本發(fā)明涉及編碼器、保持部件、編碼器的安裝方法、驅(qū)動(dòng)裝置、機(jī)械手裝置以及移動(dòng)臺(tái)裝置。

背景技術(shù)：

作為對(duì)例如電機(jī)的軸部件等旋轉(zhuǎn)部件的轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行檢測(cè)的裝置，編碼器是已知的(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。編碼器安裝于例如電機(jī)(測(cè)定對(duì)象)而使用。作為編碼器的一例，使形成有規(guī)定的光反射圖案或磁圖案等圖案的刻度盤(pán)(scale)與旋轉(zhuǎn)部件一體地旋轉(zhuǎn)，在檢測(cè)部例如向光反射圖案照射光并讀取反射光，并且，檢測(cè)磁圖案的變化，從而可以檢測(cè)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)角度。

在安裝這樣的編碼器時(shí)，例如將檢測(cè)部固定于電機(jī)的非旋轉(zhuǎn)部(電機(jī)主體等)之后，將刻度盤(pán)和旋轉(zhuǎn)部件(軸部件等)嵌合，并使用螺釘?shù)裙潭ú考⒖潭缺P(pán)和旋轉(zhuǎn)部件固定。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2000-25081號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

但是，例如在軸部件相比電機(jī)主體配置在重力方向的下方的情況等下，在將刻度盤(pán)和旋轉(zhuǎn)部件嵌合后刻度盤(pán)有時(shí)會(huì)從旋轉(zhuǎn)部件脫落。這樣，根據(jù)電機(jī)的姿勢(shì)，有時(shí)難以安裝編碼器。

本發(fā)明的目的在于提供一種不管電機(jī)的姿勢(shì)如何都能夠安裝的編碼器、保持部件、編碼器的安裝方法、驅(qū)動(dòng)裝置、機(jī)械手裝置以及移動(dòng)臺(tái)(stage)裝置。

用于解決課題的方案

根據(jù)本發(fā)明的第一方案，提供一種編碼器，該編碼器具有：刻度盤(pán)，所述刻度盤(pán)具有圖案且能夠安裝于測(cè)定對(duì)象的旋轉(zhuǎn)部件；主體部，所述主體部具有檢測(cè)圖案的檢測(cè)部且能夠安裝于測(cè)定對(duì)象的非旋轉(zhuǎn)部；以及保持部件，所述保持部件具有抵接部和推壓部，所述抵接部從外側(cè)能夠裝卸地設(shè)置于主體部且貫穿主體部而與刻度盤(pán)抵接，所述推壓部能夠?qū)⒌纸硬肯蚩潭缺P(pán)側(cè)推壓。

根據(jù)本發(fā)明的第二方案，提供一種保持部件，該保持部件是編碼器的安裝所使用的保持部件，所述編碼器具有刻度盤(pán)和主體部，所述刻度盤(pán)具有圖案且能夠安裝于測(cè)定對(duì)象的旋轉(zhuǎn)部件，所述主體部具有檢測(cè)圖案的檢測(cè)部且能夠安裝于測(cè)定對(duì)象的非旋轉(zhuǎn)部，所述保持部件的特征在于，具有：抵接部，所述抵接部從外側(cè)能夠裝卸地設(shè)置于主體部且貫穿主體部而與刻度盤(pán)抵接；以及推壓部，所述推壓部能夠?qū)⒌纸硬肯蚩潭缺P(pán)側(cè)推壓。

根據(jù)本發(fā)明的第三方案，提供一種編碼器的安裝方法，所述編碼器具有刻度盤(pán)、主體部以及罩部，所述刻度盤(pán)具有圖案，所述主體部具有檢測(cè)圖案的檢測(cè)部，所述罩部安裝于主體部并覆蓋刻度盤(pán)以及主體部，所述編碼器的安裝方法的特征在于，包括：第一固定工序，在所述第一固定工序中，使用第一固定部件將主體部固定于測(cè)定對(duì)象的非旋轉(zhuǎn)部；調(diào)節(jié)工序，在所述調(diào)節(jié)工序中，在將保持部件從外側(cè)安裝于主體部的狀態(tài)下，對(duì)刻度盤(pán)相對(duì)于測(cè)定對(duì)象的旋轉(zhuǎn)部件在旋轉(zhuǎn)方向上的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述保持部件具有與刻度盤(pán)抵接的抵接部和能夠?qū)⒌纸硬肯蚩潭缺P(pán)側(cè)推壓的推壓部；以及第二固定工序，在所述第二固定工序中，在調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)位置后，在由所述推壓部將圓盤(pán)部保持于電機(jī)部的狀態(tài)下，使用第二固定部件將刻度盤(pán)固定于旋轉(zhuǎn)部件。

