技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的分切加工裝置(100)一邊使用第一檢測裝置(106)進(jìn)行蛇行控制一邊進(jìn)行光學(xué)膜(F1)的分切加工。第一檢測裝置(106)包括:第一支承體(111),其對光學(xué)膜(F1)的第一面進(jìn)行支承;第一光源部(112a),其從光學(xué)膜(F1)的第二面?zhèn)瘸蛭挥诘谝环瓷涿?RS)上的光學(xué)膜(F1)照射光;第一偏振板(112c),其設(shè)置于從第一光源部(112a)朝向光學(xué)膜(F1)的光的光路上;第一攝像部(112b),其從光學(xué)膜(F1)的第二面?zhèn)扰臄z位于第一反射面(RS)上的光學(xué)膜(F1)的反射光像;以及第一圖案檢測部(114),其基于由第一攝像部(112b)拍攝到的光學(xué)膜(F1)的反射光像來檢測位于第一反射面(RS)上的多個(gè)偏振圖案列(F14a、F14b)。
技術(shù)研發(fā)人員:陳廷槐;西原伸彥
受保護(hù)的技術(shù)使用者:住友化學(xué)株式會(huì)社
文檔號(hào)碼:201580035025
技術(shù)研發(fā)日:2015.06.25
技術(shù)公布日:2017.05.10