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      一種用于壓力傳感器封裝的金屬外殼組合的制作方法

      文檔序號(hào):12356984閱讀:1304來(lái)源:國(guó)知局

      本發(fā)明屬于電子元器件封裝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于壓力傳感器封裝的金屬外殼組合。



      背景技術(shù):

      伴隨著傳感器技術(shù)的不斷研究與進(jìn)步,壓力傳感器被越來(lái)越多地使用在如航空航天、深海探測(cè)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)和爆炸力學(xué)等領(lǐng)域中,這些應(yīng)用領(lǐng)域工作環(huán)境惡劣如強(qiáng)酸強(qiáng)堿環(huán)境、超低溫環(huán)境、高壓力環(huán)境等特點(diǎn)。采用非隔離式封裝的壓力傳感器進(jìn)行測(cè)量的氣體或液體,要求它們是不具有腐蝕性質(zhì)的,因此對(duì)芯片等組件不會(huì)造成傷害,但是這類傳感器通常量程較小。此外,非隔離式封裝的壓力傳感器會(huì)受到濕氣的影響,造成壓力傳感器的參數(shù)蠕變等情況發(fā)生從而降低測(cè)量的性能甚至?xí)顗毫鞲衅魇А?/p>



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種用于壓力傳感器封裝的金屬外殼組合,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能夠?qū)毫鞲衅鞯男酒c待測(cè)介質(zhì)分隔開(kāi)來(lái),使用可靠性高。

      為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的,本發(fā)明采取的技術(shù)方案為:

      一種用于壓力傳感器封裝的金屬外殼組合,包括金屬外殼、波紋膜片、壓環(huán)、保護(hù)平臺(tái)、硅油通道、環(huán)形凸臺(tái)、密封圈安裝槽、安裝固定槽、充油腔體,所述的金屬外殼頂部設(shè)有所述的環(huán)形凸臺(tái),所述的金屬外殼外圈設(shè)有密封圈安裝槽,所述的金屬外殼底面設(shè)有安裝固定槽,所述的金屬外殼內(nèi)部設(shè)有充油腔體,所述的波紋膜片的外圈平臺(tái)底面與環(huán)形凸臺(tái)的頂面焊合,所述的波紋膜片的外圈平臺(tái)頂面與壓環(huán)的底面焊合,所述的硅油通道連通硅油腔體及波紋膜片與保護(hù)平臺(tái)形成的空間,所述的密封圈安裝槽靠近金屬外殼的上部,所述的充油腔體底面未封閉。

      為優(yōu)化上述技術(shù)方案,采取的具體措施還包括:

      上述的金屬外殼、壓環(huán)及波紋膜片的材料均采用304不銹鋼。

      上述的金屬外殼為上部直徑小,下部直徑大的梯形形狀。

      上述的波紋膜片的波紋形狀呈正玄曲線。

      金屬外殼組件采用304不銹鋼,抗硅油的腐蝕能力強(qiáng)、價(jià)格低廉且可焊性好,金屬外殼組件與帶有壓力芯片的TO基座焊合,組成密封的充油腔體,充油腔體里充滿純凈的硅油,當(dāng)波紋膜片受到外力后發(fā)生形變產(chǎn)生的力傳遞給硅油,然后硅油將壓力無(wú)損的傳遞到壓力芯片的表面上,平臺(tái)的設(shè)計(jì)可以避免當(dāng)波紋膜片受到的壓力急劇增大時(shí),波紋膜片可以落在平臺(tái)的表面上,避免磕碰造成損傷,能夠保證長(zhǎng)期使用的高靈敏度與準(zhǔn)確度。

      本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能夠?qū)毫鞲衅鞯男酒c待測(cè)介質(zhì)分隔開(kāi)來(lái),使用可靠性高,可用于各種硅壓阻式壓力傳感器的封裝。

      附圖說(shuō)明

      圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)視圖。

      其中的附圖標(biāo)記為:金屬外殼1、壓環(huán)2、波紋膜片3、密封圈安裝槽4、安裝固定槽5、平臺(tái)6、硅油通道7、充油腔體8。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作出進(jìn)一步說(shuō)明:

      一種用于壓力傳感器封裝的金屬外殼組合,其中:包括金屬外殼1、波紋膜片2、壓環(huán)3、保護(hù)平臺(tái)4、硅油通道5、環(huán)形凸臺(tái)6、密封圈安裝槽7、安裝固定槽8、充油腔體9,所述的金屬外殼1頂部設(shè)有所述的環(huán)形凸臺(tái)6,所述的金屬外殼1外圈設(shè)有密封圈安裝槽7,所述的金屬外殼1底面設(shè)有安裝固定槽8,所述的金屬外殼1內(nèi)部設(shè)有充油腔體9,所述的波紋膜片2的外圈平臺(tái)底面與環(huán)形凸臺(tái)6的頂面焊合,所述的波紋膜片2的外圈平臺(tái)頂面與壓環(huán)3的底面焊合,所述的硅油通道7連通硅油腔體9及波紋膜片2與保護(hù)平臺(tái)4形成的空間,所述的密封圈安裝7靠近金屬外殼1的上部,所述的充油腔體9底面未封閉。

      實(shí)施例中,金屬外殼1、壓環(huán)2及波紋膜片3的材料均的材料采用304不銹鋼。

      實(shí)施例中,金屬外殼1為上部直徑小,下部直徑大的梯形形狀。

      實(shí)施例中,波紋膜片3的波紋形狀呈正玄曲線。

      金屬外殼的大小、形狀可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)定,平臺(tái)和硅油腔體大小也可根據(jù)情況作改動(dòng)。

      以上僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,本發(fā)明的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例,凡屬于本發(fā)明思路下的技術(shù)方案均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。

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