(jù)權(quán)利要求1-12中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述摩擦導(dǎo)電部件(1)還包括:

      基底層(13),設(shè)置在所述第一電極(11)和第二電極(12)的表面。

      14.根據(jù)權(quán)利要求1-13中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述加速度計(jì)包括兩組所述摩擦導(dǎo)電部件(1)和所述運(yùn)動部件(2),分別布設(shè)于兩個(gè)方向上,用于檢測該兩個(gè)方向上的加速度。

      15.根據(jù)權(quán)利要求1-13中任一項(xiàng)所述的加速度計(jì),其特征在于,所述加速度計(jì)包括三組所述摩擦導(dǎo)電部件(1)和所述運(yùn)動部件(2),分別布設(shè)于三個(gè)方向上,用于檢測該三個(gè)方向上的加速度。

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