本申請基于2014年6月13日提出的日本申請?zhí)?014－122512號，在此引用其記載內(nèi)容。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及具有振動(dòng)體的角速度傳感器。

背景技術(shù)：

以往以來，提出并記載了具有振動(dòng)片被固定于基部的振動(dòng)體的角速度傳感器(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。具體而言，該角速度傳感器使用由壓電材料構(gòu)成的基板而構(gòu)成，在基板上將振動(dòng)體和包圍振動(dòng)體的外周部進(jìn)行區(qū)劃而形成。并且，振動(dòng)體經(jīng)由多個(gè)梁部被支承于外周部。

據(jù)此，通過配置在振動(dòng)體(基部)與外周部之間的梁部，能夠抑制從外周部向振動(dòng)體傳遞振動(dòng)、沖擊等擾動(dòng)，并且能夠抑制檢測精度降低。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：特開2011-75415號公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

但是，上述角速度傳感器中，各梁部分別獨(dú)立地與外周部連接。因此，根據(jù)不同的各梁部，擾動(dòng)的抑制效果不同，有時(shí)不能充分抑制檢測精度降低。

本申請鑒于上述點(diǎn)，目的是提供能夠抑制檢測精度降低的角速度傳感器。

本申請的第一方式中，角速度傳感器具備：基板，使用壓電材料構(gòu)成；振動(dòng)體，形成于基板，具有在基板的面方向上振動(dòng)的第1振動(dòng)片和第2振動(dòng)片；以及外周部，形成于基板，配置在振動(dòng)體的周圍；在使振動(dòng)體振動(dòng)的狀態(tài)下被施加角速度時(shí)，產(chǎn)生與該角速度相應(yīng)的電荷。

振動(dòng)體經(jīng)由具有第1梁構(gòu)成部件和第2梁構(gòu)成部件的多個(gè)梁部被支承于外周部，在將基板的面方向中的一方向設(shè)為第1方向、將基板的面方向中的與第1方向正交的方向設(shè)為第2方向時(shí)，第1梁構(gòu)成部件至少能夠在第1方向上位移，第2梁構(gòu)成部件與第1梁構(gòu)成部件連結(jié)，至少能夠在第2方向上位移；多個(gè)梁部的至少一部分中，第1梁構(gòu)成部件和第2梁構(gòu)成部件之中的外周部側(cè)的梁構(gòu)成部件相互一體化。

據(jù)此，在梁部之中的外周部側(cè)的梁構(gòu)成部件被一體化的部分中，使位移相互耦合，因此能夠進(jìn)一步抑制從外周部向振動(dòng)體傳遞擾動(dòng)，并且能夠抑制檢測精度降低。

附圖說明

關(guān)于本申請的上述目的及其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)通過參照所附的附圖的進(jìn)行的下述的詳細(xì)的記述而變得更加明確。

圖1是本申請的第1實(shí)施方式中的角速度傳感器的俯視圖。

圖2的(a)是表示圖1所示的角速度傳感器的工作的圖，圖2的(b)是表示圖2的(a)所示的角速度傳感器的工作的模式的圖。

圖3是表示一般的角速度傳感器的共振倍率的頻率特性(響應(yīng)曲線)的圖。

圖4是表示第1實(shí)施方式的角速度傳感器的共振倍率的頻率特性(響應(yīng)曲線)的圖。

圖5是表示與靜止?fàn)顟B(tài)對應(yīng)的同相模式和同相吸收模式的運(yùn)動(dòng)的示意圖。

圖6A是表示對圖1所示的角速度傳感器在y軸方向上施加了沖擊時(shí)的同相模式的運(yùn)動(dòng)的示意圖。

圖6B是表示對圖1所示的角速度傳感器在y軸方向上施加了沖擊時(shí)的同相吸收模式的運(yùn)動(dòng)的示意圖。

圖7是使Q值變化時(shí)的數(shù)式1的曲線圖。

圖8是本申請的第2實(shí)施方式中的角速度傳感器的俯視圖。

圖9是本申請的第3實(shí)施方式中的角速度傳感器的俯視圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于圖對本申請的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，以下的各實(shí)施方式彼此中，對于相互相同或等效的部分賦予相同的標(biāo)號來進(jìn)行說明。

