本發(fā)明是有關(guān)于一種用于檢測(cè)的載臺(tái)，且特別是有關(guān)于一種用于檢測(cè)的氣浮載臺(tái)。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，隨著科技產(chǎn)業(yè)日益發(fā)達(dá)，電子產(chǎn)品已頻繁地出現(xiàn)在日常生活中。其中，電子產(chǎn)品所用零件的精密度也為主要考量點(diǎn)。因此，相關(guān)的檢測(cè)儀器便相應(yīng)產(chǎn)生。舉例而言，用于檢測(cè)基板(例如是玻璃)或其他待檢測(cè)物品的檢測(cè)儀器通常需配置有載臺(tái)，以將基板配置于載臺(tái)上進(jìn)行相關(guān)檢測(cè)。然而，若將基板直接放置在載臺(tái)上使其直接接觸，則基板容易造成損傷。因此，目前部分作法是將載臺(tái)制作成氣浮載臺(tái)，使基板懸浮于其上。

更進(jìn)一步地說(shuō)，所述氣浮載臺(tái)適于提供氣流用于承載基板或其他待檢測(cè)物品。其中，氣浮載臺(tái)的進(jìn)氣口連接至供氣裝置。供氣裝置提供的氣流從進(jìn)氣口進(jìn)入氣浮載臺(tái)內(nèi)部的氣室，并從出氣口流出，使基板通過(guò)流出出氣口的氣流懸浮于氣浮載臺(tái)上。然而，目前業(yè)界所使用的氣浮載臺(tái)多需通過(guò)多個(gè)進(jìn)氣口搭配多個(gè)節(jié)流閥控制各出氣口的流量，且目前的氣浮載臺(tái)多有出氣口流量不均的問(wèn)題，使基板難以維持水平效果來(lái)進(jìn)行精密檢測(cè)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種氣浮載臺(tái)，適于提供具有均一流量的氣流承載基板，并使基板維持水平效果。

本發(fā)明的氣浮載臺(tái)包括底層、頂層以及氣室。底層具有進(jìn)氣口。頂層配置于底層上方，并具有2ⁿ個(gè)出氣口。氣室位于頂層與底層之間，并具有2ⁿ個(gè)氣流路徑，其中n為正整數(shù)。氣流路徑與出氣口各自對(duì)稱(chēng)地配置在進(jìn)氣口的相對(duì)兩側(cè)。進(jìn)氣口通過(guò)氣流路徑對(duì)應(yīng)連接至出氣口，且氣流路徑的長(zhǎng)度相等。

基于上述，在本發(fā)明的氣浮載臺(tái)中，單一進(jìn)氣口通過(guò)多個(gè)氣流路徑連通至出氣口，其中氣流路徑與出氣口各自對(duì)稱(chēng)地配置在進(jìn)氣口的相對(duì)兩側(cè)，且其數(shù)量各自為2ⁿ個(gè)，而n為正整數(shù)，且每一氣流路徑的長(zhǎng)度相等。如此，在氣流從進(jìn)氣口流入氣室后，由于氣流可在氣流路徑內(nèi)流動(dòng)，且每一氣流路徑的長(zhǎng)度相等，故氣流可在流經(jīng)氣流路徑時(shí)等量均分，而后等量地從出氣口流出。藉此，氣浮載臺(tái)適于提供具有均一流量的氣流承載基板，并使基板維持水平效果。

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。

附圖說(shuō)明

圖1是依照本發(fā)明的一實(shí)施例的一種氣浮載臺(tái)的示意圖；

圖2是圖1的氣浮載臺(tái)的局部示意圖；

圖3是圖1的氣浮載臺(tái)的俯視示意圖；

圖4是圖3的氣浮載臺(tái)沿I-I’線(xiàn)的剖視示意圖；

圖5至圖7是本發(fā)明其他實(shí)施例的氣浮載臺(tái)的俯視示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

