本發(fā)明涉及一種傳感器單元、具備該單元的電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

背景技術(shù)：

一直以來(lái)，作為搭載有對(duì)基于預(yù)定的檢測(cè)軸的慣性進(jìn)行檢測(cè)的慣性傳感器的傳感器單元，已知一種如下的傳感器單元(裝置)，即，如圖27所示，具有在箱狀的殼體80的內(nèi)部搭載了角速度傳感器83的結(jié)構(gòu)的傳感器單元91(裝置)。詳細(xì)而言，采用了在箱狀的殼體80的內(nèi)部的底面81上對(duì)安裝有角速度傳感器83的基板82進(jìn)行直接固定的結(jié)構(gòu)。角速度傳感器83在半導(dǎo)體基板上利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)而形成具有錘部或梳齒狀的電極的梳齒致動(dòng)器84，并且以電的形式(例如，作為電容變化)讀取通過(guò)在施加角速度時(shí)所發(fā)揮作用的科里奧利力而產(chǎn)生的變動(dòng)。

另一方面，在這種的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中，存在如下問(wèn)題，即，容易受到從被安裝面85(裝置)傳遞來(lái)的固有的振動(dòng)(噪聲振動(dòng))的影響，并且也無(wú)法否認(rèn)對(duì)檢測(cè)精度造成的影響。例如，在將傳感器單元91安裝在導(dǎo)航系統(tǒng)上的情況下，因汽車的發(fā)動(dòng)機(jī)動(dòng)作而引起的噪聲振動(dòng)可能會(huì)從殼體80的底面81直接傳遞至角速度傳感器83。這不僅限定于角速度傳感器的封裝件結(jié)構(gòu)，在加速度傳感器等慣性傳感器整體的封裝件結(jié)構(gòu)中也是共同的問(wèn)題。

鑒于上述問(wèn)題，在專利文獻(xiàn)1中提出了如圖28～圖30所示的傳感器裝置。在圖28的傳感器裝置92中，采用了如下結(jié)構(gòu)，即，作為將殼體80倒置了(垂直反轉(zhuǎn))的狀態(tài)，從殼體80的底面81通過(guò)金屬制的彈簧86而將包括角速度傳感器83在內(nèi)的基板82懸吊的結(jié)構(gòu)。此外，在圖29的傳感器裝置93中，采用了利用柔性基板87而從殼體80的外周緣將包括角速度傳感器83在內(nèi)的基板82懸吊的結(jié)構(gòu)。此外，在圖30的傳感器裝置94中，采用如下結(jié)構(gòu)，即，在殼體80內(nèi)部的周緣部上形成階梯狀的高低差88，并從該高低差88引出多個(gè)接合引線89，并且將包括角速度傳感器83在內(nèi)的基板82懸吊的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該文獻(xiàn)，通過(guò)傳感器裝置92～94的結(jié)構(gòu)，而能夠充分地衰減噪聲振動(dòng)的影響。

先行技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2006-194681號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

然而，在專利文獻(xiàn)1的傳感器裝置92～94中，存在缺乏可靠性且獲得穩(wěn)定的檢測(cè)精度較為困難的課題。詳細(xì)而言，由于即使在傳感器裝置92～94中的任意一個(gè)結(jié)構(gòu)中，均成為包含角速度傳感器83的基板82的位置在殼體80的內(nèi)部懸浮的狀態(tài)，因此由于自重或時(shí)效性的變化而角速度傳感器83將會(huì)發(fā)生傾斜。當(dāng)角速度傳感器83發(fā)生傾斜時(shí)，由于因重力的影響而梳齒致動(dòng)器84將會(huì)發(fā)生偏置，因此將會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果，從而缺乏可靠性。

此外，在通過(guò)彈簧86而將基板82懸吊的結(jié)構(gòu)的情況下，由于噪聲振動(dòng)的影響而基板82可能進(jìn)行上下振動(dòng)。該上下振動(dòng)也可能對(duì)檢測(cè)結(jié)果造成影響，從而獲得穩(wěn)定的檢測(cè)精度較為困難。另外，由于即使在傳感器裝置93、94中也采用通過(guò)具有彈性的部件將基板82懸吊的結(jié)構(gòu)，從而也會(huì)產(chǎn)生由噪聲振動(dòng)的影響而造成的基板82的振動(dòng)，因此，同樣地獲得穩(wěn)定的檢測(cè)精度較為困難。

用于解決課題的方法

本發(fā)明為用于解決上述的課題中的至少一部分而完成的發(fā)明，并且能夠作為以下的應(yīng)用例或方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。

(應(yīng)用例)

傳感器單元的特征在于，具備：慣性傳感器；傳感器模塊，其搭載有所述慣性傳感器；外殼，其具有底壁和與該底壁相接的側(cè)壁，并對(duì)所述傳感器模塊進(jìn)行收納，所述傳感器模塊經(jīng)由接合部件而與所述外殼的所述底壁接合。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，傳感器模塊經(jīng)由接合部件而與外殼的底壁接合。優(yōu)選為，使傳感器模塊嵌合在外殼的內(nèi)部，并且沿著該嵌合部而配置環(huán)狀的接合部件從而對(duì)兩者進(jìn)行接合。接合部件也可以具有粘合性，并且兩者在對(duì)接合部件進(jìn)行了壓縮的狀態(tài)下被接合。

此外，由于采用如下結(jié)構(gòu)，即，外殼、接合部件以及傳感器模塊(殼體部分)能夠通過(guò)切削加工或金屬模具而精度良好地被形成，并且將這些部位依次重疊地進(jìn)行組裝，因此不同于如現(xiàn)有技術(shù)那樣將慣性傳感器設(shè)為懸空狀態(tài)的結(jié)構(gòu)，從而能夠精度良好地對(duì)搭載有慣性傳感器的傳感器模塊進(jìn)行定位。

因此，根據(jù)應(yīng)用例的傳感器單元，由于慣性傳感器的位置穩(wěn)定因此提高了可靠性，并且由于具備了具有防振性的接合部件因此不易受到噪聲振動(dòng)的影響，從而使檢測(cè)精度穩(wěn)定。因此，能夠提供一種可靠性較高且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元。

此外，優(yōu)選為，接合部件由與外殼相比彈性率較小的材料構(gòu)成。如前文所述，優(yōu)選為，由于利用環(huán)狀的接合部件而對(duì)兩者進(jìn)行粘合，因此能夠確保氣密性。以此方式，由于通過(guò)作為接合部件而使用與外殼相比彈性率較小的材質(zhì)，從而接合部件也作為防振部件發(fā)揮功能，因此，能夠?qū)υ肼曊駝?dòng)從外殼向傳感器模塊傳遞進(jìn)行抑制。

由此，變得不易受到外部環(huán)境的影響，從而能夠進(jìn)一步提高可靠性。

此外，優(yōu)選為，外殼呈以與底壁對(duì)置的一面設(shè)為開(kāi)口面的箱狀，并且以堵塞開(kāi)口面的開(kāi)口部的方式而對(duì)傳感器模塊進(jìn)行收納，在底壁上，且于周緣部上形成有與中央部相比距開(kāi)口面的距離較小的第一接合面，并且接合部件以與第一接合面接觸的方式被配置。

此外，優(yōu)選為，傳感器模塊的露出面距底壁的外表面的高度，低于外殼的開(kāi)口面距底壁的外表面的高度。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于成為在將傳感器單元安裝在外部設(shè)備等被安裝面上時(shí)，只有外殼的上表面與被安裝面接觸的結(jié)構(gòu)，因此能夠通過(guò)接合部件而對(duì)從外部設(shè)備側(cè)向傳感器單元傳播的噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制。

此外，優(yōu)選為，外殼和傳感器模塊通過(guò)從被設(shè)置在底壁上的貫穿孔被插入的結(jié)合部件而被結(jié)合在一起。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)結(jié)合部件而牢固地對(duì)外殼和傳感器模塊進(jìn)行固定。此處，由于在外殼與傳感器模塊之間配置有接合部件，因此在由結(jié)合部件而實(shí)現(xiàn)的外殼與傳感器模塊的結(jié)合結(jié)構(gòu)中，能夠?qū)崿F(xiàn)抑制噪聲振動(dòng)從外殼向傳感器模塊的傳播并且提高氣密性這樣的效果。

此外，還優(yōu)選為，接合部件與外殼的側(cè)壁(或者底壁、或者作為底壁的一部分的第一接合面)解除并且也與側(cè)壁接觸。

此外，優(yōu)選為，傳感器模塊被構(gòu)成為，包括：慣性傳感器；基板，在其上安裝有慣性傳感器；內(nèi)殼，其搭載有基板，在內(nèi)殼中的與底壁對(duì)置的一側(cè)的周緣部上，形成有與接合部件重疊的第二接合面。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，用于采用使內(nèi)殼以套盒狀的方式嵌合于外殼中的結(jié)構(gòu)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型且堅(jiān)固的封裝件結(jié)構(gòu)。此外，由于采用使外殼、接合部件、內(nèi)殼(傳感器模塊)重疊的結(jié)構(gòu)，因此易于組裝且制造效率較好。

此外，優(yōu)選為，基板相對(duì)于內(nèi)殼而通過(guò)在固化狀態(tài)下具有彈性的粘合劑而被粘合。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于防振部件成為兩級(jí)結(jié)構(gòu)，因此能夠進(jìn)一步減少噪聲振動(dòng)的影響，從而能夠進(jìn)一步提高可靠性。

此外，優(yōu)選為，在基板上安裝有用于與外部連接的連接器，在內(nèi)殼上，以使連接器從外殼的開(kāi)口面向外部露出的方式形成有開(kāi)口部。

此外，優(yōu)選為，在內(nèi)殼上形成有凹部，在從所述基板的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)，在與所述凹部重疊的區(qū)域內(nèi)配置有所述慣性傳感器，并且在由所述基板以及所述凹部所形成的空間內(nèi)填充有填充部件，所述傳感器模塊經(jīng)由接合部件而與所述外殼的所述底壁接合。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在由搭載有慣性傳感器的基板與內(nèi)殼所構(gòu)成的傳感器模塊中，在通過(guò)基板和內(nèi)殼的凹部而形成的空間內(nèi)填充有填充部件。由此，使傳感器模塊的諧振頻率以從來(lái)自外部的噪聲振動(dòng)的頻帶偏離的方式進(jìn)行偏移，從而能夠減少噪聲振動(dòng)的影響。尤其在傳感器模塊中，由于在從基板的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)，在與凹部重疊的區(qū)域內(nèi)配置有慣性傳感器，因此能夠使慣性傳感器不易受到來(lái)自外部的噪聲振動(dòng)的影響。

因此，能夠提供一種不易受到噪聲振動(dòng)的影響且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元。

此外，優(yōu)選為，所述慣性傳感器的機(jī)體的至少一部分被配置在所述傳感器模塊的所述空間內(nèi)。

在本應(yīng)用例中，傳感器模塊的機(jī)體既指?jìng)鞲衅髂K主體，也指被搭載于基板上的狀態(tài)下的傳感器模塊的外形。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于慣性傳感器的至少一部分通過(guò)被填充于由基板和凹部所形成的空間內(nèi)的填充部件而被覆蓋，因此能夠更有效地抑制慣性傳感器受到來(lái)自外部的噪聲振動(dòng)的影響。

另外，由于采用了在由基板與凹部構(gòu)成的空間內(nèi)配置有慣性傳感器的機(jī)體整體或者機(jī)體的大部分的結(jié)構(gòu)，而變得更不易受到噪聲振動(dòng)的影響，因此更為優(yōu)選。

此外，所述傳感器單元的特征在于，在所述凹部的周緣的一部分上，形成有在所述內(nèi)殼的厚度方向上與所述凹部的凹底面相比較高的棚部。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在傳感器模塊的組裝工序中，在被填充于由傳感器模塊的基板和內(nèi)殼的凹部所形成的空間內(nèi)的填充部件多于空間的容積的情況下，過(guò)剩量的填充部件被收納于設(shè)置在凹部的周緣部上的棚部中。由此，能夠抑制過(guò)剩量的填充部件向不被期望的部分溢出。

因此，能夠提供一種在制造工序中易于對(duì)填充于凹部中的填充部件的填充量進(jìn)行管理的傳感器單元。

此外，優(yōu)選為，在從所述基板的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)，在與所述凹部重疊的區(qū)域內(nèi)形成有向所述凹部側(cè)開(kāi)口的槽部或貫穿孔部。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在傳感器模塊的組裝工序中，在被填充于由傳感器模塊的基板和內(nèi)殼的凹部所形成的空間內(nèi)的填充部件多于空間的容積的情況下，過(guò)剩量的填充部件被收納于基板的槽部或貫穿孔部中。由此，能夠抑制過(guò)剩量的填充部件向不被期望的部分溢出，并且能夠利用填充部件來(lái)填滿由基板和凹部所形成的空間。