(第1實(shí)施方式)

參照附圖對本申請的第1實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，本實(shí)施方式的角速度傳感器適合應(yīng)用于檢測對車輛施加的角速度。

如圖1所示，角速度傳感器具備由作為壓電材料的水晶或PZT(鈦酸鋯鉛)等構(gòu)成的基板10。并且，在基板10，實(shí)施周知的微細(xì)加工而形成有槽部11，通過槽部11將振動(dòng)體12以及外周部13分區(qū)而形成。另外，外周部13以位于振動(dòng)體12的周圍的方式與振動(dòng)體12分區(qū)而形成。

振動(dòng)體12的第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b保持于基部15。具體而言，基部15呈具有長度方向(圖1中紙面上下方向)的平面矩形狀。并且，第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b配置成在基部15的長度方向的兩端部向相同方向突出。也就是說，本實(shí)施方式的振動(dòng)體12是所謂音叉型。

此外，在各振動(dòng)片14a和14b形成有未圖示的驅(qū)動(dòng)電極以及檢測電極。例如，在各振動(dòng)片14a和14b之中的基部15側(cè)形成有驅(qū)動(dòng)電極，在各振動(dòng)片14a和14b之中的與基部15側(cè)相反一側(cè)形成有檢測電極。

并且，振動(dòng)體12經(jīng)由第1梁部16和第2梁部17支承于外周部13。在此，對第1梁部16和第2梁部17的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，以下，將第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b相對于基部15的突出方向(圖1中紙面左右方向)設(shè)為x軸方向，將基板10的面內(nèi)中與該突出方向正交的方向(第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b的排列方向)設(shè)為y軸方向，將相對于基板10的面方向的法線方向設(shè)為z軸方向來說明。此外，本實(shí)施方式中，y軸方向相當(dāng)于第1方向，x軸方向相當(dāng)于第2方向，z軸方向相當(dāng)于第3方向。

第1梁部16由相對于x軸方向以及y軸方向傾斜的第1梁構(gòu)成部件16a和第2梁構(gòu)成部件16b構(gòu)成。換言之，第1梁部16由能夠在x軸方向以及y軸上位移的第1梁構(gòu)成部件16a和第2梁構(gòu)成部件16b構(gòu)成。并且，第1梁部16為，第1梁構(gòu)成部件16a配置在振動(dòng)體12側(cè)、并且第2梁構(gòu)成部件16b配置在外周部13側(cè)、第1梁構(gòu)成部件16a與第2梁構(gòu)成部件16b連結(jié)而成的大致V字狀。

同樣，第2梁部17由相對于x軸方向以及y軸方向傾斜的第1梁構(gòu)成部件17a和第2梁構(gòu)成部件17b構(gòu)成。換言之，第2梁部17由能夠在x軸方向以及y軸方向上位移的第1梁構(gòu)成部件17a和第2梁構(gòu)成部件17b構(gòu)成。并且，第2梁部17為，第1梁構(gòu)成部件17a配置在振動(dòng)體12側(cè)、并且第2梁構(gòu)成部件17b配置在外周部13側(cè)、第1梁構(gòu)成部件17a與第2梁構(gòu)成部件17b連結(jié)而成的大致V字狀。另外，第2梁部17為在第1梁部16所構(gòu)成的大致V字狀的相反側(cè)具有凸部的大致V字狀。

并且，第1梁部16以及第2梁部17，在各第1梁構(gòu)成部件16a、17a的振動(dòng)體12側(cè)的端部連結(jié)而被一體化的狀態(tài)下與振動(dòng)體12連結(jié)。此外，第1梁部16以及第2梁部17，在各第2梁構(gòu)成部件16b、17b的外周部13側(cè)的端部連結(jié)而被一體化的狀態(tài)下與外周部13連結(jié)。也就是說，本實(shí)施方式中，可以說由第1梁部16和第2梁部17構(gòu)成平面框狀的梁部，該框狀的梁部的相對的2組角部之中的1組角部與振動(dòng)體12以及外周部13連結(jié)。

進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，第1梁部16和第2梁部17的截面積、長度等被適當(dāng)調(diào)整為彈簧常數(shù)比第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b所具有的彈簧常數(shù)小。