100、100a至100c：氣浮載臺(tái)；

110：底層；

112：進(jìn)氣口；

120、120a至120c：頂層；

122：出氣口；

130、130a至130c：氣室；

132、132a至132g：子區(qū)段；

134、134a至134f：轉(zhuǎn)折點(diǎn)；

140：負(fù)壓孔；

P、P1、P2：氣流路徑；

d1至d5：寬度。

具體實(shí)施方式

圖1是依照本發(fā)明的一實(shí)施例的一種氣浮載臺(tái)的示意圖。圖2是圖1的氣浮載臺(tái)的局部示意圖。請(qǐng)參考圖1與圖2，在本實(shí)施例中，氣浮載臺(tái)100包括底層110、頂層120以及氣室130。底層110具有進(jìn)氣口112。頂層120配置于底層110上方，并具有多個(gè)出氣口122。氣室130位于頂層120與底層110之間，并連通位于底層110的進(jìn)氣口112與位在頂層120的出氣口122。舉例而言，本實(shí)施例將氣室130制作于底層110上(如圖2所示)，但在其他未示出的實(shí)施例中，氣室130也可制作于頂層120上，或者制作為位于頂層120與底層110之間的另一層構(gòu)件中。此外，為了維持氣室130的密封效果(僅通過(guò)進(jìn)氣口112與出氣口122連通外界)，氣浮載臺(tái)100于底層110與頂層120之間也可配置其他未示出的密封件，例如是環(huán)繞在氣室130外圍以填補(bǔ)頂層120與底層110間空隙的密封膠條，但本發(fā)明并不以此為限制。

在本實(shí)施例中，所述氣浮載臺(tái)100適于提供氣流用于承載基板，例如是玻璃或其他待檢測(cè)物品。其中，氣室130具有多個(gè)氣流路徑P。氣流路徑P與出氣口122各自對(duì)稱(chēng)地配置在進(jìn)氣口112的相對(duì)兩側(cè)，且進(jìn)氣口112通過(guò)氣流路徑P對(duì)應(yīng)連接至出氣口122，使得氣流可從進(jìn)氣口112通過(guò)氣流路徑P后流出出氣口122。換言之，氣浮載臺(tái)100以進(jìn)氣口112作為中心，在氣流從進(jìn)氣口112進(jìn)入氣室130后，氣流通過(guò)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的氣流路徑P與出氣口122均勻流出。藉此，所述基板適于配置在氣浮載臺(tái)100的頂層120上并對(duì)應(yīng)于出氣口122，以通過(guò)由出氣口122流出的氣流懸浮于氣浮載臺(tái)100上。在此情況下，氣浮載臺(tái)100所提供的氣流的流量均勻度將影響配置于氣浮載臺(tái)100上的基板的水平效果，而基板在氣浮載臺(tái)100上的水平度將影響基板的檢測(cè)結(jié)果。

基于上述目的，氣浮載臺(tái)100較佳地需提供具有均一流量的氣流，以使基板維持水平效果。藉此，本實(shí)施例的氣室130具有特殊設(shè)計(jì)。氣流適于從進(jìn)氣口112流入氣室130，并在流經(jīng)氣流路徑P時(shí)等量均分，而后等量地從出氣口122流出。即，氣室130的設(shè)計(jì)可使氣流等量地流出出氣口122，使氣浮載臺(tái)100提供具有均一流量的氣流。