因此，能夠提供一種易于對(duì)制造工序中的填充部件向凹部的填充量進(jìn)行管理、或者更顯著地獲得由填充部件而實(shí)現(xiàn)的噪聲振動(dòng)的影響的抑制效果的傳感器單元。

此外，優(yōu)選為，接合部件為橡膠、彈性體、多孔質(zhì)部件以及粘合劑中的任意一個(gè)。此外，優(yōu)選為，接合部件被配置有多個(gè)。

此外，優(yōu)選為，在外殼上形成有用于固定在被安裝體上的固定部。此外，優(yōu)選為，慣性傳感器具有多個(gè)，并且包括加速度傳感器和角速度傳感器。

上述傳感器單元也可以搭載于電子設(shè)備或者移動(dòng)體上。

附圖說(shuō)明

圖1為表示實(shí)施方式1所涉及的傳感器單元被固定在被安裝面上的狀態(tài)的立體圖。

圖2為表示從圖1的被安裝面?zhèn)葘?duì)傳感器單元的概要進(jìn)行觀察時(shí)的立體圖。

圖3為從與圖2相同的方向進(jìn)行觀察并表示的傳感器單元的分解立體圖。

圖4為基板的立體圖。

圖5為圖2的f-f截面處的立體圖。

圖6為從與圖1相同的方向進(jìn)行觀察時(shí)的傳感器單元的分解立體圖。

圖7為表示傳感器單元中的振動(dòng)傳遞抑制結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖8為表示被搭載于實(shí)施方式2所涉及的傳感器單元上的基板的俯視圖。

圖9為表示實(shí)施方式2所涉及的傳感器單元中的振動(dòng)傳遞抑制結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖10為改變例1所涉及的一個(gè)方式的剖視圖。

圖11為改變例1所涉及的一個(gè)方式的剖視圖。

圖12為改變例2所涉及的一個(gè)方式的剖視圖。

圖13為改變例2所涉及的一個(gè)方式的剖視圖。

圖14為改變例3所涉及的傳感器單元的立體圖。

圖15為改變例4所涉及的傳感器單元的分解立體圖。

圖16為改變例4所涉及的傳感器單元的剖視立體圖。

圖17為表示改變例5所涉及的傳感器單元的一個(gè)示例的剖視圖。

圖18為表示改變例5所涉及的傳感器單元的一個(gè)示例的剖視圖。

圖19為表示改變例6所涉及的傳感器單元被固定在被安裝面上的狀態(tài)的立體圖。

圖20為表示從圖19的被安裝面?zhèn)葘?duì)改變例6所涉及的傳感器單元的概要進(jìn)行觀察的立體圖。

圖21為表示從與19相同的方向?qū)Ω淖兝?所涉及的傳感器單元進(jìn)行觀察的分解立體圖。

圖22為表示改變例6所涉及的傳感器單元中的振動(dòng)傳遞抑制結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖23為表示改變例7所涉及的傳感器單元的一個(gè)示例的剖視圖。

圖24為表示電子設(shè)備的一個(gè)示例的外觀圖。

圖25為表示電子設(shè)備的一個(gè)示例的外觀圖。

圖26為表示移動(dòng)體的一個(gè)示例的外觀圖。

圖27為表示現(xiàn)有的封裝件結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖28為表示現(xiàn)有的封裝件結(jié)構(gòu)的一個(gè)示例的剖視圖。

圖29為表示現(xiàn)有的封裝件結(jié)構(gòu)的一個(gè)示例的剖視圖。

圖30為表示現(xiàn)有的封裝件結(jié)構(gòu)的一個(gè)示例的剖視圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，在以下的各個(gè)附圖中，為了將各個(gè)層或各個(gè)部件設(shè)為在附圖上能夠識(shí)別的程度的大小，而以使各個(gè)層或各個(gè)部件的縮尺與實(shí)際不同的方式進(jìn)行表示。

實(shí)施方式1

《傳感器單元的概要》

圖1為表示實(shí)施方式1所涉及的傳感器單元被固定在被安裝面上的狀態(tài)的立體圖。此外，圖2為從圖1的被安裝面?zhèn)冗M(jìn)行觀察并表示的傳感器單元的概要的立體圖。首先，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的傳感器單元100的概要進(jìn)行說(shuō)明。

在圖1中，傳感器單元100為對(duì)汽車或機(jī)器人等運(yùn)動(dòng)體(被安裝裝置)的姿態(tài)或動(dòng)作(慣性運(yùn)動(dòng)量)進(jìn)行檢測(cè)的慣性測(cè)量裝置(IMU：Inertial Measurement Unit：慣性測(cè)量單元)。傳感器單元100作為具備3軸加速度傳感器和3軸角速度傳感器的、所謂的6軸運(yùn)動(dòng)傳感器而發(fā)揮功能。

傳感器單元100為平面形狀呈大致正方形的正方體，并且正方形的一邊的長(zhǎng)度尺寸為大約3cm、且厚度尺寸為大約1cm。在位于正方形的對(duì)角線方向上的兩處頂點(diǎn)附近，形成有作為固定部的螺紋孔2。在該兩處的螺紋孔2中穿過(guò)兩根螺栓70，從而將傳感器單元100固定在汽車等被安裝體(裝置)的被安裝面71上的狀態(tài)而使用。另外，上述尺寸為一個(gè)示例，通過(guò)部件的選定或設(shè)計(jì)改變，從而也能夠小型化為可搭載于例如智能手機(jī)或數(shù)碼照相機(jī)上的尺寸。

傳感器單元100采用了具有用于對(duì)從被安裝面71傳遞來(lái)的汽車的發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)等噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制的特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有的傳感器單元相比，實(shí)現(xiàn)了較高的可靠性和檢測(cè)精度的穩(wěn)定性。以下，對(duì)具有該特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，該結(jié)構(gòu)并不限定于具備6軸運(yùn)動(dòng)傳感器的IMU，只要是具備慣性傳感器的單元或者設(shè)備即可應(yīng)用。

如圖2所示，在傳感器單元100的從被安裝面?zhèn)冗M(jìn)行觀察的表面上形成有開(kāi)口部21。在開(kāi)口部21的內(nèi)部(內(nèi)側(cè))配置有插頭型(插入式)的連接器16。連接器16具有多個(gè)銷，并且多個(gè)銷面向圖2而在橫向上延伸地被配置。另外，在以下的說(shuō)明中，將該多個(gè)銷的延伸方向設(shè)為X軸方向。換言之，在傳感器單元100的正方形形狀中，將面向圖2而成為橫向的邊的延伸方向設(shè)為X軸方向。此外，將在正方形形狀中與X軸方向正交的方向的邊的延伸方向設(shè)為Y軸方向。而且，將傳感器單元100的厚度方向設(shè)為Z軸方向而進(jìn)行說(shuō)明。

在連接器16上，從被安裝裝置被連接插座型(被插入式)的連接器(未圖示)，從而在二者之間實(shí)施傳感器單元100的電力或檢測(cè)數(shù)據(jù)等電信號(hào)的發(fā)送接收。

《傳感器單元的結(jié)構(gòu)》

圖3為從與圖2相同的方向進(jìn)行觀察而表示的傳感器單元的分解立體圖。

接著，以圖3為主體并且適當(dāng)?shù)亟Y(jié)合圖1及圖2而對(duì)傳感器單元的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

如圖3所示，傳感器單元100由外殼1、接合部件10、傳感器模塊25等而構(gòu)成。換言之，成為使介于接合部件10而將傳感器模塊25嵌合(插入)于外殼1的內(nèi)部3的結(jié)構(gòu)。傳感器模塊25由內(nèi)殼20和基板15構(gòu)成。另外，雖然為了便于理解說(shuō)明而將部位名稱設(shè)為外殼、內(nèi)殼，但也可以改稱為第一殼體、第二殼體。

外殼1為將鋁切削為箱狀的基座。材質(zhì)并不限定于鋁，也可以使用鋅或不銹鋼等其他的金屬、樹(shù)脂、或者金屬與樹(shù)脂的復(fù)合材料等。外殼1的外形與上述的傳感器單元100的整體形狀同樣地，平面形狀呈大致正方形的正方體，并且在位于正方形的對(duì)角線方向上的兩處頂點(diǎn)附近分別形成有螺紋孔2。另外，并不限定于螺紋孔2，例如既可以采用形成能夠通過(guò)螺栓而進(jìn)行螺紋固定的切口(在螺紋孔2的外殼1角部上形成切口的結(jié)構(gòu))從而進(jìn)行螺紋固定的結(jié)構(gòu)，或者，也可以采用在外殼1的側(cè)面上形成凸緣(耳)，并對(duì)凸緣部分進(jìn)行螺紋固定的結(jié)構(gòu)。但是，在將前者的切口孔設(shè)為固定部而進(jìn)行螺紋固定的情況下，當(dāng)切口孔的切口與螺栓直徑相比而開(kāi)得較大時(shí)，在進(jìn)行螺紋固定時(shí)螺栓將會(huì)從切口中偏移出而發(fā)生傾斜，從而存在螺紋固定的固定易于偏移、或者因偏移的螺栓而外殼的切口孔部分發(fā)生變形或被刮掉的可能。因此，在作為固定部而設(shè)置切口孔的情況下，優(yōu)選為將切口孔的切口設(shè)置為小于螺栓的直徑。

外殼1為外形呈正方體且無(wú)蓋的箱狀，并且其內(nèi)部3(內(nèi)側(cè))成為被底壁5和側(cè)壁4所包圍而成的內(nèi)部空間(容器)。換言之，外殼1呈將與底壁5對(duì)置的一面設(shè)為開(kāi)口面的箱狀，并且以幾乎覆蓋該開(kāi)口面的開(kāi)口部的方式(以堵塞開(kāi)口部的方式)收納有傳感器模塊25，并且傳感器模塊25成為從開(kāi)口部露出的狀態(tài)(參照?qǐng)D2)。此處，與底壁5對(duì)置的開(kāi)口面是指，與外殼1的上表面7為同一面。此外，外殼1的內(nèi)部3的平面形狀為對(duì)正方形的兩個(gè)頂點(diǎn)部分的角進(jìn)行倒角而成的六邊形，并且被實(shí)施了倒角的兩個(gè)頂點(diǎn)部分與螺紋孔2的位置相對(duì)應(yīng)。此外，在內(nèi)部3的截面形狀(厚度方向)中，在底壁5上，于內(nèi)部3即內(nèi)部空間中的周緣部上形成有與中央部相比高一階的作為底壁的第一接合面6。即，第一接合面6為底壁5的一部分，并且為在平面上包圍底壁5的中央部而被形成為環(huán)狀的一階的階梯狀的部位，并且為與底壁5相比距開(kāi)口面(與上表面7為同一面)的距離較小的表面。

另外，雖然對(duì)外殼1的外形為平面形狀呈大致正方形的正方體且無(wú)蓋的箱狀的一個(gè)示例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此，外殼1的外形的平面形狀例如既可以為六邊形或八邊形等多邊形，也可以采用該多邊形的頂點(diǎn)部分的角被進(jìn)行了倒角或者各邊為曲線的平面形狀。此外，外殼1的內(nèi)部3(內(nèi)側(cè))的平面形狀也并不限定于上述的六邊形，也可以為正方形等方形(四邊形)或八邊形等其他的多邊形狀。此外，外殼1的外形與內(nèi)部3的平面形狀既可以為相似形狀，也可以為非相似形狀。

內(nèi)殼20為對(duì)基板15進(jìn)行支承的部件，并且成為被收納于外殼1的內(nèi)部3中的形狀。詳細(xì)而言，在平面上呈對(duì)正方形的兩個(gè)頂點(diǎn)部分的角進(jìn)行了倒角而成的六邊形，并且在其中形成有作為長(zhǎng)方形的貫穿孔的開(kāi)口部21、和被設(shè)置在對(duì)基板15進(jìn)行支承的一側(cè)的面上的凹部31。被進(jìn)行了倒角的兩個(gè)頂點(diǎn)部分與外殼1的螺紋孔2的位置相對(duì)應(yīng)。厚度方向(Z軸方向)低于從外殼1的上表面7起至第一接合面6為止的高度。雖然在優(yōu)選示例中，內(nèi)殼20也通過(guò)對(duì)鋁進(jìn)行切削而形成，但與外殼1同樣地也可以使用其他的材質(zhì)。

在內(nèi)殼20的背面(外殼1側(cè)的面)上，形成有用于對(duì)基板15進(jìn)行定位的引導(dǎo)銷和支承面(均未圖示)?；?5被安置(定位搭載)在該引導(dǎo)銷和支承面上而與內(nèi)殼20的背面粘合。另外，關(guān)于基板15的詳細(xì)內(nèi)容將在后文中進(jìn)行敘述。內(nèi)殼20的背面的周緣部成為由環(huán)狀的平面構(gòu)成的第二接合面22。第二接合面22為在平面上與外殼1的第一接合面6大致相同的形狀，并且在將內(nèi)殼20安置于外殼1中時(shí)，兩個(gè)面以對(duì)接合部件10進(jìn)行夾持的狀態(tài)而相對(duì)。另外，外殼1及內(nèi)殼20的結(jié)構(gòu)為一個(gè)實(shí)施例，并不限定于該結(jié)構(gòu)。