這樣的角速度傳感器中，在檢測角速度時(shí)，在形成于第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b的驅(qū)動(dòng)電極上被施加驅(qū)動(dòng)信號。另外，施加于第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b的驅(qū)動(dòng)信號是具有規(guī)定的振幅、頻率的脈沖狀的驅(qū)動(dòng)信號，相位相差180°。由此，如圖2所示，第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b沿著y軸方向以反向驅(qū)動(dòng)振動(dòng)。換言之，第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b以相互開閉的方式驅(qū)動(dòng)振動(dòng)。

并且，在該狀態(tài)下，若被施加繞x軸方向的角速度，則通過科里奧利力，第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b在z軸方向上以反向振動(dòng)。例如，在第1振動(dòng)片14a向朝向圖2的(a)中紙面垂直方向的一側(cè)振動(dòng)的情況下，第2振動(dòng)片14b向圖2的(a)中紙面垂直方向近前側(cè)振動(dòng)。并且，在形成于第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b的未圖示的檢測電極上產(chǎn)生與振動(dòng)相應(yīng)的電荷。因此，通過對在各檢測電極上產(chǎn)生的電荷進(jìn)行差動(dòng)放大，來進(jìn)行角速度的檢測。另外，在圖2的(a)、圖2的(b)中，在圈中標(biāo)黑圓點(diǎn)的記號表示朝向紙面垂直方向的一側(cè)，在圈中標(biāo)×印的記號表示向紙面垂直方向近前側(cè)振動(dòng)。

此時(shí)，振動(dòng)體12經(jīng)由第1梁部16和第2梁部17支承于外周部13。因此，通過第1梁部16和第2梁部17在x軸方向以及y軸方向上位移(彎曲)，能夠抑制從外周部13向振動(dòng)體12傳遞振動(dòng)、沖擊等擾動(dòng)。

此外，第1梁部16和第2梁部17中的各第2梁構(gòu)成部件16b、17b被一體化。因此，第1梁部16和第2梁部17使位移相互耦合，因此能夠進(jìn)一步抑制從外周部13向振動(dòng)體12傳遞擾動(dòng)。

這里，通過如上述的檢測原理來進(jìn)行角速度的檢測，但第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b具有在z軸方向上向相同方向振動(dòng)的同相模式的共振頻率fin、和向相互反方向振動(dòng)的反相模式的共振頻率fanti。

另外，如圖2的(b)所示，這里的同相模式是指在被施加了沿著z軸方向的沖擊時(shí)第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b在z軸方向上向相同方向振動(dòng)。此外，這里的反相模式是指在被施加了沿著z軸方向的沖擊時(shí)第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b在z軸方向上向反方向振動(dòng)。

在被施加了向z軸方向的沖擊時(shí)，若第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b以同相模式變化，則通過對形成于第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b的檢測電極上所產(chǎn)生的電荷進(jìn)行差動(dòng)放大(差動(dòng)輸出)，由此基于該沖擊的振動(dòng)所引起的電荷(信號)被抵消。但是，在被施加了向z軸方向的沖擊時(shí)，若第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b以反相模式變化，則基于該沖擊的振動(dòng)所引起的電荷(信號)不會(huì)通過差動(dòng)放大而被抵消，因此成為輸出誤差而檢測精度降低。

在被施加了向z軸方向的沖擊時(shí)，共振倍率(響應(yīng)強(qiáng)度)對應(yīng)于該沖擊中包含的頻率成分而改變。具體而言，一般的角速度傳感器(沒有特別考慮共振頻率的角速度傳感器)中，共振倍率的頻率特性(響應(yīng)曲線)如圖3所示在同相模式的共振頻率fin下共振倍率最大。并且，以同相模式的共振頻率fin為中心，在其他頻域下共振倍率急劇下降，越遠(yuǎn)離同相模式的共振頻率fin則越下降。但是，與同相模式的共振頻率fin另外地存在反相模式的共振頻率fanti，該反相模式的共振頻率fanti也比同相模式的共振頻率fin足夠小，但共振倍率以某種程度變大。并且，沖擊中包含的該反相模式的共振頻率fanti成分引發(fā)使第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b向反方向振動(dòng)的運(yùn)動(dòng)，引起輸出誤差。

