本發(fā)明關(guān)于一種探針結(jié)構(gòu)與探針裝置，特別是一種適用于半導(dǎo)體晶圓測試的探針結(jié)構(gòu)與探針裝置。

背景技術(shù)：

集成電路進(jìn)行測試時，測試機是通過一探針卡與待測的集成電路點觸而電性連接，并通過信號傳輸及信號分析來獲得待測集成電路的測試結(jié)果。常用的探針卡通常是由一電路板及一探針裝置組成，或者還包含有一設(shè)于電路板及探針裝置之間的空間轉(zhuǎn)換器，其中探針裝置設(shè)有多個對應(yīng)待測集成電路的電性接點而排列的探針，以通過所述多個探針同時點觸所述多個電性接點。

請參照圖1與圖2，分別為傳統(tǒng)探針結(jié)構(gòu)的分解圖以及傳統(tǒng)探針卡的局部剖視示意圖，分別繪示一傳統(tǒng)探針結(jié)構(gòu)11以及一傳統(tǒng)探針卡14的局部。傳統(tǒng)探針結(jié)構(gòu)11包含有一針體12，以及套設(shè)于針體12外的一彈簧套筒13，彈簧套筒13具有二個彈簧段138，二個彈簧段138之間被一個非彈性段所隔開。傳統(tǒng)探針卡14包含有一電路基板15及一探針裝置16，電路基板15可為一電路板或一空間轉(zhuǎn)換器，探針裝置16包含有一探針座17及多個探針結(jié)構(gòu)11，圖2僅繪示出局部的電路基板15、探針座17以及一探針結(jié)構(gòu)11，以便說明。

在進(jìn)行探針結(jié)構(gòu)11的組立時，將針體12插入彈簧套筒13中，然后將位于彈簧套筒13的一端的一結(jié)合部132與針體12相互壓合，再通過焊接而相互固定。結(jié)合部132具有因前述的壓合及焊接程序所形成之二個凸出部134，各凸出部134凸出于彈簧套筒13未受壓合部位的一外筒面136。

探針座17主要可區(qū)分為上導(dǎo)板171、中導(dǎo)板172及下導(dǎo)板173(也可以僅有上導(dǎo)板171、下導(dǎo)板173而沒有中導(dǎo)板172)。上導(dǎo)板171、中導(dǎo)板172及下導(dǎo)板173垂直疊合且定義出多個用以安裝探針結(jié)構(gòu)11的安裝孔174(圖2僅繪示一安裝孔174)。為了使探針結(jié)構(gòu)11能自組裝完成的探針座17的頂面175安裝入安裝孔174，且讓探針結(jié)構(gòu)11在點觸待測組件且發(fā)生轉(zhuǎn)動時能在安裝孔174內(nèi)自由轉(zhuǎn)動，安裝孔174被設(shè)計成圓孔且其半徑必須大于各凸出部134與探針結(jié)構(gòu)11中心的最大距離。

探針裝置16組裝完成后，該電路基板15固定于探針座17的頂面175，彈簧套筒13的頂端與電路基板15的電性接點電性連接，針體12的底端用以點觸待測組件的電性接點。由于頂端抵觸于電路基板15的彈簧套筒13具有可彈性壓縮的二個彈簧段138，而針體12的下段與彈簧套筒13下端的結(jié)合部132固接，且針體12頂端與電路基板15(彈簧套筒13的頂端)存留有一間隙18，當(dāng)針體12的底端抵觸于待測組件的電性接點并相對進(jìn)給時，針體12將內(nèi)縮，進(jìn)而壓縮彈簧套筒13，因此，探針結(jié)構(gòu)11不但能與待測組件的電性接點確實接觸并電性導(dǎo)通，更可通過彈簧套筒13所提供的緩沖功能來避免接觸力過大而造成待測組件的電性接點或針體損壞或過度磨損。

請參照圖3，當(dāng)探針裝置16組裝完成時，此時整個彈簧套筒13共被壓縮了x1的長度，彈簧套筒13所對應(yīng)的彈力為f1。當(dāng)針體12的尖端略微穿透待測組件的焊墊表面(或稱電性接點)而處于測試狀態(tài)時，整個彈簧套筒13共被壓縮了x2的長度，此時彈簧套筒13對應(yīng)的彈力從f1提升至f2。