《傳感器基板的結(jié)構(gòu)》

圖4為基板的立體圖。

接著，對(duì)安裝有慣性傳感器的基板15的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明?；?5為形成有多個(gè)通孔的多層基板，并且使用玻璃環(huán)氧樹(shù)脂基板。另外，并不限定于玻璃環(huán)氧樹(shù)脂基板，只有是能夠安裝多個(gè)慣性傳感器、電子部件、連接器等的剛性基板即可。例如，也可以使用復(fù)合基板或陶瓷基板。

在基板15的表面(內(nèi)殼20側(cè)的面)上安裝有連接器16、角速度傳感器17z、加速度傳感器18等。連接器16為插頭型(插入式)的連接器，并且具備在X軸方向上以等間距的方式而被配置的兩列連接端子。雖然優(yōu)選為采用1列10銷而總計(jì)20銷的連接端子，但端子數(shù)量也可以根據(jù)設(shè)計(jì)規(guī)格而進(jìn)行適當(dāng)改變。

作為慣性傳感器的角速度傳感器17z為對(duì)Z軸方向上的一個(gè)軸的角速度進(jìn)行檢測(cè)的陀螺傳感器。作為優(yōu)選示例，而使用振動(dòng)陀螺傳感器，所述振動(dòng)陀螺傳感器以水晶作為振子來(lái)使用，并且根據(jù)向進(jìn)行振動(dòng)的物體所施加的科里奧利力而對(duì)角速度進(jìn)行檢測(cè)。另外，并不限定于振動(dòng)陀螺傳感器，只要為能夠?qū)撬俣冗M(jìn)行檢測(cè)的傳感器即可。例如，也可以利用作為振子而使用了陶瓷或硅的傳感器。

此外，在基板15的X軸方向的側(cè)面上，以安裝面(搭載面)與X軸正交的方式安裝有對(duì)X軸方向上的一個(gè)軸的角速度進(jìn)行檢測(cè)的角速度傳感器17x。同樣地，在基板15的Y軸方向的側(cè)面上，以安裝面(搭載面)與Y軸正交的方式安裝有對(duì)Y軸方向上的一個(gè)軸的角速度進(jìn)行檢測(cè)的角速度傳感器17y。另外，并不限定于使用針對(duì)每個(gè)軸的三個(gè)角速度傳感器的結(jié)構(gòu)，只要為能夠?qū)θ齻€(gè)軸的角速度進(jìn)行檢測(cè)的傳感器即可，例如，如后述的加速度傳感器18那樣，也可以使用通過(guò)一個(gè)設(shè)備(封裝件)而能夠檢測(cè)(測(cè)量)三個(gè)軸的角速度的傳感器設(shè)備。

作為慣性傳感器的加速度傳感器18，使用了能夠通過(guò)一個(gè)設(shè)備而對(duì)X軸、Y軸、Z軸這三個(gè)方向(三個(gè)軸)的加速度進(jìn)行檢測(cè)(測(cè)量)的、通過(guò)MEMS技術(shù)而對(duì)硅基板進(jìn)行了加工的靜電電容型的加速度傳感器。另外，并不限定于該傳感器，只要為能夠?qū)铀俣冗M(jìn)行檢測(cè)的傳感器即可。例如，也可以為壓電電阻型加速度傳感器或熱檢測(cè)型加速度傳感器，或者，如前述的角速度傳感器那樣，也可以采用針對(duì)每個(gè)軸而設(shè)置一個(gè)加速度傳感器的結(jié)構(gòu)。

在基板15的背面(外殼1側(cè)的面)上安裝有控制IC19。

控制IC19為MCU(Micro Controller Unit：微控制單元)，并內(nèi)置有包括非易失性存儲(chǔ)器在內(nèi)的存儲(chǔ)器或A/D轉(zhuǎn)換器等，并且對(duì)傳感器單元100的各部進(jìn)行控制。在存儲(chǔ)部中，存儲(chǔ)有用于規(guī)定對(duì)加速度以及角速度進(jìn)行檢測(cè)的順序和內(nèi)容的程序、或者將檢測(cè)數(shù)據(jù)數(shù)字化并裝入數(shù)據(jù)包中的程序、所附隨的數(shù)據(jù)等。另外，在基板15上，安裝有多個(gè)其他的電子部件。

《各個(gè)部分的接合結(jié)構(gòu)》

圖5為圖2的f-f截面處的傳感器單元的剖視立體圖。

接著，適當(dāng)?shù)亟Y(jié)合圖3，對(duì)傳感器單元100的具有特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)的主要部分進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

首先，基板15相對(duì)于內(nèi)殼20通過(guò)在硬化后的固化狀態(tài)下具有彈性的(具備柔韌性的)粘合劑(未圖示)而被粘合在一起。作為優(yōu)選示例，使用硅酮橡膠系的粘合劑。另外，并不限定于硅酮橡膠系，只要為在固化狀態(tài)下與外殼1相比具有柔韌性的粘合劑即可，也可以使用常溫硬化型、二劑混合型、熱硬化型、紫外線硬化型、或者它們的復(fù)合型。例如，也可以使用橡膠系粘合劑或熱熔粘合劑(結(jié)合劑)來(lái)進(jìn)行粘合固定。此外，由于連接器16的周圍也無(wú)間隙地被涂敷有粘合劑，因此確保了與外部空氣(外部)之間的氣密性(密封性)，從而防止外部空氣向基板15里側(cè)的進(jìn)入。

在由基板15和內(nèi)殼20的凹部31所形成的空間內(nèi)，被填充并固化有填充部件50。在從基板15的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)，在與凹部31重疊的區(qū)域內(nèi)配置有加速度傳感器18和角速度傳感器17y等慣性傳感器，并且以這些慣性傳感器的機(jī)體的一部分或全部被填充部件50覆蓋的方式而被配置，詳細(xì)內(nèi)容將在后文進(jìn)行敘述。此處，慣性傳感器的機(jī)體是指慣性傳感器主體，并且是指被搭載于基板15上的狀態(tài)下的慣性傳感器的外形。此外，雖然填充部件50例如能夠優(yōu)選使用在半導(dǎo)體安裝中所使用的模型材料等，但是將與基板15的剛性等物理性質(zhì)或搭載于基板15上的慣性傳感器等電子部件的物理性質(zhì)或規(guī)格等相對(duì)應(yīng)的適當(dāng)?shù)奈镔|(zhì)作為填充部件50，也能夠使用與上述的對(duì)內(nèi)殼20與基板15進(jìn)行粘合的粘合劑同樣地，在硬化后的固化狀態(tài)下具有預(yù)定的彈性的粘合劑等各種類型的粘合劑。

如上文所述，在基板15的與內(nèi)殼20粘合的一側(cè)的面上形成有，配置有連接器16的第一區(qū)域和配置有多個(gè)慣性傳感器(17y、18等)的第二區(qū)域。而且，在第一區(qū)域中，連接器16從內(nèi)殼20的開(kāi)口部露出，并且以防止水、空氣進(jìn)入第二區(qū)域的方式使連接器16的周圍的基板15部分通過(guò)粘合劑而與內(nèi)殼20被粘合。此外，雖然第二區(qū)域與內(nèi)殼20的凹部31之間形成空間，但當(dāng)形成利用填充部件50而被填滿的封閉空間時(shí)慣性傳感器(17y、18等)將會(huì)受到由于填充部件50與基板15的熱膨脹率的不同而產(chǎn)生的壓縮應(yīng)力等從而引起輸出變動(dòng)，因此不優(yōu)選。因此，優(yōu)選為，在第二區(qū)域內(nèi)形成有將內(nèi)殼20側(cè)與外殼1側(cè)連通的連通通道。

如圖3所示，接合部件10為呈沿著外殼1的第一接合面6的環(huán)狀的平面形狀、且1mm左右的厚度的密封圈(墊圈)。作為優(yōu)選示例，采用了利用專門(mén)的金屬模具且以壓縮成型法而形成的、截面為橢圓形狀的密封圈。另外，截面形狀既可以為圓形形狀，也可以為長(zhǎng)方形狀。作為優(yōu)選示例而使用具有自我粘合性的硅酮橡膠制的密封圈。由于該密封圈含浸有硅酮橡膠系的粘合劑，因此實(shí)現(xiàn)了對(duì)外殼1的第一接合面6與內(nèi)殼20的第二接合面22進(jìn)行粘合(接合)的作用。另外，并不限定于該結(jié)構(gòu)，接合部件10只要為與外殼1相比彈性率較小的材質(zhì)即可。例如，既可以使用橡膠或彈性體，也可以使用海綿這樣的多孔質(zhì)部件。此外，既可以利用這些材料來(lái)形成密封圈并在組裝時(shí)涂敷粘合劑而使具有粘合性，也可以通過(guò)使這些材料具有自我粘著性、自我粘合性、粘性而使具有粘合性。例如，作為接合部件10而能夠適用具有自我粘著性的硅酮凝膠貼。

或者，也可以使用上述的基板15用的粘合劑。例如，也可以采用如下方式，即，在內(nèi)殼20的第二接合面22上，在通過(guò)噴墨法等而涂敷了熱硬化型的粘合劑之后，進(jìn)行初次(初步)硬化而形成半硬化狀態(tài)的接合部件10，并且在裝入外殼1之后，進(jìn)行二次(主要)硬化。在優(yōu)選示例中，由于外殼1和內(nèi)殼20均使用了熱傳導(dǎo)性良好的鋁，因此即使在組裝后，也能夠高效地對(duì)接合部件10進(jìn)行硬化。

返回至圖5。

當(dāng)將傳感器模塊25(內(nèi)殼20)裝入外殼1時(shí)，成為通過(guò)外殼1的第一接合面6和內(nèi)殼20的第二接合面22而夾住接合部件10的狀態(tài)。詳細(xì)而言，成為利用兩個(gè)面而對(duì)接合部件10進(jìn)行壓縮，從而略微壓潰了的狀態(tài)。換言之，成為第一接合面6、接合部件10和第二接合面22相互重合的結(jié)構(gòu)。

在此，如圖5所示，在內(nèi)殼20的外形與外殼1之間，跨及整個(gè)圓周而形成有固定的間隙。換言之，內(nèi)殼20與外殼1僅介于接合部件10而被接合在一起。此外，傳感器模塊25(內(nèi)殼20)的上表面27的高度與外殼1的上表面7相比較低。換言之，內(nèi)殼20相對(duì)于外殼1以上下抽插的盒蓋的方式被嵌合。這些間隙或內(nèi)殼20的厚度的設(shè)定在設(shè)計(jì)階段中根據(jù)意圖來(lái)確定。另外，對(duì)傳感器單元100中的傳感器模塊25的上表面27與外殼1的上表面7之間的高度關(guān)系、及其效果等的詳細(xì)內(nèi)容將在后文中進(jìn)行敘述。

圖6為從與圖1相同的方向?qū)鞲衅鲉卧?00進(jìn)行觀察時(shí)的分解立體圖。此外，圖7為表示傳感器單元100中的振動(dòng)(噪聲振動(dòng))傳遞抑制結(jié)構(gòu)的剖視圖。以下，利用這些附圖，對(duì)本實(shí)施方式的傳感器單元100所具有的噪聲振動(dòng)的傳遞抑制結(jié)構(gòu)等進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

如圖6所示，在使由內(nèi)殼20和基板15構(gòu)成的傳感器模塊25與外殼1以?shī)A有接合部件的方式進(jìn)行了嵌合的傳感器單元100中，傳感器模塊25和外殼1通過(guò)作為結(jié)合部件的螺栓170而被結(jié)合(固定)在一起。雖然在本實(shí)施方式中，作為結(jié)合部件而使用有兩根螺栓170，但螺栓170的數(shù)量并不限定于此。此外，兩根螺栓170從底面8側(cè)插入至被設(shè)置于外殼1上的貫穿孔9中，并隔著接合部件10及基板15，而被螺紋固定在內(nèi)殼20上。

另外，在作為用于內(nèi)殼20與基板15的粘合的粘合劑而使用了作為固化后具有彈性的樹(shù)脂的粘合劑的情況下，通過(guò)由螺栓170實(shí)施的螺紋緊固而固化后的粘合劑被壓縮從而進(jìn)一步提高氣密性。

在下文中，對(duì)以上所說(shuō)明的傳感器單元100的各個(gè)部分的結(jié)合結(jié)構(gòu)以及該結(jié)合結(jié)構(gòu)中的噪聲振動(dòng)的傳遞抑制結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

