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      一種耐高溫電容層析成像傳感器的制作方法

      文檔序號:12728031閱讀:來源:國知局
      技術總結
      本發(fā)明公開了一種應用于室溫至600℃高溫環(huán)境下的耐高溫電容層析成像傳感器。所述傳感器包括陣列分布電極、軸端屏蔽電極、絕緣隔離層、軸端屏蔽電極連接層、固定層、屏蔽罩和信號傳輸線,其中陣列分布電極通過腐蝕鏤空的工藝制作而成,并由測量端和固定端組成,分別用來測量電容和包裹固定電極測量端與傳輸電纜,且測量端通過耐高溫絕緣膠整體定位套粘在耐高溫絕緣管道的外壁;信號傳輸線包括高溫段和常溫段,均為由纜芯、絕緣層和屏蔽絲網(wǎng)組成的雙屏蔽線;軸端屏蔽電極連接層與軸端屏蔽電極直接接觸,并與屏蔽罩連接。本發(fā)明的傳感器可以在室溫至600℃高溫環(huán)境下正常使用,有效拓寬了電容層析成像技術在高溫熱態(tài)領域的應用范圍。

      技術研發(fā)人員:葉茂;郭強;孟霜鶴;張濤;劉中民
      受保護的技術使用者:中國科學院大連化學物理研究所
      文檔號碼:201510967356
      技術研發(fā)日:2015.12.18
      技術公布日:2017.06.27

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