由于傳統(tǒng)探針結(jié)構(gòu)11本身的彈簧套筒13的二彈簧段138其個別可壓縮的行程均遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于探針結(jié)構(gòu)11組裝到探針座17與電路板15時所需的預(yù)壓行程加上探針施加力量于焊墊表面時所導(dǎo)致的壓縮行程。也就是在針測過程中，彈簧套筒13的二彈簧段138均是處于可自由壓縮的狀態(tài)，因此，針體12施加于焊墊表面的作用力f相對于彈簧套筒13的壓縮量x呈一直線關(guān)系，如圖3所示。圖中直線的斜率即為二彈簧段138的等效彈簧常數(shù)。舉例而言，二彈簧段138的彈簧常數(shù)分別為kx與ky，由于二彈簧段138為串聯(lián)，因此等效彈簧常數(shù)

前述組裝預(yù)壓是為了提高組裝后各個針體12的針尖平整度，也就是讓針尖能位在同一水平面上，此外，彈簧套筒13的彈簧常數(shù)不能太大，否則預(yù)壓完之后的探針座可能會出現(xiàn)翹曲的現(xiàn)象。然而，在進(jìn)行針測時，針體12的針尖必須穿透待測組件的焊墊表面的氧化層，若是彈簧套筒13的彈簧常數(shù)不夠大，則彈簧套筒13必須被壓縮較長的行程后才能提供足夠的反作用力讓針體12的針尖穿透焊墊表面的氧化層。反之，若是彈簧套筒13的彈簧常數(shù)夠大，則彈簧套筒13僅需略微壓縮便可提供足夠的反作用力讓針體12的針尖穿透焊墊表面的氧化層。也就是說，組裝預(yù)壓階段對于彈簧常數(shù)的要求與實際針測過程對于彈簧常數(shù)的要求是背道而馳的。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種探針結(jié)構(gòu)及探針裝置。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種探針結(jié)構(gòu)，所述探針結(jié)構(gòu)包含：

一筒狀本體，所述筒狀本體具有一中心軸，所述筒狀本體包含：

一第一剛性區(qū)段；

一第一彈簧區(qū)段，所述第一彈簧區(qū)段環(huán)繞所述中心軸且沿所述中心軸延伸，所述第一彈簧區(qū)段一端連接于所述第一剛性區(qū)段的一端；

一第二剛性區(qū)段，所述第二剛性區(qū)段一端連接于所述第一彈簧區(qū)段的另一端；

一第二彈簧區(qū)段，所述第二彈簧區(qū)段環(huán)繞所述中心軸且沿所述中心軸延伸，所述第二彈簧區(qū)段一端連接于所述第二剛性區(qū)段的另一端，所述第二彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)不同于所述第一彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)；及

一針體，所述針體穿設(shè)于所述筒狀本體中，所述針體具有一頭部區(qū)段，所述頭部區(qū)段凸出于所述第一剛性區(qū)段且所述頭部區(qū)段固接于所述第一剛性區(qū)段。

進(jìn)一步的，所述第一彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)及所述第二彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)較小者，包含多個第一彎曲線段與多個第二彎曲線段，所述第一彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)及所述第二彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)較大者，包含多個第三彎曲線段，所述第一彎曲線段的兩端具有沿所述中心軸的一第一距離，所述第二彎曲線段的兩端具有沿所述中心軸的一第二距離。

進(jìn)一步的，所述多個第一彎曲線段與所述多個第二彎曲線段彼此交互間隔且相互連接，所述第一距離小于所述第二距離。

進(jìn)一步的，所述第二彎曲線段的一端連接于所述第二剛性區(qū)段。

進(jìn)一步的，所述筒狀本體還包含一第三剛性區(qū)段，所述第三剛性區(qū)段一端連接于所述第二彈簧區(qū)段的另一端。

進(jìn)一步的，所述筒狀本體還包含一第三彈簧區(qū)段，所述第三彈簧區(qū)段環(huán)繞所述中心軸且沿所述中心軸延伸，所述第三彈簧區(qū)段一端連接于所述第三剛性區(qū)段的另一端。

進(jìn)一步的，所述第一距離為零。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種探針結(jié)構(gòu)，包含：

一筒狀本體，所述筒狀本體具有一中心軸，所述筒狀本體包含：

一彈簧區(qū)段，所述彈簧區(qū)段環(huán)繞所述中心軸且沿所述中心軸延伸，所述彈簧區(qū)段包含多個第一彎曲線段與多個第二彎曲線段，所述多個第一彎曲線段與所述多個第二彎曲線段彼此交互間隔且相互連接，所述第一彎曲線段的兩端沿所述中心軸的一第一距離小于所述第二彎曲線段的兩端沿所述中心軸的一第二距離。

進(jìn)一步的，所述探針結(jié)構(gòu)還包含一第二彈簧區(qū)段，所述彈簧區(qū)段為一第一彈簧區(qū)段，所述第二彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)大于所述第一彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)。