在圖7中，在外殼1的底面8側(cè)上設(shè)置有螺栓170用的貫穿孔9。在本實(shí)施方式中，在外殼1的底面8的對(duì)角附近設(shè)置有兩個(gè)貫穿孔9(參照?qǐng)D6)。在接合部件10的俯視觀察時(shí)與貫穿孔9重疊的位置處設(shè)置有貫穿孔，并且在內(nèi)殼20的俯視觀察時(shí)與貫穿孔9重疊的位置處形成有螺紋孔29。而且，通過(guò)從外殼1的貫穿孔9被插入的作為結(jié)合部件的螺栓170與內(nèi)殼20的螺紋孔29螺紋緊固，從而傳感器模塊25經(jīng)由接合部件10(彈性部件)而被結(jié)合固定在外殼1內(nèi)。在此，在外殼1的貫穿孔9形成部分的底面8側(cè)上形成有對(duì)螺栓170的螺栓頭進(jìn)行收納的凹部，并且在該凹部中，螺栓170經(jīng)由彈性部件310而被插入至外殼1的貫穿孔9中。此外，以結(jié)合狀態(tài)的螺栓170的螺栓頭與底面8相比不向外側(cè)突出的方式而對(duì)凹部的深度進(jìn)行設(shè)定。另外，彈性部件310只要為與外殼1相比彈性率較小的材質(zhì)即可。例如，既可以使用橡膠或彈性體，也可以使用海綿這樣的多孔質(zhì)部件。

此外，如圖7所示，在于內(nèi)殼20上粘合有基板15的傳感器模塊25中，在從基板15的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)，在與凹部31重疊的區(qū)域內(nèi)配置有各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)。在本實(shí)施方式中，各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)的機(jī)體的一部分或者全部被配置在由凹部31及基板15所形成的空間內(nèi)。而且，在由基板15及凹部31所形成的空間內(nèi)，填充并固化有填充部件50。在此，希望設(shè)為通過(guò)填充在由基板15及凹部31所形成的空間(凹部空間)內(nèi)的填充部件50，而凹部31空間內(nèi)的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)或其他的電子元件等的機(jī)體的盡量較多的部分被填充部件50覆蓋的狀態(tài)。在本實(shí)施方式中，作為橫置的慣性傳感器的角速度傳感器17z及加速度傳感器18的整個(gè)機(jī)體被填充部件50覆蓋，而作為縱置的慣性傳感器的角速度傳感器17x、17y的機(jī)體的一半左右被粘合劑覆蓋。通過(guò)利用以上所述的在凹部31空間內(nèi)填充有填充部件50的結(jié)構(gòu)，而使基板15以及被安裝在該基板15上的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)的一部分或全部被填充部件50覆蓋，從而與沒(méi)有填充部件50的情況相比，使傳感器模塊25整體的諧振頻率從來(lái)自外部的噪聲振動(dòng)的頻帶偏移。

此外，在圖7中，介于外殼1與傳感器模塊25的內(nèi)殼20之間的接合部件10被配置為，與作為外殼1的底壁5的一部分的第一接合面6接觸，并且也與從第一接合面6(底壁5)起直立的側(cè)壁4接觸。即，接合部件10被形成為截面呈L字狀(曲柄狀)。

此外，如圖7所示，在將傳感器模塊25收納于外殼1中的狀態(tài)下，傳感器模塊25的上表面(即，內(nèi)殼20的底面)27的高度與外殼1的上表面7的高度相比而較低。換言之，在將傳感器模塊25收納于外殼1中的狀態(tài)下的傳感器單元100中，從外殼1露出的傳感器模塊25的露出面(上表面27)的、距底壁5的外表面(外殼1的底面8)的高度，與外殼1的開(kāi)口面(與上表面7為同一面)的、距底壁5的外表面(底面8)的高度相比而較低。另外，在圖7所示的結(jié)構(gòu)中，由于接合部件10由彈性部件而構(gòu)成，因此傳感器模塊25的上表面27的高度相對(duì)于外殼1的上表面7的高度，在傳感器單元100的組裝工序中，能夠通過(guò)螺栓170的緊固扭矩而進(jìn)行調(diào)節(jié)。

如上文所述，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的傳感器單元100，能夠獲得以下的效果。

在本實(shí)施方式的傳感器單元100中，在包括搭載了基板15的內(nèi)殼20的傳感器模塊25中，且在基板15上搭載有各種慣性傳感器(17x、17y、17z、18)等的所述傳感器模塊25中，在內(nèi)殼20上形成有凹部31，在從基板15的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)在與凹部31重疊的區(qū)域內(nèi)配置有各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)。尤其在本實(shí)施方式中，各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)的機(jī)體的一部分或者全部被配置在由基板15及凹部31所形成的空間內(nèi)。而且，采用了如下的結(jié)構(gòu)，即，在由基板15及凹部31所形成的空間內(nèi)填充填充部件50并使其固化。

由此，被搭載于基板15上的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)通過(guò)被填充至凹部31中的填充部件50而被覆蓋，并使包含基板15和內(nèi)殼20而被構(gòu)成的傳感器模塊25的諧振頻率以從來(lái)自外部的噪聲振動(dòng)的頻帶錯(cuò)開(kāi)的方式偏移，從而能夠減少來(lái)自外部的噪聲振動(dòng)的影響。因此，由于能夠使傳感器模塊25中的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)不易受到來(lái)自外部的噪聲振動(dòng)的影響，因此即使針對(duì)具有較大的振動(dòng)的被檢測(cè)物，也能夠提供可保持穩(wěn)定的檢測(cè)精度的傳感器單元100。

此外，傳感器模塊25(內(nèi)殼20)經(jīng)由接合部件10而與作為外殼1的底壁5的一部分的第一接合面6接合。由于內(nèi)殼20被設(shè)定為在裝入外殼1時(shí)跨及整個(gè)圓周而形成固定的間隙的尺寸，因此成為二者僅經(jīng)由接合部件10而被接合的結(jié)構(gòu)。

在此，由于接合部件10以與外殼1相比彈性率較小的((具有)柔韌性)材質(zhì)而構(gòu)成，因此發(fā)揮對(duì)從外殼1傳遞來(lái)的噪聲振動(dòng)進(jìn)行吸收(衰減)的作用。換言之，接合部件10作為具有防振性的防振部件而抑制了噪聲振動(dòng)到達(dá)內(nèi)殼20的情況?；蛘?，也可以改稱為對(duì)噪聲振動(dòng)進(jìn)行緩和的緩沖部件。特別是，由于利用了MEMS技術(shù)的慣性傳感器為具備梳齒狀的電極構(gòu)造等的微小機(jī)械，因此針對(duì)由該構(gòu)造而產(chǎn)生的固有的諧振頻率成分的振動(dòng)而示出較大的反應(yīng)，并且可能在測(cè)量結(jié)果中包含噪聲，但根據(jù)該結(jié)構(gòu)，也能夠可靠地對(duì)噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制。

此外，由于傳感器模塊25(內(nèi)殼20)的上表面27的高度與外殼1的上表面7相比而較低且以上下抽插的盒蓋狀地被收納，因此，例如，即使在使內(nèi)殼20側(cè)朝向被安裝裝置而進(jìn)行固定的情況下，由于內(nèi)殼20不與被安裝面接觸，因此能夠防止噪聲振動(dòng)的傳播。因此，能夠提供一種即使垂直(上下)反轉(zhuǎn)也可以使用的好用的傳感器單元100。

此外，根據(jù)上述實(shí)施方式的傳感器單元100，采用了如下的結(jié)構(gòu)，即，外殼1和傳感器模塊25通過(guò)從被設(shè)置于外殼1上的貫穿孔9被插入的螺栓170而被結(jié)合在一起，并且在外殼1與傳感器模塊25之間配置有作為彈性部件的接合部件10，以及，在螺栓170的螺栓頭與外殼1之間配置有彈性部件310。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)在外殼1與傳感器模塊25之間配置有具有彈性的接合部件10以及彈性部件310，從而在由螺栓170實(shí)施的外殼1與傳感器模塊25的結(jié)合結(jié)構(gòu)中，能夠更可靠地抑制從外殼1向傳感器模塊25的噪聲振動(dòng)的傳播。

此外，接合部件10采用了如下的結(jié)構(gòu)，即，與作為外殼1的底壁5的一部分的第一接合面6接觸，并且也與從該第一接合面6起直立的側(cè)壁4接觸。由此，能夠?qū)τ蓚鞲衅髂K25與外殼1的側(cè)壁4接觸而導(dǎo)致的噪聲振動(dòng)的傳播進(jìn)行抑制，并且在組裝工序中，通過(guò)將接合部件10作為傳感器模塊25相對(duì)于外殼1的定位導(dǎo)向部而使用，從而能夠期待使組裝的操作性提高的效果。

另外，由于采用了將通過(guò)切削加工或金屬模具而精度良好地形成的外殼1、接合部件10、內(nèi)殼20按照該順序而重疊地組裝的結(jié)構(gòu)，因此不同于如現(xiàn)有技術(shù)那樣將慣性傳感器設(shè)為懸吊狀態(tài)的結(jié)構(gòu)，從而能夠精度良好地對(duì)搭載有慣性傳感器的基板15(傳感器模塊25)進(jìn)行定位。換言之，慣性傳感器的位置總是較為穩(wěn)定。此外，重疊地組裝的結(jié)構(gòu)易于操作且制造效率較高。

因此，根據(jù)傳感器單元100，由于慣性傳感器的位置較為穩(wěn)定因此可靠性較高，并且由于具備了具有防振性的接合部件10因此不易受到噪聲振動(dòng)的影響，從而檢測(cè)精度較為穩(wěn)定。

因此，能夠提供可靠性較高且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元100。此外，由于采用在鋁制的外殼1中使同樣為鋁制的內(nèi)殼20以套盒狀的方式進(jìn)行嵌合的結(jié)構(gòu)，因此能夠成為小型(緊湊)且堅(jiān)固(牢固)的封裝件結(jié)構(gòu)。因此，能夠提供設(shè)置場(chǎng)所的選項(xiàng)較廣泛且耐久性優(yōu)異的傳感器單元100。

另外，作為接合部件10而使用了氣密性優(yōu)異的硅酮橡膠制的密封圈。由此，接合部件10不僅對(duì)外殼1的第一接合面6和內(nèi)殼20的第二接合面22進(jìn)行粘合，而且也確保了環(huán)狀的接合面的氣密性。此外，由于連接器16的周圍也無(wú)間隙地涂敷了粘合劑，因此也確保了內(nèi)殼20的開(kāi)口部21的氣密性。通過(guò)這些結(jié)構(gòu)，從而傳感器單元100的內(nèi)部被確保了與外部的氣密性(防水性)。由此，傳感器單元100的內(nèi)部環(huán)境變得不易受到外部環(huán)境的影響，并且通常能夠在大致固定的穩(wěn)定的環(huán)境下實(shí)施慣性力的測(cè)量。換言之，可使用的環(huán)境條件變寬。

因此，能夠提供可使用的環(huán)境條件較寬且可靠性較高的傳感器單元100。另外，即使在使用了上述的接合部件10用的其他的材料的情況下也同樣能夠確保氣密性。

此外，由于基板15相對(duì)于內(nèi)殼20通過(guò)在固化狀態(tài)下具有彈性的(具有柔韌性)粘合劑而被粘合，因此該粘合劑也作為對(duì)從內(nèi)殼20向基板15的噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制的防振部件、緩沖部件而發(fā)揮功能。

由此，由于除了接合部件10以外，基板的粘合劑也作為防振部件、緩沖部件而發(fā)揮功能，因此能夠更有效地減少噪聲振動(dòng)。

因此，能夠提供可靠性更高且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元100。

(實(shí)施方式2)

圖8為表示被搭載于實(shí)施方式2所涉及的傳感器單元上的基板的俯視圖。此外，圖9為表示實(shí)施方式2所涉及的傳感器單元中的振動(dòng)傳遞抑制結(jié)構(gòu)的剖視圖。

以下，參照這些附圖，對(duì)實(shí)施方式2所涉及的傳感器單元的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)于與實(shí)施方式1相同的結(jié)構(gòu)部位使用相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。

在圖8中，被搭載于實(shí)施方式2所涉及的傳感器單元100B(參照?qǐng)D9)上的基板15′具有與上述實(shí)施方式1的傳感器單元100中的基板15(參照?qǐng)D4等)大致相同的結(jié)構(gòu)。在從實(shí)施方式2所涉及的基板15′的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)，在與凹部31重疊的區(qū)域內(nèi)形成有貫穿孔部90。雖然貫穿孔部90在本實(shí)施方式中被形成在安裝有各種慣性傳感器(17x、17y、17z、18)的區(qū)域的附近，但并不限定于此。貫穿孔部90也可以被設(shè)置在基板15′的基材的部分處，優(yōu)選為，形成在基板15′的外周中的、在由基板15及內(nèi)殼20的凹部31所形成的空間內(nèi)填充有填充部件50時(shí)當(dāng)產(chǎn)生填充部件50的溢出時(shí)發(fā)生障礙的位置的附近。