圖3是圖1的氣浮載臺(tái)的俯視示意圖。圖4是圖3的氣浮載臺(tái)沿I-I’線(xiàn)的剖視示意圖。請(qǐng)參考圖1至圖4，在本實(shí)施例中，頂層120具有2ⁿ個(gè)出氣口122，而氣室130具有2ⁿ個(gè)氣流路徑P。其中，n為正整數(shù)，且較佳地是大于 2的正整數(shù)，而本實(shí)施例以5為例作說(shuō)明。換言之，本實(shí)施例的出氣口122有32個(gè)，而氣流路徑P也有32條，但本發(fā)明不以此為限制，其可依據(jù)需求調(diào)整。其中，出氣口122對(duì)稱(chēng)設(shè)置于進(jìn)氣口112的相對(duì)兩側(cè)。更進(jìn)一步地說(shuō)，本實(shí)施例的32個(gè)出氣口122排列成4x8的陣列。再者，進(jìn)氣口112位于所述陣列的中心，且通過(guò)氣流路徑P連通至出氣口122，而所述氣流路徑P的長(zhǎng)度相等。藉此，本實(shí)施例的氣室130通過(guò)特定設(shè)計(jì)達(dá)成使與進(jìn)氣口112之間的直線(xiàn)距離不同的各出氣口122可通過(guò)長(zhǎng)度相同的氣流路徑P連通至進(jìn)氣口112。

具體而言，在本實(shí)施例中，氣室130包括多個(gè)子區(qū)段132與多個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134。子區(qū)段132通過(guò)對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134彼此連接，使子區(qū)段132與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134對(duì)應(yīng)構(gòu)成氣流路徑P，并對(duì)應(yīng)連通進(jìn)氣口112與出氣口122。以氣流路徑P1為例，氣流路徑P1由n個(gè)子區(qū)段132與n-1個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134連接而成，即5個(gè)子區(qū)段132與4個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134。其中，子區(qū)段132a、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a、子區(qū)段132b、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b、子區(qū)段132c、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134c、子區(qū)段132d、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134d、子區(qū)段132e依序連接，以構(gòu)成氣流路徑P1，并連通進(jìn)氣口112與對(duì)應(yīng)的出氣口122。此外，氣流路徑P1中的子區(qū)段132a至132e的任相鄰兩者彼此垂直，并以對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a至134d，但本發(fā)明不以此為限制，其可依據(jù)需求調(diào)整。

再者，以氣流路徑P1與P2為例，在本實(shí)施例中，各氣流路徑P1與P2所含的子區(qū)段132的數(shù)量相等(均為5個(gè))，且各氣流路徑P1與P2中所含的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134的數(shù)量相等(均為4個(gè))。如此，氣流路徑P1與P2的長(zhǎng)度(即子區(qū)段132的數(shù)量與總長(zhǎng)度)相等，且其轉(zhuǎn)折數(shù)(即轉(zhuǎn)折點(diǎn)134的數(shù)量)也相等。在氣流從進(jìn)氣口112進(jìn)入氣室130并在子區(qū)段132與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134分流后，從各出氣口122流出的氣流具有均一流量。換言之，從各出氣口122流出的氣流流經(jīng)相同長(zhǎng)度與相同轉(zhuǎn)折的氣流路徑P，故其流出出氣口122的流量一致。

更進(jìn)一步地說(shuō)，在本實(shí)施例中，子區(qū)段132的其中兩者，如圖3所示的子區(qū)段132a，連接于進(jìn)氣口112的相對(duì)兩側(cè)且彼此對(duì)稱(chēng)，使氣流從進(jìn)氣口112均分成兩等分后流至連接進(jìn)氣口112的兩子區(qū)段132a。再者，各轉(zhuǎn)折點(diǎn)134對(duì)應(yīng)連接子區(qū)段132的其中三者。以轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b為例，轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b連接子 區(qū)段132b與兩個(gè)子區(qū)段132c。其中，氣流路徑P1與P2共用同一子區(qū)段132a、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a、子區(qū)段132b，直至轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b后分成兩個(gè)不同的子區(qū)段132c。其中，連接同一轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b的三子區(qū)段132中遠(yuǎn)離進(jìn)氣口的兩者(即子區(qū)段132c)彼此平行，且垂直于三子區(qū)段132中鄰近進(jìn)氣口者(即子區(qū)段132b)，使三子區(qū)段132中鄰近進(jìn)氣口112者(即子區(qū)段132b)分別與三子區(qū)段132中遠(yuǎn)離進(jìn)氣口112的兩者(即子區(qū)段132c)構(gòu)成對(duì)應(yīng)的兩氣流路徑(即氣流路徑P1與P2)，而從進(jìn)氣口112流入三子區(qū)段132中鄰近進(jìn)氣口112者(即子區(qū)段132b)的氣流在轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b均分成兩等分后流至三子區(qū)段132中遠(yuǎn)離進(jìn)氣口112的兩者(即子區(qū)段132c)。