進(jìn)一步的，所述第一距離為零。

進(jìn)一步的，所述探針結(jié)構(gòu)還包含一第一剛性區(qū)段及一第二剛性區(qū)段，設(shè)置順序依序為所述第一剛性區(qū)段、所述第一彈簧區(qū)段、所述第二剛性區(qū)段及所述第二彈簧區(qū)段。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種探針裝置，包含：

一探針座，所述探針座包含一上表面、一下表面與至少一導(dǎo)引道，所述至少一導(dǎo)引道穿過所述探針座且自所述上表面延伸至所述下表面，所述至少一導(dǎo)引道與所述下表面的連接處形成有一頸縮區(qū)；及

至少一前述的探針結(jié)構(gòu)，所述探針結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述至少一導(dǎo)引道中，所述筒狀本體的所述第一剛性區(qū)段的外徑大于所述頸縮區(qū)的內(nèi)徑且抵接于所述頸縮區(qū)，所述針體的所述頭部區(qū)段凸出于所述下表面。

本發(fā)明的有益效果是：所述筒狀本體的至少一彈簧區(qū)段有兩種不同彎曲線段的設(shè)計，使設(shè)計人員可以輕易設(shè)計出適當(dāng)?shù)膹椈沙?shù)值，在組裝的預(yù)壓過程中不會造成整個探針結(jié)構(gòu)發(fā)生嚴(yán)重挫曲而損壞。進(jìn)一步的，所述筒狀本體具有兩個彈簧常數(shù)不同的彈簧區(qū)段，其中一個彈簧區(qū)段有前述的兩種不同彎曲線段的設(shè)計，可以控制所述彈簧區(qū)段壓縮程度的死點，在測試待測的集成電路時，所述筒狀本體受到壓縮使前述兩種不同彎曲線段的設(shè)計的彈簧區(qū)段快速到達(dá)壓縮程度的死點，使筒狀本體的彈簧常數(shù)值等于所述的另外一個彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)。

附圖說明

圖1為傳統(tǒng)探針結(jié)構(gòu)的分解圖。

圖2為傳統(tǒng)探針裝置的局部剖視示意圖。

圖3為傳統(tǒng)探針結(jié)構(gòu)的施力(f)對應(yīng)壓縮行程(x)的關(guān)系圖。

圖4為本發(fā)明第一實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為圖4的2a區(qū)域的局部放大圖。

圖6為圖4的2b區(qū)域的局部放大圖。

圖7a為本發(fā)明第一實施例的第一彈簧區(qū)段的側(cè)視圖。

圖7b為本發(fā)明第一實施例的第一彎曲線段展開圖。

圖7c為本發(fā)明第一實施例的第二彎曲線段展開圖。

圖8為本發(fā)明第二實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(一)。

圖9為本發(fā)明第二實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(二)。

圖10為本發(fā)明第三實施例的探針裝置的局部剖視示意圖。

圖11為本發(fā)明第四實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖。

圖12為本發(fā)明第五實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(一)。

圖13為本發(fā)明第五實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(二)。

圖14為本發(fā)明的探針結(jié)構(gòu)的施力(f)對應(yīng)壓縮行程(x)的關(guān)系圖。

圖15為本發(fā)明第六實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(一)。

圖16為本發(fā)明第六實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(二)。

其中，附圖標(biāo)記：

11傳統(tǒng)探針結(jié)構(gòu)

12針體

13彈簧套筒

132結(jié)合部

138簧段

14傳統(tǒng)探針卡

15電路基板

16探針裝置

17探針座

18間隙

20、30、50、60、70探針結(jié)構(gòu)

21、51筒狀本體

2a第一彈簧區(qū)段的局部區(qū)域

2b第二彈簧區(qū)段的局部區(qū)域

211、611、711第一彈簧區(qū)段

2111、6111、7111、7121第一彎曲線段

2112、6112、7112、7122第二彎曲線段

212、651、712第二彈簧區(qū)段

2121第三彎曲線段

213、751第三彈簧區(qū)段

221、621、721第一剛性區(qū)段

222、622、722第二剛性區(qū)段

223、661、723第三剛性區(qū)段

29、69、69a、69b固接部

31針體

311頭部區(qū)段

312尾部區(qū)段

40探針裝置

41探針座

41a上表面

41b下表面

41c導(dǎo)引道

41d頸縮區(qū)