此外，關(guān)于貫穿孔部90的形狀或個(gè)數(shù)，也不限于圖8的貫穿孔部90的形狀或個(gè)數(shù)，從而能夠適當(dāng)?shù)匦纬韶灤┛撞康男螤罨騻€(gè)數(shù)。優(yōu)選為，只要將貫穿孔部90配置在基板15的俯視觀察時(shí)與至少一個(gè)慣性傳感器相比靠基板15的中央側(cè)即可，更優(yōu)選為，在由凹部31和基板15所形成的空間內(nèi)，相對(duì)于將內(nèi)殼20側(cè)和外殼1側(cè)連通的連通通道而位于隔著慣性傳感器的相反側(cè)。由此，由于在將填充部件50裝入到凹部31之后，且在搭載了安裝有慣性傳感器等的基板15時(shí)，除了作為空間的釋放部分的連通通道以外，填充部件50也向貫穿孔部90側(cè)移動(dòng)，因此在由基板15和凹部31所形成的空間內(nèi)填充部件50能夠均等地遍及，從而能夠通過(guò)填充部件50而均等地覆蓋慣性傳感器。

如圖9所示，在將基板15′搭載于內(nèi)殼20上的傳感器模塊25中，被填充于由基板15′及凹部31所形成的空間內(nèi)的填充部件50的、超過(guò)了空間的容積的部分被收納在貫穿孔部90中。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，從而在傳感器模塊25的組裝工序中，能夠獲得工序管理變得容易、或者防止填充部件50向無(wú)需填充部件的部位溢出等的不良情況的效果。以下，利用圖6而進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

在圖6中，在制造傳感器單元100時(shí)，采用如下工序，即，首先，在內(nèi)殼20上搭載(粘合)基板15而對(duì)傳感器模塊25進(jìn)行組裝，并且將該傳感器模塊25以使接合部件10介于中間的方式收納于外殼1中，并通過(guò)螺栓170而進(jìn)行螺紋緊固并固定。

如對(duì)該傳感器單元的組裝工序中的、組裝傳感器模塊25的工序進(jìn)行詳細(xì)敘述，則首先，將對(duì)上述的基板15與內(nèi)殼20進(jìn)行粘合的粘合劑涂敷在內(nèi)殼20或者基板15的預(yù)定的位置處，并且在內(nèi)殼20的凹部31內(nèi)填充預(yù)定量的填充部件50。而且，使內(nèi)殼20與基板15的位置對(duì)齊并重合，之后，使對(duì)基板15與內(nèi)殼20進(jìn)行粘合的粘合劑以及被填充于凹部31空間內(nèi)的填充部件50硬化。

在此，填充于內(nèi)殼20的凹部31內(nèi)的填充部件50的“預(yù)定量”優(yōu)選為，在內(nèi)殼20中搭載(粘合)了基板15′時(shí)，填充部件50以遍及被配置在由基板15及凹部31所形成的空間內(nèi)的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)或其他的電子部件等的間隙中的方式被填充，并且不存在從空間向外部溢出的多余量的填充部件50的量。換言之，從由基板15及凹部31所形成的空間的容積中減去被配置在空間內(nèi)的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)以及其他的電子元件等的合計(jì)的體積而得到的量稱為“預(yù)定量”。

例如，通過(guò)在對(duì)粘合劑的填充量進(jìn)行管理而填充的工序中通常所使用的分配器而實(shí)施填充部件50的填充的情況下，因周圍的溫度的變化或填充部件50的時(shí)效性地粘度變化等而填充部件50的填充量將會(huì)發(fā)生變化，因而無(wú)法準(zhǔn)確地管理填充量，從而可能出現(xiàn)填充部件50的填充不足或者填充部件50從凹部31空間向不被期望的部位溢出的情況。由于在本實(shí)施方式中，在基板15′的厚度方向上進(jìn)行俯視觀察時(shí)，在與凹部31重疊區(qū)域內(nèi)形成有貫穿孔部90，因此在向由基板15′及凹部31所形成的空間內(nèi)填充了填充部件50時(shí)，超過(guò)了凹部31空間的容積的過(guò)剩量的填充部件50被收納在貫穿孔部90內(nèi)。也就是說(shuō)，通過(guò)對(duì)由上述的分配器所實(shí)施的填充部件50噴出量的變化進(jìn)行預(yù)測(cè)，并在基板15′的基材的厚度內(nèi)的貫穿孔部90內(nèi)部的容積的范圍內(nèi)將填充部件50的噴出量設(shè)定得略微較多，從而能夠防止填充部件50的填充不足或者填充部件50向不需要的部位溢出的不良情況。

如上文所述，根據(jù)搭載有本實(shí)施方式所涉及的基板15′的傳感器單元100B，能夠提供除了實(shí)施方式1的效果以外還具有如下效果的傳感器單元100B，即，傳感器單元100B的組裝工序中的填充部件50的填充量的管理變得容易，并且由填充部件50實(shí)現(xiàn)的噪聲振動(dòng)的影響的抑制效果更為顯著。

此外，由于能夠從貫穿孔部90對(duì)填充部件50的填充狀態(tài)進(jìn)行識(shí)別，因此獲得填充部件50的噴出量管理或填充部件50的填充狀態(tài)這樣的品質(zhì)檢查較為容易的效果。

另外，雖然在本實(shí)施方式中對(duì)在基板15′上設(shè)置有貫穿孔部90的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此，也可以采用如下結(jié)構(gòu)，即，在從基板的厚度方向進(jìn)行觀察的俯視觀察時(shí)，在與凹部31重疊的區(qū)域內(nèi)，設(shè)置有在與凹部31對(duì)置的一側(cè)的面上開(kāi)口的槽部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在凹部31空間中未收盡的過(guò)剩的填充部件50被收納于槽部中，因此能夠獲得與上述貫穿孔部90大致相同的效果。

本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，也能夠在上述的實(shí)施方式上添加各種的改變或改良等。以下，對(duì)改變例進(jìn)行敘述。

(改變例1)

圖10及圖11為分別表示改變例1所涉及的傳感器單元的一個(gè)方式的剖視圖。

雖然在上述實(shí)施方式中對(duì)接合部件10僅為一個(gè)的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于該結(jié)構(gòu)，也可以使用多個(gè)。以下，對(duì)改變例1所涉及的傳感器單元進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。

例如，如圖10所示，改變例1的傳感器單元除了接合部件10以外，也可以在內(nèi)殼20上部(上表面)的周緣部上還配置接合部件11。在該情況下，也可以采用如下方式，即，將接合部件10設(shè)為多孔質(zhì)部件，將接合部件11設(shè)為截面呈L字狀(曲柄狀)且硅酮橡膠制。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)以利用接合部件10而確保防振性并且利用接合部件11而確保氣密性這樣的方式，而補(bǔ)充地使用將材料的特性活用的兩個(gè)部件，從而能夠確保所需的防振性和氣密性。另外，通過(guò)在接合部件10、11這兩個(gè)位置處均進(jìn)行粘合，從而能夠?qū)?nèi)殼20(傳感器模塊)相對(duì)于外殼1更可靠地進(jìn)行粘合。

此外，并不限定于在內(nèi)殼20上部配置截面呈L字狀的接合部件11的結(jié)構(gòu)，也可以在其他的部分上配置接合部件。例如，如圖11所示，也可以在內(nèi)殼20的側(cè)面的周圍上形成槽，并在該槽內(nèi)配置接合部件12。該結(jié)構(gòu)也同樣地能夠確保所需的防振性及氣密性。另外，由于接合部件12的截面也可以為簡(jiǎn)單的圓形、并且從外部看不到接合部件12，因此不必?fù)?dān)心有損于美觀。此外，雖然對(duì)接合部件10被配置在作為在底壁5上與中央部相比高一階的周緣部的第一接合面6上的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此，只要是配置在外殼1與內(nèi)殼20相對(duì)的部分處的結(jié)構(gòu)即可。例如，作為在底壁5上不形成第一接合面6的條件下由側(cè)壁4和底壁5構(gòu)成的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，也可以在底壁5的周緣部上直接配置接合部件10。

(改變例2)

圖12及圖13為改變例2所涉及的一個(gè)方式的局部放大剖視圖。具體而言，將圖7的傳感器單元100中的基板15的連接器16安裝部分上下顛倒地放大表示。

在上述實(shí)施方式的傳感器單元100中，在基板15上安裝有用于與外部連接的連接器16，在內(nèi)殼20上形成有用于使連接器16向外部露出的開(kāi)口部21。在該結(jié)構(gòu)中，連接器16上，從作為外部設(shè)備的被安裝裝置被連接插座型(被插入式)的連接器，當(dāng)通過(guò)錫焊等而在基板15上安裝連接器16的外部連接端子時(shí)，被安裝裝置上所產(chǎn)生的噪聲振動(dòng)可能經(jīng)由連接器16而向傳感器模塊傳播。作為避免這種不良情況的結(jié)構(gòu)，例如，如圖12所示，經(jīng)由彈性部件210而將連接器16定位并固定在基板15上，并且利用柔性基板或覆蓋電纜等柔性配線部件215而實(shí)施連接器16與基板15之間的電連接。

此外，如圖13所示，也可以采用如下結(jié)構(gòu)，即，通過(guò)柔性配線部件216而對(duì)基板15和連接器16進(jìn)行連接，而不實(shí)施基板15相對(duì)于連接器16的機(jī)械上的固定。以上，通過(guò)利用上述的方法而實(shí)現(xiàn)基板15與連接器16的接合并連接結(jié)構(gòu)，從而降低噪聲振動(dòng)從連接器16傳遞來(lái)的可能性。因此，能夠提供檢測(cè)精度的穩(wěn)定性及可靠性較高且能夠在被安裝裝置之間實(shí)施可靠的通信動(dòng)作的傳感器單元100。

(改變例3)

圖14為改變例3所涉及的傳感器單元的立體圖。另外，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。

圖14所示的傳感器單元100C通過(guò)對(duì)鋁、鋅、不銹鋼等金屬進(jìn)行切削而被形成，并且形成有外殼1的外表面的大部分被絕緣性的涂料涂裝了的涂裝面82。涂裝面82以傳感器單元100C的外觀的裝飾、或抑制外殼1的表面的氧化或磨損等的表面保護(hù)、或者絕緣等作為目的而被實(shí)施。

此外，在作為平面形狀呈大致正方形的正方體的外殼1的正方形的平面上，從被形成在位于對(duì)角線方向上的兩處頂點(diǎn)附近的螺孔2的邊緣至其周圍部分，形成有涂裝面82的開(kāi)口部、且底層的金屬面露出了的露出部81。本實(shí)施方式的露出部81，僅在呈大致正方形的平面的四個(gè)角部之中的一個(gè)角部的螺紋孔2周圍的區(qū)域內(nèi)形成有露出部81。將金屬制的兩根螺栓70穿過(guò)形成有該露出部81的角部與位于平面上的對(duì)角線方向上的角部這兩個(gè)螺孔2中，從而傳感器單元100C被固定并使用于汽車等被安裝體(裝置)的被安裝面71上。

根據(jù)本改變例的傳感器單元100C，由于通過(guò)在被安裝體上穿過(guò)金屬制的螺栓70而進(jìn)行固定，從而能夠在被安裝體的地線上將傳感器單元100C接地，因此能夠提供可以獲得更準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果的傳感器單元100C。

此外，在本改變例中，采用了僅在外殼1的呈大致正方形的平面的四個(gè)角部之中的一個(gè)角部上設(shè)置露出部81的結(jié)構(gòu)。由此，實(shí)現(xiàn)了以露出部81為基準(zhǔn)而能夠確認(rèn)傳感器100C相對(duì)于被安裝體的安裝方向這樣的效果。

另外，如果無(wú)需將露出部81作為傳感器單元100C的安裝方向的基準(zhǔn)來(lái)使用，則也可以將露出部設(shè)置于上述露出部81以及與該露出部81相對(duì)的角部這兩個(gè)位置處，也可以將露出部設(shè)置在包括其他的角部的三個(gè)位置或者四個(gè)位置處。

(改變例4)

圖15為改變例4所涉及的傳感器單元的分解立體圖。

以下，以圖15為主體并適當(dāng)?shù)亟Y(jié)合其他的附圖而對(duì)改變例4所涉及的傳感器單元的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，對(duì)于與上述實(shí)施方式以及改變例相同的結(jié)構(gòu)部位標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。

如圖15所示，傳感器單元100D由外殼1d、接合部件10、傳感器模塊25等而構(gòu)成。換言之，成為在外殼1d的內(nèi)部3介于接合部件10而嵌合(插入)了傳感器模塊25的結(jié)構(gòu)。傳感器模塊25由內(nèi)殼20、基板15而構(gòu)成。另外，雖然為了便于說(shuō)明而將部位名稱設(shè)為外殼、內(nèi)殼，但也可以改稱為第一殼體、第二殼體。