根據(jù)本發(fā)明的第四方案，提供一種驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置具有：旋轉(zhuǎn)部件、使旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)部、以及固定于旋轉(zhuǎn)部件并檢測(cè)旋轉(zhuǎn)部件的位置信息的編碼器，作為編碼器，使用按照第一方案的編碼器。

根據(jù)本發(fā)明的第五方案，提供一種機(jī)械手裝置，該機(jī)械手裝置具有旋轉(zhuǎn)物體和使旋轉(zhuǎn)物體旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)裝置，作為驅(qū)動(dòng)裝置，使用按照第四方案的驅(qū)動(dòng)裝置。

根據(jù)本發(fā)明的第六方案，提供一種移動(dòng)臺(tái)裝置，該移動(dòng)臺(tái)裝置具有旋轉(zhuǎn)物體和使旋轉(zhuǎn)物體移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，作為驅(qū)動(dòng)裝置，使用按照第四方案的驅(qū)動(dòng)裝置。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的編碼器的一例的剖視圖。

圖2是表示本實(shí)施方式的電機(jī)裝置的一例的剖視圖。

圖3是表示本實(shí)施方式的電機(jī)裝置的一部分的例子的剖視圖。

圖4是表示本實(shí)施方式的編碼器的安裝方法的一例的工序圖。

圖5是表示本實(shí)施方式的編碼器的安裝方法的一例的工序圖。

圖6是表示本實(shí)施方式的編碼器的安裝方法的一例的工序圖。

圖7是表示本實(shí)施方式的編碼器的安裝方法的一例的工序圖。

圖8是表示實(shí)施方式的機(jī)械手裝置的一例的立體圖。

圖9是表示實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)裝置的一例的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。

<編碼器>

圖1是表示實(shí)施方式的編碼器ec的整體結(jié)構(gòu)的剖視圖，是表示安裝于電機(jī)裝置mtr之前的狀態(tài)的圖。如圖1所示，編碼器ec具有刻度盤(pán)10、主體部50以及保持部件40。另外，在圖1中，用單點(diǎn)劃線(xiàn)示出電機(jī)裝置(驅(qū)動(dòng)裝置)mtr的一部分(電機(jī)主體bd以及軸部件sf)。

刻度盤(pán)10具有圖案形成部11以及安裝部12?？潭缺P(pán)10配置成繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)。圖案形成部11形成為以旋轉(zhuǎn)軸ax為中心而具有規(guī)定的直徑的圓形。圖案形成部11使用例如玻璃、金屬、樹(shù)脂或陶瓷等具有不會(huì)因旋轉(zhuǎn)、沖擊或振動(dòng)等而容易變形這種程度的剛性的材料形成。關(guān)于圖案形成部11的材料、厚度、尺寸等，可以根據(jù)例如將要安裝的軸部的轉(zhuǎn)速、被設(shè)置的溫度或濕度等設(shè)置環(huán)境等或其用途而適當(dāng)確定。圖案形成部11由圓板形狀構(gòu)成，在表面形成有光反射圖案11a。光反射圖案11a繞著旋轉(zhuǎn)軸ax的軸向形成。

安裝部12從圖案形成部11突出地形成為圓筒狀。安裝部12安裝于測(cè)定對(duì)象的旋轉(zhuǎn)部件，例如安裝于電機(jī)裝置mtr的軸部件sf等。在安裝部12上形成有凹部12a以及鍵槽12b。能夠?qū)⒑笫龅妮S部件sf的插入部sfa插入凹部12a。另外，能夠?qū)⒑笫龅妮S部件sf的銷(xiāo)sfb插入鍵槽12b。

在刻度盤(pán)10的外周形成有錐形面10a。錐形面10a形成為從后述的框體21的外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)擴(kuò)展。刻度盤(pán)10在錐形面10a抵接于框體21的狀態(tài)下嵌合于該框體21。另外，從旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上看，在刻度盤(pán)10的中央部形成有通孔10b。通孔10b與凹部12a連通。在通孔10b以規(guī)定的間距形成有螺紋牙。

