技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種測(cè)量非透明薄膜厚度分布的雙面干涉裝置和方法，所述方法設(shè)置了兩個(gè)物光對(duì)向、共軸的白光干涉光路，位移臺(tái)帶動(dòng)厚度標(biāo)樣或薄膜樣品沿物光光軸方向步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，兩個(gè)面陣探測(cè)器采集厚度標(biāo)樣或薄膜樣品表面的形貌信息，通過(guò)厚度標(biāo)樣標(biāo)定兩個(gè)干涉物鏡的干涉焦面間的距離，進(jìn)而計(jì)算薄膜樣品厚度分布，應(yīng)用本方法制成的測(cè)量裝置，無(wú)需輔助夾具，可實(shí)現(xiàn)非透明薄膜厚度分布的快速、無(wú)損和精確測(cè)量。

技術(shù)研發(fā)人員：王宗偉;孟婕;王琦;馬小軍;高黨忠;唐興;杜凱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心
文檔號(hào)碼：201610516647
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.05
技術(shù)公布日：2016.11.23