外殼1d為將鋁切削為箱狀的基座。材質(zhì)并不限定于鋁，也可以使用不銹鋼等其他的金屬、樹(shù)脂、或者金屬與樹(shù)脂的復(fù)合材料等。外殼1d的外形與前述的傳感器單元100d的整體形狀同樣地為平面形狀呈大致正方形的正方體，并且在位于正方形的對(duì)角線方向上的兩處頂點(diǎn)附近形成有作為固定部的切口孔2d。另外，并不限定于切口孔2d，也可以采用在外殼1d的側(cè)面上形成凸緣(耳)，并對(duì)凸緣部分進(jìn)行螺紋固定的結(jié)構(gòu)。

外殼1d為外形呈正方體且無(wú)蓋的箱狀，并且其內(nèi)部3(內(nèi)側(cè))成為被底壁5和側(cè)壁4所包圍而成的內(nèi)部空間(容器)。內(nèi)部3的平面形狀為對(duì)正方形的三個(gè)頂點(diǎn)部分的角進(jìn)行倒角而形成的七邊形，并且被進(jìn)行了倒角的三個(gè)頂點(diǎn)部分中的兩處與切口孔2d的位置對(duì)應(yīng)。此外，在內(nèi)部3的截面形狀(厚度方向)中，在底壁5與側(cè)壁4之間，形成有與底壁5相比高一階的第一接合面6。第一接合面6為側(cè)壁4的一部分，并且為在平面上包圍底壁5而被形成為環(huán)狀的一階的階梯狀的部位。

內(nèi)殼20為對(duì)基板15進(jìn)行支承的部件，并且成為被收納于外殼1d的內(nèi)部3中的形狀。詳細(xì)而言，內(nèi)殼20為在平面上對(duì)正方形的三個(gè)頂點(diǎn)部分的角進(jìn)行倒角而成的七邊形，并且在其中形成有作為長(zhǎng)方形的貫穿孔的開(kāi)口部21。被進(jìn)行了倒角的三個(gè)頂點(diǎn)部分之中的兩處與外殼1d的切口孔2d的位置對(duì)應(yīng)。厚度方向(Z軸方向)低于從外殼1d的上表面7至第一接合面6為止的高度。雖然在優(yōu)選示例中，內(nèi)殼20也通過(guò)對(duì)鋁進(jìn)行切削而形成，但與外殼1d同樣也可以使用其他的材質(zhì)。

在內(nèi)殼20的背面(外殼1d側(cè)的面)上，形成有用于對(duì)基板15進(jìn)行定位的引導(dǎo)銷和支承面(均未圖示)?；?5被安置(定位搭載)在該引導(dǎo)銷和支承面而與內(nèi)殼20的背面粘合。另外，關(guān)于基板15的詳細(xì)內(nèi)容將在后文中進(jìn)行敘述。內(nèi)殼20的背面的周緣部成為由環(huán)狀的平面而構(gòu)成的第二接合面22。第二接合面22為在平面上與外殼1d的第一接合面6大致相同的形狀，并且在將內(nèi)殼20安置在外殼1d中時(shí)，兩個(gè)面以對(duì)接合部件10進(jìn)行夾持的狀態(tài)而相對(duì)。另外，對(duì)于外殼1d及內(nèi)殼20的結(jié)構(gòu)僅表示一個(gè)示例，而并不限定于該結(jié)構(gòu)。

圖16為本改變例所涉及的傳感器單元的剖視立體圖。

接著，適當(dāng)?shù)亟Y(jié)合圖15而對(duì)傳感器單元100D的具有特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)的主要部分進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

首先，基板15相對(duì)于內(nèi)殼20通過(guò)硬化后也具有柔韌性的粘合劑(未圖示)而被粘合。作為優(yōu)選示例，而使用硅酮橡膠系的粘合劑。另外，并不限定于硅酮橡膠系，只要為在硬化后與外殼1相比具有柔韌性的粘合劑即可，也可以使用常溫硬化型、二劑混合型、熱硬化型、紫外線硬化型或者這些類型的復(fù)合型。例如，也可以使用橡膠系粘合劑或利用熱熔粘合劑(結(jié)合劑)來(lái)進(jìn)行粘合固定。此外，由于連接器16的周圍也無(wú)間隙地涂敷有粘合劑，因此確保了與外部空氣(外部)之間的氣密性(密封性)，從而防止了外部空氣向基板15里側(cè)的進(jìn)入。

如圖15所示，接合部件10為沿著外殼1d的第一接合面6的環(huán)狀的平面形狀，并且為1mm左右厚度的密封圈(墊圈)。作為優(yōu)選示例而采用了利用專門(mén)的金屬模具且以壓縮成型法而形成的、截面為橢圓形狀的密封圈。另外，截面形狀既可以為圓形形狀，也可以為長(zhǎng)方形狀。作為優(yōu)選示例而使用了具有自我粘合性的硅酮橡膠制的密封圈。由于該密封圈含浸有硅酮橡膠系的粘合劑，因此實(shí)現(xiàn)了對(duì)外殼1d的第一接合面6與內(nèi)殼20的第二接合面22進(jìn)行粘合(接合)的作用。另外，并不限定于該結(jié)構(gòu)，接合部件10只要為與外殼1d相比具有柔韌性(彈性)的材質(zhì)即可。例如，既可以使用橡膠或彈性體，也可以使用海綿這樣的多孔質(zhì)部件。此外，也可以利用這些材料來(lái)形成密封圈并在組裝時(shí)涂敷粘合劑從而具有粘合性。

或者，也可以使用前述的基板15用的粘合劑。例如，也可以采用如下方式，即，在內(nèi)殼20的第二接合面22上，在通過(guò)噴墨法等而涂敷了熱硬化型的粘合劑之后，進(jìn)行初次(初步)硬化而形成半硬化狀態(tài)的接合部件10，并且在裝入外殼1d之后，進(jìn)行二次(主要)硬化。在優(yōu)選例中，由于外殼1d和內(nèi)殼20均使用熱傳導(dǎo)性良好的鋁，因此即使在組裝后，也能夠高效地對(duì)接合部件10進(jìn)行硬化。

返回至圖16。

當(dāng)將傳感器模塊25(內(nèi)殼20)裝入外殼1d中時(shí)，成為通過(guò)外殼1d的第一接合面6和內(nèi)殼20的第二接合面22而對(duì)接合部件10進(jìn)行夾持的狀態(tài)。詳細(xì)而言，成為利用兩個(gè)面而對(duì)接合部件10進(jìn)行壓縮，從而略微壓潰了的狀態(tài)。換言之，成為第一接合面6、接合部件10和第二接合面22相互重合的結(jié)構(gòu)。

在此，如圖16所示，在內(nèi)殼20的外形與外殼1d之間，跨及整個(gè)圓周而形成有一定的間隙。換言之，內(nèi)殼20與外殼1d僅經(jīng)由接合部件10的方式而被接合。此外，傳感器模塊25(內(nèi)殼20)的上表面的高度與外殼1d的上表面7相比而較低。換言之，內(nèi)殼20以上下抽插的盒蓋的方式而與外殼1d嵌合。這些間隙或內(nèi)殼20的厚度的設(shè)定在設(shè)計(jì)階段中根據(jù)意圖來(lái)確定。

如上文所述，根據(jù)本改變例所涉及的傳感器單元100D，能夠獲得以下的效果。

傳感器模塊25(內(nèi)殼20)經(jīng)由接合部件10而與外殼1d的內(nèi)壁面接合。由于內(nèi)殼20被設(shè)定為，在裝入外殼1d時(shí)跨及整個(gè)圓周而形成固定的間隙的尺寸，因此成為二者僅經(jīng)由接合部件10而被接合的結(jié)構(gòu)。

在此，由于接合部件10由與外殼1d相比具有柔韌性(彈性)的材質(zhì)而構(gòu)成，因此發(fā)揮對(duì)從外殼1d傳遞來(lái)的噪聲振動(dòng)進(jìn)行吸收(衰減)的作用。換言之，接合部件10作為具有防振性的防振部件而抑制噪聲振動(dòng)到達(dá)內(nèi)殼20。或者，也可以改稱為對(duì)噪聲振動(dòng)進(jìn)行緩和的緩沖部件。特別是由于利用了MEMS技術(shù)的慣性傳感器為具備梳齒狀的電極構(gòu)造等的微小機(jī)械，因此針對(duì)由于該構(gòu)造而產(chǎn)生的固有的諧振頻率成分的振動(dòng)而示出較大的反應(yīng)，并且可能在測(cè)量結(jié)果中包含噪聲，但是根據(jù)該結(jié)構(gòu)，也能夠可靠地對(duì)噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制。

另外，由于采用了將通過(guò)切削加工或金屬模具而高精度地被形成的外殼1d、接合部件10、內(nèi)殼20按照該順序而重疊地組裝的結(jié)構(gòu)，因此不同于如現(xiàn)有技術(shù)那樣將慣性傳感器設(shè)為懸吊狀態(tài)的結(jié)構(gòu)，從而能夠高精度地對(duì)搭載了慣性傳感器的基板15(傳感器模塊25)進(jìn)行定位。換言之，慣性傳感器的位置總是較為穩(wěn)定。此外，重疊地組裝的結(jié)構(gòu)易于操作且制造效率較高。

因此，根據(jù)傳感器單元100D，由于慣性傳感器的位置較為穩(wěn)定因此可靠性較高，并且由于具備了具有防振性的接合部件10因此不易受到噪聲振動(dòng)的影響，從而檢測(cè)精度較為穩(wěn)定。

因此，能夠提供可靠性較高且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元100D。此外，由于采用在鋁制的外殼1d中使同樣為鋁制的內(nèi)殼20以套盒狀的方式進(jìn)行嵌合的結(jié)構(gòu)，因此能夠成為小型(緊湊)且堅(jiān)固(牢固)的封裝件結(jié)構(gòu)。因此，能夠提供設(shè)置場(chǎng)所的選項(xiàng)較廣泛且耐久性優(yōu)異的傳感器單元100E。

另外，作為接合部件10而使用了氣密性優(yōu)異的硅酮橡膠制的密封圈。由此，接合部件10不僅對(duì)外殼1d的第一接合面6和內(nèi)殼20的第二接合面22進(jìn)行粘合，而且也確保了環(huán)狀的接合面的氣密性。此外，由于連接器16的周圍也無(wú)間隙地涂敷有粘合劑，因此也確保了內(nèi)殼20的開(kāi)口部21的氣密性。通過(guò)這些結(jié)構(gòu)，從而傳感器單元100D的內(nèi)部被確保了與外部的氣密性(防水性)。由此，傳感器單元100D的內(nèi)部環(huán)境變得不易受到外部環(huán)境的影響，并且經(jīng)常能夠在大致固定的穩(wěn)定的環(huán)境下實(shí)施慣性力的測(cè)量。換言之，可使用的環(huán)境條件變寬。

因此，能夠提供可使用的環(huán)境條件較寬且可靠性較高的傳感器單元100D。另外，即使在使用了前述的接合部件10用的其他的材料的情況下也同樣能夠確保氣密性。

此外，由于基板15相對(duì)于內(nèi)殼20通過(guò)在硬化后也具有柔軟性的粘合劑而被粘合，因此該粘合劑也作為對(duì)從內(nèi)殼20向基板15的噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制的防振部件、緩沖部件而發(fā)揮功能。

由此，由于除了接合部件10以外，基板的粘合劑也作為防振部件、緩沖部件而發(fā)揮功能，因此能夠更有效地減少噪聲振動(dòng)。

因此，能夠提供可靠性更高且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元100D。

此外，在基板15上安裝有用于與外部連接的連接器16，在內(nèi)殼20上形成有用于使連接器16向外部露出的開(kāi)口部21。雖然在連接器16上，從被安裝裝置被連接插座型(被插入式)的連接器，但由于配線部分使用了柔性基板或覆蓋電纜等具有柔韌性的配線部件，因此從連接器16傳遞來(lái)噪聲振動(dòng)的可能性較低。因此，能夠提供檢測(cè)精度的穩(wěn)定性及可靠性較高且能夠在與被安裝裝置之間實(shí)施可靠的通信動(dòng)作的傳感器單元100D。

此外，由于傳感器模塊25(內(nèi)殼20)的上表面的高度與外殼1d的上表面7相比而較低且以上下抽插的盒蓋狀地被收納，因此，例如即使在使內(nèi)殼20側(cè)朝向被安裝裝置而進(jìn)行固定的情況下，由于內(nèi)殼20不與被安裝面接觸，因此能夠防止噪聲振動(dòng)的傳播。因此，能夠提供一種即使垂直(上下)反轉(zhuǎn)也可以使用的好用的傳感器單元100D。

(改變例5)