由此可知，在氣流從進(jìn)氣口112流入氣室130后，首先通過(guò)連接至進(jìn)氣口112的兩個(gè)子區(qū)段132a均分成兩等分。之后，流入子區(qū)段132a的氣流又通過(guò)連接至子區(qū)段132a與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a的兩個(gè)子區(qū)段132b均分成兩等分。同理，流入子區(qū)段132b的氣流又通過(guò)連接至子區(qū)段132b與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b的兩個(gè)子區(qū)段132c均分成兩等分，而流入子區(qū)段132c的氣流又通過(guò)連接至子區(qū)段132c與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134c的兩個(gè)子區(qū)段132d均分成兩等分。最后，流入子區(qū)段132d的氣流又通過(guò)連接至子區(qū)段132d與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134d的兩個(gè)子區(qū)段132e均分成兩等分，而流入子區(qū)段132e的氣流從出氣口122流出。即，流入每一氣流路徑P的氣流均類(lèi)似于流入氣流路徑P1的氣流依次經(jīng)過(guò)子區(qū)段132a至132e，并在對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a至134d分流，而后等量地從出氣口122流出。

另一方面，在本實(shí)施例中，由于氣流在各氣流路徑P中依次經(jīng)過(guò)子區(qū)段132a至132e，并在對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a至134d分流，故氣流的流量從子區(qū)段132a朝子區(qū)段132e遞減，即每通過(guò)一次轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a至134d，氣流的流量便減半。如此，在本實(shí)施例中，各氣流路徑P中的子區(qū)段132a至132e的寬度，即寬度d1至d5，從鄰近進(jìn)氣口112(即寬度d1)朝鄰近對(duì)應(yīng)的出氣口112(即寬度d5)遞減。換言之，以氣流路徑P1為例，子區(qū)段132a的寬度d1大于子區(qū)段132b的寬度d2，子區(qū)段132b的寬度d2大于子區(qū)段132c的寬度d3，子區(qū)段132c的寬度d3大于子區(qū)段132d的寬度d4，而子區(qū)段132d的寬度d4大于子區(qū)段132e的寬度d5。然而，本發(fā)明不以此為限制，其可依據(jù)需求調(diào)整。

基于上述，本實(shí)施例的氣室130的空氣流量采用二分法原理，使氣流在 每一轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a至134d等量分流，且各氣流路徑P的長(zhǎng)度(即子區(qū)段132的數(shù)量與總長(zhǎng)度)與轉(zhuǎn)折數(shù)(即轉(zhuǎn)折點(diǎn)134的數(shù)量)相等，使得每一出氣口122的流量、流速與壓力(推動(dòng)基板的推力)一致。換言之，本實(shí)施例關(guān)于氣室130的設(shè)計(jì)可有效地使氣浮載臺(tái)100通過(guò)出氣口122提供流量一致的氣流(僅因鉆孔公差造成些微誤差)。如此，氣浮載臺(tái)100適用于提供氣流承載基板(未示出)，并使基板保持平穩(wěn)，以便進(jìn)行精密的檢驗(yàn)或量測(cè)。