關(guān)于該反相模式的共振頻率fanti，越是存在于與同相模式的共振頻率近之處則該共振頻率fanti下的共振倍率越大。即，如圖3所示，共振倍率以同相模式的共振頻率fin為中心衰減。但是，若反相模式的共振頻率fanti與同相模式的共振頻率fin過近，則在被施加了沖擊時(shí)存在該沖擊中包含的反相模式的共振頻率fanti成分沒有充分衰減的區(qū)域。因此，該沖擊中的沒有完全衰減的反相模式的共振頻率fanti成分引發(fā)該振動(dòng)中的反相模式的運(yùn)動(dòng)。

因此，可以說通過使同相模式的共振頻率fin與反相模式的共振頻率fanti相離，能夠成為沖擊中包含的反相模式的共振頻率fanti成分充分衰減的區(qū)域，并且能夠抑制反相模式的運(yùn)動(dòng)的引起。關(guān)于共振倍率的頻率特性，能夠基于允許z軸方向的位移的彈簧來調(diào)整，也就是說在本實(shí)施方式的情況下能夠基于第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b的設(shè)定來調(diào)整。并且，如果如圖4所示反相模式的共振頻率fanti離開同相模式的共振頻率fin，則能夠降低反相模式的共振頻率fanti下的共振倍率。

具體而言，將反相模式的共振頻率fanti與同相模式的共振頻率fin的差分除以反相模式的共振頻率fanti而得到的值(＝(fanti―fin)/fanti)定義為去耦合率(Decoupling Ratio(以下，稱為D.R.)。于是，如果設(shè)D.R.的絕對值為0.2以上，則共振倍率的峰值(Q值：共振頻率為fin時(shí)的共振倍率)不管大還是小都為3以下且存在10％左右的誤差，能夠成為能夠確保魯棒性(Robustness)的區(qū)域。優(yōu)選地，如果D.R.的絕對值為0.4以上，則能夠使反相模式的共振頻率fanti下的共振倍率為1以下，沖擊中包含的反相模式的共振頻率fanti成分更充分地衰減，能夠抑制反相模式的運(yùn)動(dòng)的引起。例如，如果同相模式的共振頻率fin為10kHz、反相模式的共振頻率fanti為16kHz，則能夠使D.R.的絕對值為0.4以上、共振倍率為1以下。

因此，在本實(shí)施方式中，D.R.的絕對值為0.2以上，優(yōu)選的是0.4以上。由此，能夠抑制反相模式的運(yùn)動(dòng)的引起。因此，能夠抑制角速度傳感器的輸出誤差，能夠抑制檢測精度進(jìn)一步降低。

此外，這樣的角速度傳感器對于向沿著y軸方向的方向施加的沖擊，具有兩個(gè)共振模式的頻率f1、f3。具體而言，如在圖5中示意地表示那樣，是使被彈簧s1、s2支承的兩個(gè)重錘(weight)m1、m2向相同方向振動(dòng)的同相模式的共振頻率f1、以及使兩個(gè)重錘m1、m2向反方向振動(dòng)的同相吸收模式的共振頻率f3。

另外，圖5中，彈簧s2由第1梁部16和第2梁部17構(gòu)成，重錘m2由基部15構(gòu)成，彈簧s1由第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b構(gòu)成，重錘m1由第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b構(gòu)成。此外，同相吸收模式的共振頻率f3為比同相模式的共振頻率f1大的頻率。

即，如圖6A所示，在對角速度傳感器向y軸方向施加了沖擊時(shí)，在同相模式的共振頻率f1下，在y軸方向上第1振動(dòng)片14a及第2振動(dòng)片14b和基部15向相同方向振動(dòng)。相對于此，如圖6B所示，在對角速度傳感器向y軸方向施加了沖擊時(shí)，在同相吸收模式的共振頻率f3下，在y軸方向上第1振動(dòng)片14a及第2振動(dòng)片14b和基部15向反方向振動(dòng)。

在此，如果對角速度傳感器向y軸方向施加沖擊，則第1振動(dòng)片14a及第2振動(dòng)片14b與基部15通過(1)基于非共振的振動(dòng)激勵(lì)、(2)基于共振的振動(dòng)激勵(lì)、(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)這三個(gè)的合計(jì)所引起的位移機(jī)理而振動(dòng)。也就是說，通過這些(1)～(3)的振動(dòng)激勵(lì)同時(shí)以被合計(jì)的方式發(fā)生，從而第1振動(dòng)片14a及第2振動(dòng)片14b和基部15位移(振動(dòng))。