圖17及圖18為表示改變例5所涉及的傳感器單元的一個(gè)示例的剖視圖。

雖然在上述改變例4中對(duì)接合部件10僅為一個(gè)的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于該結(jié)構(gòu)，也可以使用多個(gè)。例如，如圖17所示，除了接合部件10以外，也可以在內(nèi)殼20上部(上表面)的周緣部上還配置有接合部件11。在該情況下，也可以采用如下方式，即，將接合部件10設(shè)為多孔質(zhì)部件，將接合部件11設(shè)為截面呈L字狀(曲柄狀)且硅酮橡膠制。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)以利用接合部件10而確保防振性并且利用接合部件11而確保氣密性這樣的方式，而補(bǔ)充地使用將材料的特性活用的兩個(gè)部件，從而能夠確保所需的防振性和氣密性。另外，通過(guò)在接合部件10、11的這兩個(gè)位置處均進(jìn)行粘合，從而能夠使內(nèi)殼20(傳感器模塊)相對(duì)于外殼1更可靠地進(jìn)行粘合。

此外，并不限定于在內(nèi)殼20上部配置截面呈L字狀的接合部件11的結(jié)構(gòu)，也可以在其他的部分上配置接合部件。例如，如圖18所示，也可以在內(nèi)殼20的側(cè)面的周圍上形成槽，并在該槽內(nèi)配置接合部件12。即使該結(jié)構(gòu)也同樣地能夠確保所需的防振性及氣密性。另外，由于接合部件12的截面也可以為簡(jiǎn)單的圓形、并且從外部看不到接合部件12，因此不必?fù)?dān)心有損于美觀。此外，雖然對(duì)接合部件10被配置在與底壁5相比高一階的第一接合面6上的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此，只要是配置在外殼1d與內(nèi)殼20相對(duì)的部分處的結(jié)構(gòu)即可。例如，作為在不形成第一接合面6的條件下由側(cè)壁4和底壁5構(gòu)成的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，也可以在底壁5的周緣部上直接配置接合部件10。

(改變例6)

圖19為表示改變例6所涉及的傳感器單元被固定在被安裝面上的狀態(tài)的立體圖。此外，圖20為從圖19的被安裝面?zhèn)冗M(jìn)行觀察時(shí)的傳感器單元的概要的立體圖。首先，對(duì)本改變例所涉及的傳感器單元100E的概要進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。

在圖19中，傳感器單元100E為對(duì)汽車或機(jī)器人等運(yùn)動(dòng)體(被安裝裝置)的姿態(tài)或動(dòng)作(慣性運(yùn)動(dòng)量)進(jìn)行檢測(cè)的慣性測(cè)量裝置(IMU：Inertial Measurement Unit：慣性測(cè)量單元)。傳感器單元100E作為具備3軸的加速度傳感器和3軸的角速度傳感器的、所謂的6軸運(yùn)動(dòng)傳感器而發(fā)揮功能。

傳感器單元100E為平面形狀呈大致略正方形的正方體，并且正方形的一邊的長(zhǎng)度尺寸為大約3cm且厚度尺寸為大約1cm。在位于正方形的對(duì)角線方向上的兩處頂點(diǎn)附近，形成有作為固定部的切口孔2e。在該兩處的切口孔2e中穿過(guò)有兩根螺栓70，從而傳感器單元100E以固定在汽車等被安裝體(裝置)的被安裝面71上的狀態(tài)而被使用。另外，上述尺寸為一個(gè)示例，通過(guò)部件的選定或設(shè)計(jì)改變，從而也能夠小型化為可搭載于例如智能手機(jī)或數(shù)碼照相機(jī)上的尺寸。

傳感器單元100E采用了具有用于對(duì)從被安裝面71傳遞來(lái)的汽車的發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)等噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制的特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，從而與現(xiàn)有的傳感器單元相比而實(shí)現(xiàn)較高的可靠性和檢測(cè)精度的穩(wěn)定性。以下，對(duì)具有該特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，該結(jié)構(gòu)并不限定于具備6軸運(yùn)動(dòng)傳感器的IMU，只要是具備慣性傳感器的單元或者設(shè)備即可應(yīng)用。

如圖20所示，在傳感器單元100E的表面上形成有開(kāi)口部21。在開(kāi)口部21的內(nèi)部(內(nèi)側(cè))上配置有插頭型(插入式)的連接器16。連接器16具有多個(gè)銷，并且多個(gè)銷面向圖20而在橫向上延伸地被配置。另外，在以下的說(shuō)明中，將該多個(gè)銷的延伸方向設(shè)為X軸方向。換言之，在傳感器單元100E的正方形形狀中，將面向圖20而成為橫向的邊的延伸方向設(shè)為X軸方向。此外，在正方形形狀中，將與X軸方向正交的方向的邊的延伸方向設(shè)為Y軸方向。而且，以傳感器單元100E的厚度方向作為Z軸方向而進(jìn)行說(shuō)明。

在連接器16上，從被安裝裝置被連接插座型(被插入式)的連接器(未圖示)，并且在二者之間實(shí)施傳感器單元100E的電力或檢測(cè)數(shù)據(jù)等電信號(hào)的發(fā)送接收。

傳感器單元100E采用了具有用于對(duì)從被安裝面71(參照?qǐng)D19)傳遞來(lái)的汽車的發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)等噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制的特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，從而與現(xiàn)有的傳感器單元相比而實(shí)現(xiàn)較高的可靠性和檢測(cè)精度的穩(wěn)定性。以下，對(duì)具有該特長(zhǎng)的封裝件結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，該結(jié)構(gòu)并不限定于具備6軸運(yùn)動(dòng)傳感器的IMU，只要是具備慣性傳感器的單元或者設(shè)備即可應(yīng)用。

圖21為從與圖19相同的方向進(jìn)行觀察并所示的本改變例的傳感器單元100E的分解立體圖。此外，圖22為表示傳感器單元100e中的振動(dòng)(噪聲振動(dòng))傳遞抑制結(jié)構(gòu)的剖視圖。以下，利用這些附圖，對(duì)本實(shí)施方式的傳感器單元100e所具有的噪聲振動(dòng)的傳遞抑制結(jié)構(gòu)等進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

如圖21所示，在由內(nèi)殼20和基板15構(gòu)成的傳感器模塊25與外殼1e以隔著接合部件的方式而進(jìn)行了嵌合的傳感器單元100中，傳感器模塊25和外殼1e通過(guò)作為連結(jié)部件的螺栓170而被結(jié)合(固定)。雖然在本實(shí)施方式中，作為結(jié)合部件而使用了兩根螺栓170，但螺栓170的數(shù)量并不限于此。此外，兩根螺栓170從底面8側(cè)被插入至設(shè)置在外殼1e上的貫穿孔9中，并隔著接合部件10及基板15，而被螺紋緊固并固定在內(nèi)殼20上。在下文中，對(duì)以上所說(shuō)明的傳感器單元100E的各個(gè)部分的結(jié)合結(jié)構(gòu)以及該結(jié)合結(jié)構(gòu)中的噪聲振動(dòng)的傳遞抑制結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

在圖22中，在外殼1e的底面8側(cè)上設(shè)置有螺栓170用的貫穿孔9。在本實(shí)施方式中，在外殼1e的底面8的對(duì)角附近設(shè)置有兩個(gè)貫穿孔9(參照?qǐng)D21)。在接合部件10的俯視觀察時(shí)與貫穿孔9重疊的位置處設(shè)置有貫穿孔，并且在內(nèi)殼20的俯視觀察時(shí)與貫穿孔9重疊的位置處形成有螺紋孔29。而且，通過(guò)從外殼1e的貫穿孔9中被插入的作為結(jié)合部件的螺栓170被螺紋緊固于內(nèi)殼20的螺紋孔29中，從而傳感器模塊25經(jīng)由接合部件10(彈性部件)而被結(jié)合并固定在外殼1e內(nèi)。在此，在外殼1e的貫穿孔9形成部分的底面8側(cè)上形成有對(duì)螺栓170的螺栓頭進(jìn)行收納的凹部，并且在該凹部中，螺栓170經(jīng)由彈性部件310而被插入至外殼1的貫穿孔9中。此外，以結(jié)合狀態(tài)的螺栓170的螺栓頭與底面8相比不向外側(cè)突出的方式對(duì)凹部的深度進(jìn)行設(shè)定。

此外，在圖22中，介于外殼1e與傳感器模塊25的內(nèi)殼20之間的接合部件10被配置為，與作為外殼1e的底壁5的一部分的第一接合面6接觸，并且也與從第一接合面6(底壁5)起直立的側(cè)壁4接觸。即，接合部件10被形成為截面呈L字狀(曲柄狀)。

此外，如圖22所示，在將傳感器模塊25收納于外殼1e中的狀態(tài)下，傳感器模塊25的上表面(即，內(nèi)殼20的底面)27的高度低于外殼1e的上表面7的高度。另外，在圖22所示的結(jié)構(gòu)中，由于接合部件10由彈性部件而構(gòu)成，因此傳感器模塊25的上表面27的高度相對(duì)于外殼1e的上表面7的高度，而在傳感器單元100E的組裝工序中，能夠根據(jù)螺栓170的緊固扭矩而進(jìn)行調(diào)節(jié)。

如上文所述，根據(jù)本改變例所涉及的傳感器單元100E，能夠獲得以下的效果。

傳感器模塊25(內(nèi)殼20)經(jīng)由接合部件10而與作為外殼1e的底壁5的一部分的第一接合面6接合。由于內(nèi)殼20被設(shè)定為在裝入外殼1e時(shí)跨及整個(gè)圓周而被形成固定的間隙的尺寸，因此成為二者僅經(jīng)由接合部件10而被接合的結(jié)構(gòu)。

在此，由于接合部件10以與外殼1e相比彈性率較小的((具有)柔韌性)材質(zhì)而構(gòu)成，因此發(fā)揮對(duì)從外殼1e傳遞來(lái)的噪聲振動(dòng)進(jìn)行吸收(衰減)的作用。換言之，接合部件10作為具有防振性的防振部件而抑制噪聲振動(dòng)到達(dá)內(nèi)殼20。或者，也可以改稱為對(duì)噪聲振動(dòng)進(jìn)行緩和的緩沖部件。特別是由于利用了MEMS技術(shù)的慣性傳感器為具備梳齒狀的電極構(gòu)造等的微小機(jī)械，因此雖然針對(duì)由于該構(gòu)造而產(chǎn)生的固有的諧振頻率成分的振動(dòng)而示出較大的反應(yīng)，并且可能在測(cè)量結(jié)果中包含噪聲，但根據(jù)該結(jié)構(gòu)，也能夠可靠地對(duì)噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制。

此外，由于傳感器模塊25(內(nèi)殼20)的上表面27的高度與外殼1e的上表面7相比而較低且以上下抽插的盒蓋狀地被收納，因此，例如即使在使內(nèi)殼20側(cè)朝向被安裝裝置而進(jìn)行固定的情況下，由于內(nèi)殼20不與被安裝面接觸，因此能夠防止噪聲振動(dòng)的傳播。因此，能夠提供一種即使垂直(上下)反轉(zhuǎn)也可以使用的好用的傳感器單元100E。

此外，根據(jù)上述實(shí)施方式的傳感器單元100E，采用了如下的結(jié)構(gòu)，即，外殼1e和傳感器模塊25通過(guò)從被設(shè)置在外殼1e上的貫穿孔9中被插入的螺栓170而被結(jié)合，并且在外殼1e與傳感器模塊25之間配置有作為彈性部件的接合部件10，以及，在螺栓170的螺栓頭與外殼1e之間配置有彈性部件310。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)在外殼1e與傳感器模塊25之間配置有具有彈性的接合部件10以及彈性部件310，從而在由螺栓170而實(shí)現(xiàn)的外殼1e與傳感器模塊25的結(jié)合結(jié)構(gòu)中，能夠更可靠地抑制噪聲振動(dòng)從外殼1e向傳感器模塊25的傳播。

此外，接合部件10采用了如下的結(jié)構(gòu)，即，與作為外殼1e的底壁5的一部分的第一接合面6接觸，并且與從該第一接合面6起直立的側(cè)壁4也接觸。由此，能夠?qū)τ蓚鞲衅髂K25與外殼1e的側(cè)壁4接觸而導(dǎo)致的噪聲振動(dòng)的傳播進(jìn)行抑制，并且在組裝工序中，通過(guò)將接合部件10作為傳感器模塊25相對(duì)于外殼1e的定位導(dǎo)向部來(lái)使用，從而能夠期待使組裝的操作性提高的效果。

另外，由于采用了將通過(guò)切削加工或金屬模具而精度良好地被形成的外殼1e、接合部件10、內(nèi)殼20按照該順序而重疊地組裝的結(jié)構(gòu)，因此不同于如現(xiàn)有技術(shù)那樣將慣性傳感器設(shè)為懸吊狀態(tài)的結(jié)構(gòu)，從而能夠精度良好地對(duì)搭載了慣性傳感器的基板15(傳感器模塊25)進(jìn)行定位。換言之，慣性傳感器的位置總是較為穩(wěn)定。此外，重疊組裝的結(jié)構(gòu)易于操作且制造效率較高。