另一方面，在本實(shí)施例中，流出各出氣口122的氣流是由同一進(jìn)氣口112流入，故氣浮載臺(tái)100可僅采用一個(gè)節(jié)流閥(未示出)來(lái)調(diào)整供入氣浮載臺(tái)100的氣流，且可使所有出氣口122的流量與流速達(dá)到一致。再者，若使用一對(duì)二轉(zhuǎn)接頭或一對(duì)四轉(zhuǎn)接頭(未示出)，同一節(jié)流閥還可同時(shí)調(diào)整2組或4組氣浮載臺(tái)100，而同樣也可提供均一流量的氣流。如此，本實(shí)施例的氣浮載臺(tái)100可減少節(jié)流閥、氣管、分岐塊、快速接頭等連接構(gòu)件的使用數(shù)量，且可通過(guò)單一節(jié)流閥簡(jiǎn)單調(diào)整各出氣口122的流量一致，故本實(shí)施例的氣浮載臺(tái)100可有效降低使用成本，并具有簡(jiǎn)易且精準(zhǔn)的控制方式。

圖5至圖7是本發(fā)明其他實(shí)施例的氣浮載臺(tái)的俯視示意圖。請(qǐng)先參考圖5，在本實(shí)施例中，氣浮載臺(tái)100a類(lèi)似于前述氣浮載臺(tái)100，也包括底層110、頂層120a以及氣室130a，其主要差異在于，本實(shí)施例的頂層120a具有2ⁿ個(gè)出氣口122，而氣室130a具有2ⁿ個(gè)氣流路徑P，其中n為1。換言之，本實(shí)施例的出氣口122有2個(gè)，而氣流路徑P也有2條，但本發(fā)明不以此為限制，其可依據(jù)需求調(diào)整。

具體而言，在本實(shí)施例中，氣室130a包括2個(gè)子區(qū)段132，且氣室130a不包括前述轉(zhuǎn)折點(diǎn)134，使進(jìn)氣口112直接通過(guò)子區(qū)段132連接至對(duì)應(yīng)的出氣口122，并對(duì)應(yīng)構(gòu)成氣流路徑P。換言之，以氣流路徑P1為例，氣流路徑P1由1個(gè)子區(qū)段132構(gòu)成，并連通進(jìn)氣口112與對(duì)應(yīng)的出氣口122。再者，各氣流路徑P1與P2所含的子區(qū)段132的數(shù)量相等(均為1個(gè))。如此，氣流路徑P1與P2的長(zhǎng)度(即子區(qū)段132的數(shù)量與總長(zhǎng)度)相等。當(dāng)氣流從進(jìn)氣口112進(jìn)入氣室130a并分流后，從各出氣口122流出的氣流具有均一流量。

類(lèi)似地，請(qǐng)參考圖6，在本實(shí)施例中，氣浮載臺(tái)100b類(lèi)似于前述氣浮載臺(tái)100，也包括底層110、頂層120b以及氣室130b，其主要差異在于，本實(shí)施例的頂層120b具有2ⁿ個(gè)出氣口122，而氣室130b具有2ⁿ個(gè)氣流路徑P， 其中n為2。換言之，本實(shí)施例的出氣口122有4個(gè)，而氣流路徑P也有4條，但本發(fā)明不以此為限制，其可依據(jù)需求調(diào)整。其中，出氣口122對(duì)稱(chēng)設(shè)置于進(jìn)氣口112的相對(duì)兩側(cè)，例如是排列成2x2的陣列，而進(jìn)氣口112位于所述陣列的中心，且通過(guò)氣流路徑P連通至出氣口122，而所述氣流路徑P的長(zhǎng)度相等。