(1)基于非共振的振動(dòng)激勵(lì)是單純地根據(jù)慣性力和彈簧力來計(jì)算的位移量。此外，(2)基于共振的振動(dòng)激勵(lì)是根據(jù)具有與角速度傳感器所具有的共振模式、主要是同相模式的共振頻率f1相同的頻率的沖擊成分的施加時(shí)間、以及振動(dòng)體12固有的Q值(共振倍率的峰值)來計(jì)算的激勵(lì)量。并且，(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)是基于同相模式的共振頻率f1的整數(shù)倍(n倍)和同相吸收模式的共振頻率f3下的干涉而產(chǎn)生的激勵(lì)量。

在此，(3)相當(dāng)于基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)的影響程度的放大率A如下式所述。該數(shù)學(xué)式意味著進(jìn)行使(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)充分降低到與(1)基于非共振的振動(dòng)激勵(lì)、(2)基于共振的振動(dòng)激勵(lì)同等程度的狀態(tài)的A倍位移。

【數(shù)式1】

另外，數(shù)學(xué)式中的f1表示同相模式的共振頻率f1，f3表示同相吸收模式的共振頻率f3，n表示整數(shù)，Q表示Q值。

此外，使Q值變化而將數(shù)學(xué)式1圖表化的結(jié)果為圖7。圖7中的回避差D表示使同相吸收模式的共振頻率f3與同相模式的共振頻率f1的n倍的值之差的絕對值Δf3從同相模式的共振頻率f1偏離的程度。如圖7所示，在回避差D＝0時(shí)，即在絕對值Δf3與同相模式的共振頻率f1一致時(shí)，放大率A最大。此時(shí)，(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)呈現(xiàn)為最大的峰值，并且在全振動(dòng)激勵(lì)中所占的作用率(contribution ratio)也變高。

因此，通過設(shè)計(jì)成不成為絕對值Δf3(＝|f3－n×f1|)與同相模式的共振頻率f1一致這樣的條件，(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)不成為最大的峰值，能夠減少在全振動(dòng)激勵(lì)中所占的作用率。也就是說，在絕對值Δf3大于對同相模式的共振頻率f1乘以回避差D而得到的值的關(guān)系(Δf3＞f1×D)中，只要至少使回避差D不為0％(D≠0)，而使其大于0％即可。由此，能夠避免(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)成為最大位移。

并且，如果設(shè)計(jì)成回避差D大于5％(D＞5％)，則數(shù)學(xué)式1中的分母的根號內(nèi)的第1項(xiàng)成為比第2項(xiàng)足夠大的值，能夠與第2項(xiàng)中包含的Q值無關(guān)地決定放大率A。具體而言，如圖7所示，放大率A降低到20左右。像這樣，能夠與Q值無關(guān)地設(shè)定放大率A，并能夠使放大率A足夠小，因此能夠提高魯棒性。

進(jìn)而，如果設(shè)計(jì)成回避差D大于10％(D＞10％)，則如圖7所示，放大率A幾乎降低至1位數(shù)。由此，能夠抑制為使(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)充分降低到與(1)基于非共振的振動(dòng)激勵(lì)、(2)基于共振的振動(dòng)激勵(lì)同等程度的狀態(tài)。

另外，圖7中將使Q值在50～300中變化的情況作為一例進(jìn)行了表示，但關(guān)于Q值的大小，不限于這里所示的范圍。

因此，在本實(shí)施方式中，關(guān)于同相模式的共振頻率f1和比其大的同相吸收模式的共振頻率f3，同相吸收模式的共振頻率f3與同相模式的共振頻率f1的n倍的值之差的絕對值Δf3滿足以下的條件。即，設(shè)為絕對值Δf3大于對同相模式的共振頻率f1乘以回避差D而得到的值的關(guān)系(Δf3＞f1×D)，并且至少回避差D大于0％。由此，能夠避免(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)成為最大位移。

