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      加速度傳感器及其制造方法與流程

      文檔序號:12713997閱讀:來源:國知局
      技術總結
      本發(fā)明提供一種加速度傳感器,其包括:移動電極,其在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一個方向上延伸,并包括多個彼此連接的平面圖案;以及與移動電極形成電容的對置電極,其中,多個平面圖案包括:第一框架圖案;將移動電極固定到周圍結構的第一錨固件圖案;第一彈簧圖案,其連接第一框架圖案和第一錨固件圖案,并具有第一方向的拉伸方向;第二彈簧圖案,其連接第一框架圖案和第一錨固件圖案,并具有第二方向的拉伸方向;翼形件圖案;以及第三彈簧圖案,其連接第一框架圖案和翼形件圖案,并具有與第一方向和第二方向垂直的第三方向的拉伸方向。

      技術研發(fā)人員:李熙元
      受保護的技術使用者:現代自動車株式會社
      文檔號碼:201610532843
      技術研發(fā)日:2016.07.07
      技術公布日:2017.06.20

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