具體而言，在本實(shí)施例中，氣室130b包括多個(gè)子區(qū)段132與多個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134，使進(jìn)氣口112通過(guò)子區(qū)段132與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134連接至對(duì)應(yīng)的出氣口122，并對(duì)應(yīng)構(gòu)成氣流路徑P。換言之，以氣流路徑P1為例，氣流路徑P1由n個(gè)子區(qū)段132與n-1個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134連接而成，即2個(gè)子區(qū)段132與1個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134。其中，子區(qū)段132a、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a、子區(qū)段132b依序連接，以構(gòu)成氣流路徑P1，并連通進(jìn)氣口112與對(duì)應(yīng)的出氣口122。再者，以氣流路徑P1與P2為例，各氣流路徑P1與P2所含的子區(qū)段132的數(shù)量相等(均為2個(gè))，且各氣流路徑P1與P2中所含的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134的數(shù)量相等(均為1個(gè))。如此，氣流路徑P1與P2的長(zhǎng)度(即子區(qū)段132的數(shù)量與總長(zhǎng)度)相等，且其轉(zhuǎn)折數(shù)(即轉(zhuǎn)折點(diǎn)134的數(shù)量)也相等。當(dāng)氣流從進(jìn)氣口112進(jìn)入氣室130b并在子區(qū)段132與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134分流后，從各出氣口122流出的氣流具有均一流量。

類(lèi)似地，請(qǐng)參考圖7，在本實(shí)施例中，氣浮載臺(tái)100c類(lèi)似于前述氣浮載臺(tái)100，也包括底層110、頂層120c以及氣室130c，其主要差異在于，本實(shí)施例的頂層120c具有2ⁿ個(gè)出氣口122，而氣室130c具有2ⁿ個(gè)氣流路徑P，其中n為7。換言之，本實(shí)施例的出氣口122有128個(gè)，而氣流路徑P也有128條，但本發(fā)明不以此為限制，其可依據(jù)需求調(diào)整。其中，出氣口122對(duì)稱(chēng)設(shè)置于進(jìn)氣口112的相對(duì)兩側(cè)，例如是排列成8x16的陣列，而進(jìn)氣口112位于所述陣列的中心，且通過(guò)氣流路徑P連通至出氣口122，而所述氣流路徑P的長(zhǎng)度相等。

具體而言，在本實(shí)施例中，氣室130c包括多個(gè)子區(qū)段132與多個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134，使進(jìn)氣口112通過(guò)彼此連接的子區(qū)段132與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134連接至對(duì)應(yīng)的出氣口122，并對(duì)應(yīng)構(gòu)成氣流路徑P。換言之，以氣流路徑P1為例，氣流路徑P1由n個(gè)子區(qū)段132與n-1個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134連接而成，即7個(gè)子區(qū)段132與6個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)134。其中，子區(qū)段132a、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a、子區(qū)段132b、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134b、子區(qū)段132c、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134c、子區(qū)段132d、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134d、子區(qū)段132e、轉(zhuǎn)折 點(diǎn)134e、子區(qū)段132f、轉(zhuǎn)折點(diǎn)134f、子區(qū)段132g依序連接，以構(gòu)成氣流路徑P1，并連通進(jìn)氣口112與對(duì)應(yīng)的出氣口122。再者，以氣流路徑P1與P2為例，各氣流路徑P1與P2所含的子區(qū)段132的數(shù)量相等(均為7個(gè))，且各氣流路徑P1與P2中所含的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134的數(shù)量相等(均為6個(gè))。如此，氣流路徑P1與P2的長(zhǎng)度(即子區(qū)段132的數(shù)量與總長(zhǎng)度)相等，且其轉(zhuǎn)折數(shù)(即轉(zhuǎn)折點(diǎn)134的數(shù)量)也相等。藉此，在氣流從進(jìn)氣口112流入氣室130c后，氣流依序經(jīng)過(guò)子區(qū)段132a至132g，并在對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)134a至134f分流，而后等量地從出氣口122流出。即，當(dāng)氣流從進(jìn)氣口112進(jìn)入氣室130c并在子區(qū)段132與轉(zhuǎn)折點(diǎn)134分流后，從各出氣口122流出的氣流具有均一流量。

