技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及具有膜片的壓力感測集成電路器件。一種集成電路(IC)器件包括壓力傳感器管芯、覆蓋著至少管芯的壓力感測區(qū)的柔性凝膠，以及覆蓋著凝膠的柔性膜片。集成電路器件具有用于限定膜片上方的腔體的密封劑和蓋子。蓋子具有可使器件外部的最近的環(huán)境氣壓能夠通過柔性膜片和柔性凝膠由壓力感測區(qū)感測到的孔口。膜片保護(hù)凝膠材料以免受周圍材料的潛在破壞。膜片可以是管子的一部分。

技術(shù)研發(fā)人員：小M·L·欽;A·M·黛斯卡爾汀;A·M·阿拉亞塔
受保護(hù)的技術(shù)使用者：飛思卡爾半導(dǎo)體公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.11
技術(shù)公布日：2017.10.24