技術(shù)總結(jié)
描述一種用于測(cè)量三維結(jié)構(gòu)的表面形貌的設(shè)備。在多個(gè)實(shí)施例中，所述設(shè)備被配置為將多個(gè)光束中的每個(gè)光束均相對(duì)于所述設(shè)備聚焦到各自固定的焦點(diǎn)位置。所述設(shè)備測(cè)量多個(gè)返回光束中的每個(gè)返回光束的特性，該返回光束通過(guò)利用光束照射所述三維結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生。針對(duì)所述設(shè)備與所述三維結(jié)構(gòu)之間的多個(gè)不同位置和/或朝向測(cè)量所述特性。針對(duì)所述設(shè)備與所述三維結(jié)構(gòu)之間的多個(gè)不同位置和/或朝向，至少部分地基于測(cè)量的返回光束的所述特性，確定所述三維結(jié)構(gòu)的表面形貌。

技術(shù)研發(fā)人員：埃雷茲·蘭伯特;阿迪·萊文;塔勒·維科爾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：阿萊恩技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201580047365
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.30
技術(shù)公布日：2017.05.10