另外，在本實(shí)施例中，氣浮載臺(tái)100c還包括多個(gè)負(fù)壓孔140，貫穿頂層120c與底層110(底層110示于圖1)，使從出氣口122流出的氣流適于從負(fù)壓孔140流至氣浮載臺(tái)100c相對(duì)于出氣口122的另一側(cè)。具體而言，在本實(shí)施例中，氣浮載臺(tái)100c適于經(jīng)由出氣口122提供氣流承載基板，使基板懸浮于頂層120c上。然而，雖然從出氣口122流出的氣流具有均一流量，但從位于周邊區(qū)域(遠(yuǎn)離進(jìn)氣口112處)的出氣口122流出的氣流較容易從基板與頂層120c之間散逸，而從位于中間區(qū)域(鄰近進(jìn)氣口112處)的出氣口122流出的氣流較不易散逸，而容易聚集在中間區(qū)域，并使基板的中間區(qū)域產(chǎn)生彎曲。

為了改善此現(xiàn)象，在本實(shí)施例中，負(fù)壓孔140貫穿頂層120c與底層110，且較佳地配置在鄰近進(jìn)氣口112處，而其數(shù)量與位置可依據(jù)需求調(diào)整。藉此，在氣流從位于中間區(qū)域的出氣口122流出后，氣流可通過(guò)負(fù)壓孔140散逸至氣浮載臺(tái)100c相對(duì)于出氣口122的另一側(cè)(即底層110)。換言之，負(fù)壓孔140的設(shè)計(jì)有助于使流出出氣口122的氣流順利散逸，使位于氣浮載臺(tái)100c與基板之間的氣流均勻分布，并使基板維持水平效果。類(lèi)似地，上述負(fù)壓孔140也可應(yīng)用于前述的氣浮載臺(tái)100至100b。此外，在其他未示出的實(shí)施例中，氣浮載臺(tái)也可采用連接至氣室的負(fù)壓裝置來(lái)調(diào)整氣流從氣室流至出氣口的流量。即，負(fù)壓裝置與負(fù)壓孔的概念類(lèi)似，而可用于調(diào)整流至出氣口的氣流流量，而使基板維持水平效果。然而，本發(fā)明并不限制負(fù)壓孔與負(fù)壓裝置的配置與否，其可依據(jù)需求調(diào)整。

由此可知，在上述技術(shù)概念下(即氣流以二分法分流，且各氣流路徑的 長(zhǎng)度與轉(zhuǎn)折數(shù)相等)，本發(fā)明并不限制氣室130至130c的具體實(shí)施方式，其子區(qū)段與轉(zhuǎn)折點(diǎn)的數(shù)量可依據(jù)需求調(diào)整。

綜上所述，在本發(fā)明的氣浮載臺(tái)中，單一進(jìn)氣口通過(guò)多個(gè)氣流路徑連通至出氣口，其中氣流路徑與出氣口各自對(duì)稱(chēng)地配置在進(jìn)氣口的相對(duì)兩側(cè)，且其數(shù)量各自為2ⁿ個(gè)，而n為正整數(shù)。如此，氣室采用空氣流量二分法原理，使氣流等量分流，且每一氣流路徑的長(zhǎng)度與轉(zhuǎn)折數(shù)相等。如此，在氣流從進(jìn)氣口流入氣室后，由于氣流可在氣流路徑內(nèi)流動(dòng)，且每一氣流路徑的長(zhǎng)度相等，故氣流可在流經(jīng)氣流路徑時(shí)等量均分，而后等量地從出氣口流出。換言之，每一出氣口的流量、流速與壓力(推動(dòng)基板的推力)一致。此外，氣浮載臺(tái)可通過(guò)單一節(jié)流閥簡(jiǎn)單調(diào)整各出氣口的流量一致。藉此，氣浮載臺(tái)適于提供具有均一流量的氣流承載基板，并使基板維持水平效果，也可有效降低使用成本，并具有簡(jiǎn)易且精準(zhǔn)的控制方式。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。