主體部50具有基體部20和罩部30。

基體部20具有框體21和檢測(cè)基板(檢測(cè)部)22。

框體21形成為例如圓筒狀。在框體21的內(nèi)周面形成有嵌合部21a。嵌合部21a用于嵌合上述刻度盤(pán)10，具有與上述錐形面10a對(duì)應(yīng)的錐形形狀?；谶@樣的結(jié)構(gòu)，刻度盤(pán)10以及框體21通過(guò)使錐形面10a以及嵌合部21a相互嵌合來(lái)保持彼此的位置。從旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上看，嵌合部21a形成為以旋轉(zhuǎn)軸ax為中心的圓形。在框體21內(nèi)形成有收容空間21b。收容空間21b在刻度盤(pán)10被固定于軸部件sf時(shí)，在其與電機(jī)主體bd之間收容刻度盤(pán)10。成為如下?tīng)顟B(tài)即固定部件(第一固定部件)51的一部分被插入到框體21的狀態(tài)。固定部件51將框體21(基體部20)固定于電機(jī)主體bd。固定部件51在框體21上設(shè)置有多個(gè)，具有頭部51a以及螺紋部51b。

檢測(cè)基板22例如是俯視時(shí)形成為圓形的板狀部件。檢測(cè)基板22與框體21一體形成，例如安裝于框體21的端面。檢測(cè)基板22具有光射出部22a以及受光部22b。光射出部22a向形成于刻度盤(pán)10的光反射圖案11a射出光。受光部22b檢測(cè)來(lái)自光反射圖案11a的反射光。檢測(cè)基板22能夠基于受光部22b的檢測(cè)結(jié)果來(lái)檢測(cè)光反射圖案11a。

罩部30覆蓋刻度盤(pán)10以及基體部20，例如安裝于基體部20。罩部30使用例如鐵、鈷、鎳等磁性體而形成。罩部30在處于后述的磁鐵42的磁力起作用的范圍內(nèi)的至少一部分設(shè)置有磁性體即可。在罩部30上形成有插通部30a以及開(kāi)口部30b。插通部30a使保持部件40的一部分從罩部30的外部插通到內(nèi)部。插通部30a貫穿罩部30的內(nèi)外而形成。插通部30a在編碼器ec被安裝于電機(jī)裝置mtr時(shí)配置在旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)上。插通部30a向罩部30的內(nèi)側(cè)突出地形成。另外，開(kāi)口部30b能夠供上述固定部件51插通。開(kāi)口部30b以與固定部件51的安裝位置對(duì)應(yīng)的方式繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)設(shè)置有多個(gè)。

保持部件40在將編碼器ec安裝于電機(jī)裝置mtr時(shí)使用。保持部件40具有抵接部41和磁鐵(推壓部)42。

抵接部41從外側(cè)安裝于罩部30。抵接部41能夠裝卸地設(shè)置于罩部30。抵接部41配置在旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上。抵接部41具有基部41a、筒狀部41b以及防脫部41c。基部41a配置在罩部30的外側(cè)，從旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上看，例如形成為圓環(huán)狀?；?1a從旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上看，在中央部具有傾斜部41d。傾斜部41d向罩部30側(cè)突出地形成。

筒狀部41b與基部41a的傾斜部41d連接，例如形成為圓筒狀。另外，關(guān)于筒狀部41b的形狀，并不限于圓筒狀，也可以是其他的形狀。筒狀部41b被插入到罩部30的插通部30a。筒狀部41b沿著旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向配置。另外，筒狀部41b的內(nèi)壁部(引導(dǎo)部)41e沿著旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向配置。筒狀部41b的前端(圖1的下側(cè)端部)抵接于刻度盤(pán)10。筒狀部41b配置成在抵接于刻度盤(pán)10的狀態(tài)下包圍通孔10b。

防脫部41c從基部41a的外周朝向徑向的外側(cè)形成為凸緣狀。防脫部41c從旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上看，形成為覆蓋固定部件51。由此，防脫部41c可以在固定部件51欲沿旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向脫落時(shí)，抵接于該固定部件51而防止脫落。

磁鐵42例如形成為圓環(huán)狀，配置在抵接部41中的、罩部30的外側(cè)部分。在本實(shí)施方式中，磁鐵42被固定于例如基部41a中的與罩部30相向的面的相反側(cè)的面。另外，關(guān)于磁鐵42的形狀，并不限于圓環(huán)狀，也可以是其他的形狀。另外，也可以是多個(gè)磁鐵繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)排列而配置的結(jié)構(gòu)。另外，關(guān)于磁鐵42的配置，也可以在例如基部41a中的與罩部30相向的面上設(shè)置磁鐵42。