優(yōu)選地，通過使回避差D＞5％，能夠使放大率A與Q值無關(guān)地降低，能夠提高魯棒性。更優(yōu)選地，通過使回避差D＞10％，能夠使放大率A幾乎降低到1位數(shù)，能夠抑制為使(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)充分降低到與(1)基于非共振的振動(dòng)激勵(lì)、(2)基于共振的振動(dòng)激勵(lì)同等程度的狀態(tài)。

通過設(shè)計(jì)成被設(shè)定為滿足這樣的關(guān)系的同相模式的共振頻率f1和同相吸收模式的共振頻率f3，能夠降低(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)。

另外，如數(shù)學(xué)式1所示，將放大率A通過同相模式的共振頻率f1的整數(shù)倍(n倍)和同相吸收模式的共振頻率f3以及Q值來定義，由此通過降低數(shù)學(xué)式1中的Q值也能夠降低放大率A。例如，如本實(shí)施方式那樣的角速度傳感器通常在被真空密封的狀態(tài)下被使用，因此通過降低此時(shí)的真空度來降低Q值。如果像這樣降低Q值，則能夠降低放大率A，進(jìn)而能夠降低(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)。此外，如果降低Q值，則(2)基于共振的振動(dòng)激勵(lì)也降低，因此與(3)基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)一起降低，能夠?qū)崿F(xiàn)耐沖擊性能的進(jìn)一步提高。

如上說明，在本實(shí)施方式中，振動(dòng)體12經(jīng)由第1梁部16和第2梁部17支承于外周部13。因此，第1梁部16和第2梁部17向x軸方向以及y軸方向位移(彎曲)，由此能夠抑制從外周部13向振動(dòng)體12傳遞振動(dòng)或沖擊等擾動(dòng)。

此外，第1梁部16和第2梁部17的各第2梁構(gòu)成部件16b、17b被一體化。因此，第1梁部16和第2梁部17將位移相互耦合，因此能夠進(jìn)一步抑制從外周部13向振動(dòng)體12傳遞擾動(dòng)，能夠進(jìn)一步抑制檢測精度降低。

并且，第1梁部16和第2梁部17的彈簧常數(shù)比第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b所具有的彈簧常數(shù)小。因此，與第1梁部16和第2梁部17的彈簧常數(shù)比第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b所具有的彈簧常數(shù)大的情況相比，能夠抑制從外周部13向振動(dòng)體12傳遞擾動(dòng)。

進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，D.R.的絕對值為0.2以上。因此，即使角速度傳感器被施加向z軸方向的沖擊，也能夠抑制反相模式的運(yùn)動(dòng)的引起。因此，能夠抑制產(chǎn)生輸出誤差，進(jìn)而能夠抑制檢測精度降低。

此外，在本實(shí)施方式中，設(shè)為絕對值Δf3比對同相模式的共振頻率f1乘以回避差D而得到的值大的關(guān)系(Δf3＞f1×D)，并且至少回避差D大于0％。因此，能夠抑制基于共振干涉的振動(dòng)激勵(lì)成為最大位移，并且能夠提高耐沖擊性能。

(第2實(shí)施方式)

對本申請的第2實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式是對第1實(shí)施方式變更第1梁部16和第2梁部17的結(jié)構(gòu)而得到的，其他由于與第1實(shí)施方式相同，因此在此省略說明。

在本實(shí)施方式中，如圖8所示，振動(dòng)體12經(jīng)由第1梁部16及第2梁部17、以及隔著振動(dòng)體12而配置在與第1梁部16和第2梁部17相反的一側(cè)的第3、第4梁部18、19支承于外周部13。

第1梁部16和第2梁部16、17具有在x軸方向上延伸的第1梁構(gòu)成部件16a、17a、與第1梁構(gòu)成部件16a、17a連結(jié)且在y軸方向上延伸的第2梁構(gòu)成部件16b、17b。也就是說，第1梁部16和第2梁部17具有能夠在y軸方向上位移的第1梁構(gòu)成部件16a、17a、以及能夠在x軸方向上位移的第2梁構(gòu)成部件16b、17b。并且，第1梁部16的第2梁構(gòu)成部件16b和第2梁部17的第2梁構(gòu)成部件17b被一體化。

