本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造真空控制系統(tǒng)，尤其涉及到離子注入機的真空系統(tǒng)自動監(jiān)測的性能。

背景技術(shù)：

隨著離子注入機的發(fā)展，自動化成了必然的趨勢，離子注入機是一種必須在高真空狀態(tài)下才能正常運行的設(shè)備，真空系統(tǒng)是離子注入機整個系統(tǒng)中的重要組成部分之一，它是離子注入機傳片系統(tǒng)、引束系統(tǒng)和注入系統(tǒng)的前提和保障，所以確保真空系統(tǒng)的安全運行至關(guān)重要，尤其是對真空器件的保護可以最大減少損失。有時工作人員調(diào)試設(shè)備時特殊情況會去掉連鎖，容易誤操作，誤操作會造成很大的損失也會影響系統(tǒng)安全，所以自動監(jiān)測系統(tǒng)能及時發(fā)現(xiàn)并排除誤操作。

鑒于高真空系統(tǒng)的重要性和安全性，一種離子注入機的真空自動監(jiān)測的方法是必不可少的。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是針對離子注入機的自動控制，直接影響自動真空和設(shè)備的安全性能，而開發(fā)出的一種離子注入機的真空自動監(jiān)測的方法。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

1.一種離子注入機的真空自動監(jiān)測的方法，是通過LoopMaster底層快速獲取數(shù)據(jù)，實現(xiàn)實時監(jiān)測各個數(shù)據(jù)，從而監(jiān)測和控制離子注入機真空的硬件設(shè)備(閥門、分子泵、干泵、冷泵、高硅、低硅等)。

2.一種離子注入機的真空自動監(jiān)測的方法，啟用多線程監(jiān)測，有效防止 主線程阻塞，靈活快速處理問題，對設(shè)備進行操作時采用無連鎖操作，直接有效的減少設(shè)備損害，比如溫度過高會導(dǎo)致干泵冷泵停止工作，直接導(dǎo)致分子泵倒吸充氣，監(jiān)測系統(tǒng)實時發(fā)現(xiàn)情況直接關(guān)掉閥門和分子泵，避免了上述情況發(fā)生。

3.一種離子注入機的真空自動監(jiān)測的方法，當滿足條件要控制真空系統(tǒng)各個器件進行操作時，首先會判斷器件是否是關(guān)閉的，如果已經(jīng)是關(guān)閉的則不進行任何操作，如果沒有則進行關(guān)閉操作，防止重復(fù)執(zhí)行某一相同操作。

4.一種離子注入機的真空自動監(jiān)測的方法，任何操作都會寫入日志，到達一定條件會出現(xiàn)警報，提示操作人員注意。

本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點：

多線程操作相互獨立，全方位監(jiān)測系統(tǒng)安全性增加，無連鎖操作，快速解決問題，條件判斷代碼簡潔避免重復(fù)操作；

附圖說明

圖1為離子注入機子真空自動監(jiān)測流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖1對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。

如圖1所示，首先自動監(jiān)測系統(tǒng)是在真空系統(tǒng)(1)上進行的，然后監(jiān)測線程打開(2)實時監(jiān)測真空各個數(shù)據(jù)是否正常，執(zhí)行命令(4)分三個方向來監(jiān)測，首先是對外圍溫度的監(jiān)測，當溫度＞25度時就要發(fā)出警報(15)，當溫度＞23(6)度時就會啟動執(zhí)行關(guān)閉命令，會依次關(guān)閉分子泵、冷泵隔離閥、角閥，最后是干泵(8)；因為溫度過高，冷泵和干泵就會停止工作，造成真空充氣， 損壞分子泵。其次是判斷隔離閥(9)是否打開，如果已經(jīng)打開了再判斷壓縮機是否停止工作(10)，如果停止了要馬上關(guān)閉(11)，因為沒有制冷會影響真空度。最后判斷干泵是否打開(12)，干泵是真空的基礎(chǔ)保障，如果在真空狀態(tài)下干泵關(guān)閉，分子泵也會倒吸，造成損害，所以在這種情況下要關(guān)閉角閥、分子泵等相關(guān)閥門(14)確保真空及器件安全。

本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。