磁鐵42在其與罩部30之間作用磁力(引力)。磁鐵42借助該磁力以向罩部30側(cè)被吸引的狀態(tài)設(shè)置。由此，磁鐵42沿著旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向?qū)⒌纸硬?1向刻度盤(pán)10側(cè)推壓。

在抵接部41上安裝有位置調(diào)節(jié)手柄(調(diào)節(jié)用工具)60。位置調(diào)節(jié)手柄60具有頭部61、軸部62以及擴(kuò)徑部63。頭部61例如形成為圓板狀，直徑比上述傾斜部41d以及筒狀部41b大。軸部62的直徑比筒狀部41b小，被插入到筒狀部41b的內(nèi)部。軸部62例如形成為圓柱狀。軸部62的前端(圖1的下側(cè)端部)62a形成為能夠插入到刻度盤(pán)10的通孔10b。該前端62a繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸向形成有用于擰合于通孔10b的螺紋牙。在本實(shí)施方式中，前端62a以與通孔10b擰合的狀態(tài)設(shè)置。由此，在例如頭部61側(cè)相對(duì)于軸部62側(cè)配置在重力方向的下方的情況等下，可以防止位置調(diào)節(jié)手柄60脫落。

另外，例如通過(guò)使頭部61繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)，可以將前端62a和通孔10b的擰合緊固或松開(kāi)。另外，例如在前端62a和通孔10b充分緊固的狀態(tài)下進(jìn)一步向緊固的方向使頭部61旋轉(zhuǎn)，從而可以將旋轉(zhuǎn)傳遞到刻度盤(pán)10。由此，可以調(diào)節(jié)刻度盤(pán)10的旋轉(zhuǎn)位置。擴(kuò)徑部63設(shè)置在頭部61和軸部62之間。擴(kuò)徑部63具有比筒狀部41b的內(nèi)徑大的直徑以便抵接于基部41a的傾斜部41d。通過(guò)使擴(kuò)徑部63抵接于傾斜部41d，從而進(jìn)行限制以免軸部62被插入筒狀部41b規(guī)定深度以上。

另外，在基部41a和罩部30之間配置有止動(dòng)部(刻度盤(pán)移動(dòng)限制部)70。止動(dòng)部70形成為板狀，在基部41a和罩部30之間能夠裝卸地設(shè)置。在配置有止動(dòng)部70的狀態(tài)下，止動(dòng)部70限制抵接部41向刻度盤(pán)10側(cè)的移動(dòng)。由此，刻度盤(pán)10向電機(jī)裝置mtr側(cè)的移動(dòng)被限制。這樣，止動(dòng)部70經(jīng)由保持部件40限制刻度盤(pán)10向電機(jī)裝置mtr側(cè)的移動(dòng)。

在本實(shí)施方式的編碼器ec中，刻度盤(pán)10的錐形面10a抵接于嵌合部21a，從而限制刻度盤(pán)10向從電機(jī)主體bd離開(kāi)的方向移動(dòng)。另外，借助擰合于刻度盤(pán)10的位置調(diào)節(jié)手柄60、限制位置調(diào)節(jié)手柄60的移動(dòng)的抵接部41、以及限制抵接部41的移動(dòng)的止動(dòng)部70，來(lái)限制刻度盤(pán)10向接近電機(jī)主體bd的方向移動(dòng)。這樣，刻度盤(pán)10成為向旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向的移動(dòng)被限制的狀態(tài)。另外，在拆卸了止動(dòng)部70的狀態(tài)下，基于止動(dòng)部70的移動(dòng)的限制被解除，刻度盤(pán)10能夠向電機(jī)裝置mtr側(cè)移動(dòng)。

<驅(qū)動(dòng)裝置>

圖2是表示安裝有編碼器ec的狀態(tài)下的電機(jī)裝置(驅(qū)動(dòng)裝置)mtr的整體結(jié)構(gòu)的剖視圖。

如圖2所示，電機(jī)裝置mtr具有：軸部件(旋轉(zhuǎn)部件)sf、驅(qū)動(dòng)軸部件sf旋轉(zhuǎn)的非旋轉(zhuǎn)部即電機(jī)主體(驅(qū)動(dòng)部)bd、以及檢測(cè)軸部件sf的旋轉(zhuǎn)信息的編碼器ec。