因此，根據(jù)傳感器單元100E，由于慣性傳感器的位置較為穩(wěn)定因此可靠性較高，并且由于具備了具有防振性的接合部件10因此不易受到噪聲振動(dòng)的影響，從而檢測(cè)精度較為穩(wěn)定。

因此，能夠提供可靠性較高且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元100E。此外，由于采用使鋁制的外殼1e與同樣為鋁制的內(nèi)殼20以套盒狀的方式進(jìn)行嵌合的結(jié)構(gòu)，因此能夠成為小型(緊湊)且堅(jiān)固(牢固)的封裝件結(jié)構(gòu)。因此，能夠提供設(shè)置場(chǎng)所的選項(xiàng)較廣泛且耐久性優(yōu)異的傳感器單元100E。

另外，作為接合部件10而使用氣密性優(yōu)異的硅酮橡膠制的密封圈。由此，接合部件10不僅對(duì)外殼1e的第一接合面6和內(nèi)殼20的第二接合面22進(jìn)行粘合，而且也確保了環(huán)狀的接合面的氣密性。此外，由于連接器16的周圍也無(wú)間隙地涂敷了粘合劑，因此也確保了內(nèi)殼20的開(kāi)口部21的氣密性。通過(guò)這些結(jié)構(gòu)，從而傳感器單元100的內(nèi)部被確保了來(lái)自外部的氣密性(防水性)。由此，傳感器單元100E的內(nèi)部環(huán)境變得不易受到外部環(huán)境的影響，并且經(jīng)常能夠在大致固定的穩(wěn)定的環(huán)境下實(shí)施慣性力的測(cè)量。換言之，可使用的環(huán)境條件變寬。

因此，能夠提供可使用的環(huán)境條件較寬且可靠性較高的傳感器單元100E。另外，即使在使用了前述的接合部件10用的其他的材料的情況下也同樣能夠確保氣密性。

此外，由于基板15相對(duì)于內(nèi)殼20通過(guò)在固化狀態(tài)下具有彈性的(具有柔韌性)粘合劑而被粘合，因此該粘合劑也作為對(duì)從內(nèi)殼20向基板15的噪聲振動(dòng)進(jìn)行抑制的防振部件、緩沖部件而發(fā)揮功能。

由此，由于除了接合部件10以外，基板的粘合劑也作為防振部件、緩沖部件而發(fā)揮功能，因此能夠更有效地減少噪聲振動(dòng)。

因此，能夠提供可靠性更高且檢測(cè)精度較為穩(wěn)定的傳感器單元100E。

(改變例7)

在上述實(shí)施方式2中，對(duì)為了使填充在凹部31空間內(nèi)的填充部件50的填充量適當(dāng)、并且易于實(shí)施制造工序中的填充量的管理，而在基板15′上設(shè)置貫穿孔部90或者槽部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明。并不限定于此，也可以采用在形成有凹部31的內(nèi)殼20側(cè)設(shè)置對(duì)過(guò)剩的填充部件50進(jìn)行收納的空間的結(jié)構(gòu)。

圖23為表示改變例7所涉及的傳感器單元的剖視圖。以下，對(duì)在內(nèi)殼20側(cè)能夠適當(dāng)?shù)乜刂铺畛洳考奶畛淞康慕Y(jié)構(gòu)的一個(gè)示例進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。

圖23所示的本改變例的傳感器單元100F在內(nèi)殼20的凹部31的周緣的一部分上，形成有在內(nèi)殼20的厚度方向上與凹部31的凹底面相比較高的棚部31f(在圖23中，凹部31的凹底面位于上方，棚部位于與該凹底部相比靠下的位置處)。雖然在本改變例中，在傳感器單元100F的俯視觀察時(shí)，沿著凹部31的靠近連接器16的邊、和與此相對(duì)的邊而形成有棚部31f，但并不限定于此，既可以沿著任意一邊而形成棚部31f，或者，也可以采用設(shè)置沿著其他邊的棚部的結(jié)構(gòu)。也能夠?qū)⑴锊?1f稱為被形成在內(nèi)殼20的凹部31的周緣的一部分上的高低差、或者凹部31的深度較淺的區(qū)域。

另外，被形成在凹部31的周緣的一部分上的棚部31f優(yōu)選為，只要在基板15的俯視觀察時(shí)，被配置在與至少一個(gè)慣性傳感器相比靠基板15的中央側(cè)的位置處，并且更優(yōu)選為，在由凹部31和基板15所形成的空間內(nèi)，相對(duì)于將內(nèi)殼20側(cè)與外殼1側(cè)連通的連通通道而位于隔著慣性傳感器的相反側(cè)。由此，由于在將填充部件50填充至設(shè)置有棚部31f的凹部31之后，且在搭載了安裝有慣性傳感器等的基板15時(shí)，除了作為空間的釋放部分的連通通道以外，填充部件50也向棚部31f移動(dòng)，因此能夠使填充部件50均等地遍及由基板15和凹部31所形成的空間內(nèi)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在被填充于由基板15和凹部31所形成的空間內(nèi)的填充部件50多于空間的容積的情況下，過(guò)剩量的填充部件50被收納于設(shè)置在凹部31的周緣部上的棚部中，因此能夠抑制過(guò)剩量的粘合劑向不被期望的部分溢出，從而能夠提供在制造工序中易于對(duì)填充于凹部31中的填充部件50的填充量進(jìn)行管理的傳感器單元。

(電子設(shè)備)

圖24為作為電子設(shè)備的一個(gè)示例的智能手機(jī)的外觀圖。

在智能手機(jī)110中組裝有上述的傳感器單元100、100B、100C。傳感器單元100、100B、100C所檢測(cè)出的檢測(cè)數(shù)據(jù)被發(fā)送至智能手機(jī)110的控制部111中?？刂撇?11以包括CPU(Central Processing Unit：中央處理單元)的方式而構(gòu)成，并且能夠根據(jù)所接收到的檢測(cè)數(shù)據(jù)而識(shí)別智能手機(jī)110的姿態(tài)或動(dòng)作，從而使顯示圖像發(fā)生變化、或者發(fā)出警告音或效果音、或者對(duì)振動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)而使主體進(jìn)行振動(dòng)。換言之，實(shí)施智能手機(jī)110的運(yùn)動(dòng)傳感，并且根據(jù)所測(cè)量出的姿態(tài)或動(dòng)作而能夠使顯示內(nèi)容發(fā)生變化、或者產(chǎn)生聲音或振動(dòng)等。尤其在執(zhí)行游戲的應(yīng)用的情況下，能夠體驗(yàn)接近現(xiàn)實(shí)的臨場(chǎng)感。

圖25為作為電子設(shè)備的一個(gè)示例的數(shù)碼照相機(jī)的外觀圖。

在數(shù)碼照相機(jī)120中組裝有上述的傳感器單元100、100B、100C。傳感器單元100、100B、100C所檢測(cè)出的檢測(cè)數(shù)據(jù)被發(fā)送至數(shù)碼照相機(jī)120的控制部(未圖示)中?？刂撇恳园–PU的方式而構(gòu)成，并且根據(jù)所接收到的檢測(cè)數(shù)據(jù)而對(duì)數(shù)碼照相機(jī)120的姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，并向手抖修正裝置121發(fā)送基于檢測(cè)結(jié)果的控制信號(hào)。手抖修正裝置121根據(jù)控制信號(hào)而使透鏡組122內(nèi)的特定的透鏡移動(dòng)從而實(shí)施手抖修正。

另外，并不限定于智能手機(jī)或數(shù)碼照相機(jī)，同樣也能夠?qū)鞲衅鲉卧?00、100B、100C組裝在移動(dòng)電話、便攜式游戲機(jī)、游戲控制器、導(dǎo)航系統(tǒng)、指示設(shè)備、頭盔式顯示器、平板電腦等各種電子設(shè)備中，并且能夠獲得同樣的效果。

(移動(dòng)體)

圖26為作為移動(dòng)體的一個(gè)示例的汽車130的外觀圖。

在汽車130上組裝有上述的傳感器單元100、100B、100C。傳感器單元100、100B、100C所檢測(cè)出的檢測(cè)數(shù)據(jù)被發(fā)送至汽車130的車身姿態(tài)控制裝置132中。車身姿態(tài)控制裝置132以包括CPU的方式而構(gòu)成，并且根據(jù)所接收到的檢測(cè)數(shù)據(jù)而對(duì)汽車130的姿態(tài)或動(dòng)作進(jìn)行檢測(cè)，并向車輪133的制動(dòng)器控制裝置或懸架控制裝置發(fā)送基于檢測(cè)結(jié)果的控制信號(hào)。例如，在檢測(cè)到實(shí)施了緊急的方向盤(pán)操作或在容易打滑的路面上行駛過(guò)程中等識(shí)別出橫向打滑的姿態(tài)或動(dòng)作的情況下，制動(dòng)器控制裝置以如下方式進(jìn)行控制，即，通過(guò)根據(jù)控制信號(hào)而施加各個(gè)車輪133的制動(dòng)，從而對(duì)車輪的行進(jìn)方向進(jìn)行修正，由此維持最初的行進(jìn)方向。換言之，以保持車輪的行進(jìn)方向的方式而進(jìn)行制動(dòng)。

另外，并不限定于汽車，同樣也能夠?qū)鞲衅鲉卧?00、100B、100C組裝在二輪車、土木·建設(shè)機(jī)械、農(nóng)業(yè)機(jī)械、農(nóng)場(chǎng)用重機(jī)、無(wú)人機(jī)、航空器、直升飛機(jī)、小型潛水艇、機(jī)器人等的各種移動(dòng)體中，并且能夠獲得同樣的效果。

以上，雖然對(duì)通過(guò)發(fā)明者而完成的本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了具體說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，也能夠在不脫離其要旨的范圍內(nèi)添加各種的改變。

例如，在上述實(shí)施方式中，采用了如下結(jié)構(gòu)，即，將安裝在基板15上的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)或其他的電子元件以配置于由基板15及凹部31所形成的凹部31空間內(nèi)的方式，安裝在基板15的凹部31側(cè)的面上。而且，對(duì)如下情況進(jìn)行了說(shuō)明，即，期望設(shè)為被配置在凹部31空間內(nèi)的各個(gè)慣性傳感器(17x、17y、17z、18)或其他的電子元件等的盡可能多的部分被填充部件50覆蓋的狀態(tài)。

并不限于此，由于只要通過(guò)被填充在凹部31空間內(nèi)的填充部件50而基板15與內(nèi)殼20以確保預(yù)定的強(qiáng)度以上的方式被固定，則可獲得本發(fā)明的效果，因此也可以采用將各個(gè)慣性傳感器或其他的電子元件配置在基板15的相反側(cè)的面(與凹部31對(duì)置的面的相反側(cè)的面)上的結(jié)構(gòu)。

此外，在上述實(shí)施方式中，使介于外殼1與傳感器模塊25的內(nèi)殼20之間的接合部件10配置為，與作為外殼1的底壁5的一部分的第一接合面6接觸，并且也與從第一接合面6(底壁5)起直立的側(cè)壁4接觸。并不限于此，只要能夠以使傳感器模塊25不與外殼1的側(cè)壁4接觸的方式而確保間隙地進(jìn)行固定，則接合部件10只要以與外殼1的底壁5以及作為底壁5的一部分的第一接合面6接觸的方式進(jìn)行配置即可。

此外，在上述實(shí)施方式中，圖示了在傳感器單元100中，在安裝于外部設(shè)備等被安裝面71上時(shí)與被安裝面71接觸的外殼1的上表面7為相同的框狀的示例。并不限于此，只要外殼1的與被安裝面71的接觸部分相對(duì)于被安裝面71而以傳感器單元100不會(huì)產(chǎn)生不良情況的程度進(jìn)行固定即可，例如，也可以為被劃分為多個(gè)面的接觸面。

符號(hào)說(shuō)明

1、1d、1e…外殼；2…作為固定部的螺孔；3…內(nèi)部；4…側(cè)壁；5…底壁；6…作為底壁的一部分的第一接合面；7…外殼的上表面；9…貫穿孔；10…接合部件；15、15′…基板；16…連接器；17x、17y、17z…作為慣性傳感器的角速度傳感器；18…作為慣性傳感器的加速度傳感器；19…控制IC；20…內(nèi)殼；21…開(kāi)口部；22…第二接合面；25…傳感器模塊；27…傳感器模塊的上表面；29…螺紋孔；31…凹部；32…凹部的底面；50…填充部件；70…螺栓；71…被安裝面；81…露出部；82…涂裝面；90…貫穿孔部；100、100B、100C、100D、100E…傳感器單元；110…智能手機(jī)；120…數(shù)碼照相機(jī)；130…汽車；170…作為結(jié)合部件的螺栓；210、310…彈性部件。