同樣，第3、第4梁部18、19具有在x軸方向上延伸的第1梁構(gòu)成部件18a、19a、以及與第1梁構(gòu)成部件18a、19a連結(jié)且在y軸方向上延伸的第2梁構(gòu)成部件18b、19b。也就是說，第3、第4梁部18、19具有能夠在y軸方向上位移的第1梁構(gòu)成部件18a、19a、以及能夠在x軸方向上位移的第2梁構(gòu)成部件18b、19b。并且，第3梁部18的第2梁構(gòu)成部件18b和第4梁部19的第2梁構(gòu)成部件19b被一體化。

既可以像這樣具備第1～第4梁部16～19，此外也可以使第1、第2梁構(gòu)成部件16a～19b僅在一方向上位移。這樣的角速度傳感器也是第1梁部16和第2梁部17的第2梁構(gòu)成部件16b、17b被一體化，第3、第4梁部18、19的第2梁構(gòu)成部件18b、19b被一體化，因此能夠得到與上述第1實(shí)施方式相同的效果。

(第3實(shí)施方式)

對本申請的第3實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式是對第2實(shí)施方式變更第2梁構(gòu)成部件16b～19b的結(jié)構(gòu)而得到的，其他由于與第2實(shí)施方式相同，因此在此省略說明。

在本實(shí)施方式中，如圖9所示，在振動(dòng)體12與外周部13之間，形成有包圍振動(dòng)體12的框部20，該框部20經(jīng)由多個(gè)支承部21支承于外周部13。并且，第1梁構(gòu)成部件16a～19a分別與框部20連結(jié)，第2梁構(gòu)成部件16b～19b由框部20構(gòu)成。也就是說，第1～第4梁部16～19的第2梁構(gòu)成部件16b～19b全部被一體化。

據(jù)此，第1～第4梁部16～19由于各梁部16～19的位移全部耦合，因此能夠進(jìn)一步抑制從外周部13向振動(dòng)體12傳遞擾動(dòng)，并且能夠得到與上述第2實(shí)施方式相同的效果。

另外，上述中說明了框部20(第1～第4梁部16～19的第2梁構(gòu)成部件16b～19b)經(jīng)由多個(gè)支承部21支承于外周部13的結(jié)構(gòu)，但框部20也可以僅經(jīng)由一個(gè)支承部21支承于外周部13。

(其他實(shí)施方式)

本申請并不限定于上述實(shí)施方式，能夠在權(quán)利要求中記載的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)變更。

例如，上述各實(shí)施方式中，也可以變更振動(dòng)體12的結(jié)構(gòu)。例如，振動(dòng)體12也可以是第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b相對于基部15向兩方向突出的所謂H型音叉。

此外，振動(dòng)體12也可以是在第1振動(dòng)片14a與第2振動(dòng)片14b之間具有向與該第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b相同的方向突出的檢測片的所謂三腳音叉。在該情況下，第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b為驅(qū)動(dòng)片，基于在檢測片上產(chǎn)生的電荷進(jìn)行角速度的檢測。另外，當(dāng)為這樣的振動(dòng)體12的情況下，由于檢測片只有一個(gè)，因此基于在檢測片上產(chǎn)生的電荷進(jìn)行角速度的檢測。也就是說，不進(jìn)行差動(dòng)放大而進(jìn)行角速度的檢測。

進(jìn)而，振動(dòng)體12也可以是第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b以及檢測片相對于基部15向兩側(cè)突出的所謂雙T型音叉。

此外，在上述第1實(shí)施方式中，第1梁構(gòu)成部件16a、17a中的基部15側(cè)的端部也可以不被一體化，也可以分別設(shè)置于基部15。

并且，在上述各實(shí)施方式中，各梁部16～19的彈簧常數(shù)也可以比第1振動(dòng)片14a和第2振動(dòng)片14b所具有的彈簧常數(shù)大。

本申請是依據(jù)實(shí)施例來記述的，但應(yīng)理解為本申請不限定于該實(shí)施例及構(gòu)造。本申請還包含多種變形例及均等范圍內(nèi)的變形。并且，多種組合及形態(tài)、進(jìn)而包括對其追加或刪除僅一要素后的結(jié)構(gòu)在內(nèi)的其他組合及形態(tài)也包含在本申請的范疇及思想范圍內(nèi)。