軸部件sf具有負(fù)荷側(cè)端部sf1和負(fù)荷相反側(cè)端部sf2。負(fù)荷側(cè)端部sf1與減速器等其他的動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)連接。在負(fù)荷相反側(cè)端部sf2固定有編碼器ec的刻度盤(pán)10。另外，在電機(jī)主體bd上安裝有編碼器ec的框體21。

框體21經(jīng)由固定部件51被固定于電機(jī)主體bd。另外，在電機(jī)主體bd上形成有用于插入固定部件51的安裝孔。

另外，刻度盤(pán)10經(jīng)由固定部件(第二固定部件)52被固定于軸部件sf。作為固定部件52，例如使用nyloc螺釘(將尼龍附著于螺紋部來(lái)防脫的螺釘)等。固定部件52具有頭部52a以及螺紋部52b。頭部52a具有比通孔10b大的直徑，能夠?qū)⒖潭缺P(pán)10緊固連結(jié)于軸部件sf側(cè)。螺紋部52b具有能夠插入到通孔10b的直徑。另外，在軸部件sf上形成有用于擰合于螺紋部52b的螺紋孔。

頭部52a具有比上述保持部件40的筒狀部41b的內(nèi)徑小的直徑，能插入到筒狀部41b。在該情況下，固定部件52借助筒狀部41b的內(nèi)壁部41e沿著旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向被引導(dǎo)到刻度盤(pán)10并被插入到通孔10b。這樣，筒狀部41b的內(nèi)壁部41e被用作將固定部件52引導(dǎo)到刻度盤(pán)10的引導(dǎo)部。

另外，刻度盤(pán)10以軸部件sf的插入部sfa被插入到凹部12a且銷(xiāo)sfb被插入到鍵槽12b的狀態(tài)安裝。圖3是表示沿圖2中的a-a截面的結(jié)構(gòu)的圖。如圖3所示，鍵槽12b能夠供設(shè)置于軸部件sf的銷(xiāo)sfb插入。銷(xiāo)sfb以及鍵槽12b用于在繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)的方向上對(duì)軸部件sf和刻度盤(pán)10進(jìn)行定位。

通過(guò)在銷(xiāo)sfb被插入到鍵槽12b的狀態(tài)下將刻度盤(pán)10固定于軸部件sf，在繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)的方向上，電機(jī)裝置mtr和刻度盤(pán)10以成為規(guī)定的位置關(guān)系的方式被固定。另外，繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)的方向上的銷(xiāo)sfb以及鍵槽12b的位置以電機(jī)裝置mtr和刻度盤(pán)10成為所希望的位置關(guān)系的方式預(yù)先設(shè)定。

另外，刻度盤(pán)10的光反射圖案11a與檢測(cè)基板22的光射出部22a以及受光部22b配置成隔著規(guī)定的距離相向。在刻度盤(pán)10被固定于軸部件sf的狀態(tài)下，形成有光反射圖案11a的面與軸部件sf垂直。在該狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向成為與軸部件sf的延伸方向相同的方向。刻度盤(pán)10在被固定于軸部件sf的狀態(tài)下，以與框體21不接觸的方式被收容。

在此，對(duì)安裝于電機(jī)裝置mtr的編碼器ec的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在軸部件sf旋轉(zhuǎn)時(shí)，一體地安裝于該軸部件sf的刻度盤(pán)10以及光反射圖案11a與軸部件sf一體地旋轉(zhuǎn)。關(guān)于檢測(cè)基板22，由于其與軸部件sf未連接，因此，成為不旋轉(zhuǎn)而靜止的狀態(tài)。

在刻度盤(pán)10旋轉(zhuǎn)時(shí)，形成于該刻度盤(pán)10的光反射圖案11a沿旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)。上述的受光部22b通過(guò)讀取從光源射出的光中的經(jīng)由光反射圖案11a反射的反射光，可以基于光反射圖案11a的移動(dòng)角度等檢測(cè)軸部件sf的旋轉(zhuǎn)信息(例如旋轉(zhuǎn)角度、轉(zhuǎn)速)。這樣一來(lái)，編碼器ec可以檢測(cè)軸部件sf的旋轉(zhuǎn)信息。

<編碼器的安裝方法>

接著，對(duì)將編碼器ec安裝于電機(jī)裝置mtr的順序進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，以在軸部件sf相對(duì)于電機(jī)主體bd位于重力方向的下方的狀態(tài)下配置電機(jī)裝置mtr的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。

首先，如圖4(a)所示，使軸部件sf插入到刻度盤(pán)10的凹部12a并將編碼器ec配置在電機(jī)主體bd上。由此，在刻度盤(pán)10和軸部件sf嵌合的狀態(tài)下，確定電機(jī)主體bd和基體部20(框體21以及檢測(cè)基板22)的位置。即，基體部20以電機(jī)裝置mtr的電機(jī)軸嵌合基準(zhǔn)被定位。

在該狀態(tài)下，固定部件51的頭部51a側(cè)配置在重力方向的下方，因此，擔(dān)心因重力而導(dǎo)致固定部件51從框體21沿著旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向脫落。但是，在本實(shí)施方式中，由于在編碼器ec上安裝有保持部件40的抵接部41，相對(duì)于固定部件51在旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上配置有防脫部41c，因此，固定部件51的脫落被限制。在如上所述將基體部20定位后，如圖4(b)所示，利用固定部件51將框體21固定于電機(jī)主體bd(第一固定工序)。

在將框體21固定后，如圖5(a)所示，將止動(dòng)部70拆卸。由此，在抵接部41的基部41a和罩部30之間產(chǎn)生間隙，因此，與該間隙相應(yīng)地，刻度盤(pán)10能夠向電機(jī)主體bd側(cè)移動(dòng)。另外，在拆卸了止動(dòng)部70的狀態(tài)下，磁鐵42利用作用于該磁鐵42與罩部30之間的磁力，將抵接部41向刻度盤(pán)10側(cè)(重力方向的上方)推壓。

接著，使用安裝于保持部件40的位置調(diào)節(jié)手柄60使刻度盤(pán)10繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)節(jié)刻度盤(pán)10的旋轉(zhuǎn)位置(調(diào)節(jié)工序)。在該調(diào)節(jié)工序中，如圖5(b)所示，使刻度盤(pán)10旋轉(zhuǎn)，以使形成于軸部件sf的銷(xiāo)sfb和形成于刻度盤(pán)10的鍵槽12b在旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上重疊。由于來(lái)自抵接部41的推壓力作用于刻度盤(pán)10，因此，在銷(xiāo)sfb和鍵槽12b在旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向上重疊的情況下，如圖6(a)所示，刻度盤(pán)10向電機(jī)主體bd側(cè)移動(dòng)，銷(xiāo)sfb被插入到鍵槽12b。由此，電機(jī)裝置mtr和刻度盤(pán)10被調(diào)節(jié)成處于規(guī)定的位置關(guān)系。另外，由于刻度盤(pán)10向電機(jī)主體bd側(cè)移動(dòng)，因此，刻度盤(pán)10和嵌合部21a之間的嵌合被解除。

此后，如圖6(b)所示，將位置調(diào)節(jié)手柄60從刻度盤(pán)10拆卸并且從保持部件40拔出。在該情況下，來(lái)自抵接部41的推壓力繼續(xù)作用于刻度盤(pán)10，即便在拔出位置調(diào)節(jié)手柄60后，刻度盤(pán)10也由抵接部41支承。由此，可以防止刻度盤(pán)10從軸部件sf脫落。

接著，如圖7(a)所示，將固定部件52插入到筒狀部41b。固定部件52沿旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向由筒狀部41b的內(nèi)壁部41e引導(dǎo)，螺紋部52b被插入到通孔10b。此后，通過(guò)將固定部件52緊固，從而將刻度盤(pán)10固定于軸部件sf。在將刻度盤(pán)10固定后，如圖7(b)所示，將保持部件40從罩部30拔出。由此，編碼器ec被安裝于電機(jī)裝置mtr。

如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，在安裝編碼器ec時(shí)，使用具有抵接部41和磁鐵42的保持部件40，所述抵接部41貫穿罩部30而與刻度盤(pán)10抵接，所述磁鐵42將該抵接部41向刻度盤(pán)10側(cè)推壓，因此，即便在軸部件sf相比電機(jī)主體bd配置在重力方向的下方的情況下，由于由磁鐵42帶來(lái)的推壓力作用于刻度盤(pán)10，所以也可以防止刻度盤(pán)10從軸部件sf脫落。由此，不管電機(jī)裝置mtr的姿勢(shì)如何，都可以安裝編碼器ec。

<機(jī)械手裝置>

說(shuō)明實(shí)施方式的機(jī)械手裝置。圖8是表示實(shí)施方式的機(jī)械手裝置rbt的一例的立體圖。另外，圖8示意性地表示機(jī)械手裝置rbt的一部分(關(guān)節(jié)部分)的結(jié)構(gòu)。在以下的說(shuō)明中，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同或同等的結(jié)構(gòu)部分，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略或簡(jiǎn)化說(shuō)明。如圖8所示，機(jī)械手裝置rbt具有第一臂ar1、第二臂ar2以及關(guān)節(jié)部jt，成為第一臂ar1和第二臂ar2經(jīng)由關(guān)節(jié)部jt連接的結(jié)構(gòu)。

在第一臂ar1上具有臂部101和軸承101a、101b。在第二臂ar2上設(shè)置有臂部102和連接部102a。在關(guān)節(jié)部jt，在軸承101a、101b之間配置有連接部102a。連接部102a與軸部件sf2一體地設(shè)置。在關(guān)節(jié)部jt，軸部件sf2成為被插入到軸承101a、101b雙方的狀態(tài)。軸部件sf2中的被插入到軸承101b側(cè)的端部，貫穿軸承101b而與減速器rg連接。

減速器rg與電機(jī)裝置mtr連接，將電機(jī)裝置mtr的旋轉(zhuǎn)減速到例如百分之一等并傳遞到軸部件sf2。作為電機(jī)裝置mtr，使用圖2所示的電機(jī)裝置mtr。雖然在圖8中未圖示，但電機(jī)裝置mtr的軸部件sf中的負(fù)荷側(cè)端部sf1與減速器rg連接。另外，在電機(jī)裝置mtr的軸部件sf中的負(fù)荷相反側(cè)端部sf2安裝有編碼器ec的刻度盤(pán)10。

在驅(qū)動(dòng)電機(jī)裝置mtr而使軸部件sf旋轉(zhuǎn)時(shí)，如上所述構(gòu)成的機(jī)械手裝置rbt的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由減速器rg被傳遞到軸部件sf2。借助軸部件sf2的旋轉(zhuǎn)，連接部102a一體地旋轉(zhuǎn)，由此，第二臂ar2相對(duì)于第一臂ar1旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，編碼器ec對(duì)軸部件sf的旋轉(zhuǎn)位置等進(jìn)行檢測(cè)。因此，通過(guò)使用來(lái)自編碼器ec的輸出，可以檢測(cè)第二臂ar2的旋轉(zhuǎn)位置。

這樣根據(jù)機(jī)械手裝置rbt，由于搭載旋轉(zhuǎn)量的控制性?xún)?yōu)異的小型的電機(jī)裝置mtr，因此，可以使機(jī)械手裝置rbt整體小型化。另外，由于具有小型的編碼器ec，因此，從關(guān)節(jié)部jt的突出變小，可以抑制該突出與其他設(shè)備等干涉。另外，作為機(jī)械手裝置rbt，并不限定于上述結(jié)構(gòu)，例如，可以將電機(jī)裝置mtr搭載于具有關(guān)節(jié)的各種機(jī)械手裝置。

<移動(dòng)臺(tái)裝置>

說(shuō)明實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)裝置。圖9是表示移動(dòng)臺(tái)裝置stg的實(shí)施方式的一例的立體圖。另外，圖9成為如下的結(jié)構(gòu)：在圖2所示的電機(jī)裝置mtr的軸部件sf中的負(fù)荷側(cè)端部sf1安裝有旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)(移動(dòng)物體)st的結(jié)構(gòu)。在以下的說(shuō)明中，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同或同等的結(jié)構(gòu)部分，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略或簡(jiǎn)化說(shuō)明。

在驅(qū)動(dòng)電機(jī)裝置mtr而使軸部件sf旋轉(zhuǎn)時(shí)，如上所述構(gòu)成的移動(dòng)臺(tái)裝置stg的旋轉(zhuǎn)被傳遞到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)st。此時(shí)，編碼器ec對(duì)軸部件sf的旋轉(zhuǎn)位置等進(jìn)行檢測(cè)。因此，通過(guò)使用來(lái)自編碼器ec的輸出，可以檢測(cè)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)st的旋轉(zhuǎn)位置。另外，也可以在電機(jī)裝置mtr的負(fù)荷側(cè)端部sf1和旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)st之間配置減速器等。

這樣根據(jù)移動(dòng)臺(tái)裝置stg，由于搭載旋轉(zhuǎn)量的控制性?xún)?yōu)異的小型的電機(jī)裝置mtr，因此，可以得到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)st的位置調(diào)節(jié)精度優(yōu)異的移動(dòng)臺(tái)裝置stg，可以使移動(dòng)臺(tái)裝置stg整體小型化。另外，作為移動(dòng)臺(tái)裝置stg，也可以應(yīng)用于例如車(chē)床等機(jī)床所具有的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)等。

以上，對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于上述說(shuō)明，可以在不脫離本發(fā)明的要點(diǎn)的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。

例如，在上述實(shí)施方式中，以在將保持部件40安裝于罩部30的狀態(tài)下將基體部20固定于電機(jī)主體bd的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于此。例如，也可以在將基體部20固定于電機(jī)主體bd后，在調(diào)節(jié)工序之前將保持部件40安裝于罩部30。另外，也可以在將保持部件40安裝于罩部30之后將位置調(diào)節(jié)手柄60安裝于保持部件40。

另外，在上述實(shí)施方式中，以在抵接部41設(shè)置有筒狀部41b的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于筒狀的結(jié)構(gòu)。例如，只要是繞旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)配置有多個(gè)棒狀部件的結(jié)構(gòu)等能夠?qū)潭ú考?2、位置調(diào)節(jié)手柄60的軸部62進(jìn)行引導(dǎo)的結(jié)構(gòu)即可，也可以是其他的形狀。

另外，在上述實(shí)施方式中，作為推壓部以磁鐵42為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于此，也可以是其他的結(jié)構(gòu)。例如，也可以在抵接部41和罩部30之間以拉拽兩者的方式配置彈簧部件或橡膠部件等彈性體，將該彈性體作為推壓部。在該情況下，抵接部41借助彈性體的彈性力被拉近到罩部30，從而對(duì)刻度盤(pán)10進(jìn)行推壓。另外，彈性體并不限于配置在抵接部41和罩部30之間的結(jié)構(gòu)，也可以設(shè)置于抵接部41中的與罩部30相反的一側(cè)。

另外，在上述實(shí)施方式中，以推壓部沿旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向?qū)Φ纸硬?1進(jìn)行推壓的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于此，也可以沿相對(duì)于該軸線(xiàn)方向傾斜的方向?qū)Φ纸硬?1進(jìn)行推壓。例如，在電機(jī)裝置mtr的軸部件sf相對(duì)于重力方向傾斜地配置的情況等下，也可以采用如下結(jié)構(gòu)：并非沿著旋轉(zhuǎn)軸ax的軸線(xiàn)方向，而沿著重力方向的上方對(duì)抵接部41進(jìn)行推壓。

另外，在上述實(shí)施方式中，以在抵接部41的基部41a的外周設(shè)置有防脫部41c的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于此，也可以是沒(méi)有設(shè)置防脫部41c的結(jié)構(gòu)。另外，關(guān)于抵接部41的筒狀部41b的結(jié)構(gòu)，也可以是不對(duì)固定部件52、位置調(diào)節(jié)手柄60的軸部62進(jìn)行引導(dǎo)的結(jié)構(gòu)。作為這樣的結(jié)構(gòu)，列舉例如棒狀的結(jié)構(gòu)等。

另外，在上述實(shí)施方式中，以在罩部30上設(shè)置有磁性體的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于此。例如，也可以是在主體部50的基體部20上設(shè)置有磁性體的結(jié)構(gòu)。在該情況下，磁鐵42借助在該磁鐵42和設(shè)置于基體部20的磁性體之間作用的磁力，可以將抵接部41向刻度盤(pán)10側(cè)推壓。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

mtr電機(jī)裝置ax旋轉(zhuǎn)軸sf軸部件sfb銷(xiāo)bd電機(jī)主體rbt機(jī)械手裝置ec編碼器stg移動(dòng)臺(tái)裝置10刻度盤(pán)11a光反射圖案12b鍵槽20基體部22檢測(cè)基板22a光射出部22b受光部30罩部40保持部件41抵接部42磁鐵51、52固定部件60位置調(diào)節(jié)手柄70止動(dòng)部