61、71第一筒狀本體

65、75第二筒狀本體

661第三剛性區(qū)段

662、761第四剛性區(qū)段

762第五剛性區(qū)段

c1、c2、c3、c4、c5、c6中心軸

w2第二距離

具體實施方式

請參照圖4至圖7c，分別為本發(fā)明第一實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖、2a區(qū)域的局部放大圖、2b區(qū)域的局部放大圖、第一彈簧區(qū)段的側(cè)視圖、第一彎曲線段與第二彎曲線段的展開圖。本實施例的探針結(jié)構(gòu)20包含具有一中心軸c1的一筒狀本體21，筒狀本體21自一端至另一端依序可區(qū)分為一第一剛性區(qū)段221、一第一彈簧區(qū)段211、一第二剛性區(qū)段222、一第二彈簧區(qū)段212、以及一第三剛性區(qū)段223。

第一彈簧區(qū)段211包含多個第一彎曲線段2111與多個第二彎曲線段2112，第一彎曲線段2111與第二彎曲線段2112彼此交互間隔且頭尾相連且共同構(gòu)成第一彈簧區(qū)段211。第一彈簧區(qū)段211環(huán)繞著中心軸c1且沿中心軸c1彎曲地延伸。第一剛性區(qū)段221的一端連接于第一彈簧區(qū)段211的一端，另一端則為自由端。第二剛性區(qū)段222的兩端分別連接于第一彈簧區(qū)段211的另一端以及第二彈簧區(qū)段212的一端。第三剛性區(qū)段223的一端連接于第二彈簧區(qū)段212的另一端，第三剛性區(qū)段223的另一端為自由端。

第一彎曲線段2111的兩端沿中心軸c1的一第一距離小于第二彎曲線段2112的兩端沿中心軸c1的一第二距離w2。本實施例中，第一距離為零，而第二距離不等于零，因此未在附圖中標(biāo)示出第一距離。第一距離為零的意思是指第一彎曲線段2111環(huán)繞中心軸c1時，僅在同一平面上環(huán)繞，并沒有沿著中心軸c1的方向延伸。如圖7a所示，第一彎曲線段實質(zhì)上環(huán)繞中心軸c1半圈，其兩端的中心點分別為p1與p2，p1與p2兩點連接所構(gòu)成的向量并不包含沿著中心軸c1方向的分量，也即前述第一距離為零的意思。同樣地，第二距離w2的定義是指每一條第二彎曲線段2112環(huán)繞中心軸c1時，其頭尾兩端的中心點q1與q2二點連接所構(gòu)成的向量沿著中心軸c1方向的分量的絕對值大小。再如圖7b與圖7c所示，若將第一彎曲線段2111與第二彎曲線段2112分別攤平展開來看，第一彎曲線段2111整體呈直線，第二彎曲線段2112整體則并非一直線而是呈曲線或者是由曲線和直線所構(gòu)成的線段。

如圖4與圖6所示，第二彈簧區(qū)段212包含多個第三彎曲線段2121，第三彎曲線段2121環(huán)繞中心軸c1且沿中心軸c1蜿蜒地延伸，每一第三彎曲線段2121實質(zhì)上環(huán)繞中心軸c1一圈。在本實施例中，第二彈簧區(qū)段212的彈簧常數(shù)大于第一彈簧區(qū)段211的彈簧常數(shù)。

如圖7a所示，在第一彈簧區(qū)段211的側(cè)視圖上，第一彎曲線段2111呈水平線，也即第一彎曲線段2111的兩端中心點p1與p2的連接所構(gòu)成的向量沿中心軸c1的分量大小為零，第一彎曲線段2111的兩端中心點p1與p2的連接所構(gòu)成的向量沿中心軸c1的分量大小即相當(dāng)于第一距離。第二彎曲線段2112的兩端中心點q1與q2的連接所構(gòu)成的向量沿中心軸c1的分量大小為第二距離w2，且w2不為零。換句話說，在第一彈簧區(qū)段211的側(cè)視圖上，第一彎曲線段2111的斜率為零，第二彎曲線段2112的斜率則大于零。上述第一距離為零僅為例示，本實施例所要說明的重點在于第一彎曲線段2111的兩端中心點p1與p2的連接所構(gòu)成的向量沿中心軸c1的分量大小不同于第二彎曲線段2112的兩端中心點q1與q2的連接所構(gòu)成的向量沿中心軸c1的分量大小。

請參照圖8與圖9，并配合參考圖14，分別為本發(fā)明第二實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(一)與示意圖(二)以及探針結(jié)構(gòu)的施力(f)對應(yīng)壓縮行程(x)的關(guān)系圖。本實施例與第一實施例的主要差異在于探針結(jié)構(gòu)30除了筒狀本體21外，還包含一針體31。針體31穿設(shè)于筒狀本體21中，其具有一頭部區(qū)段311與一尾部區(qū)段312，頭部區(qū)段311凸出于筒狀本體21的第一剛性區(qū)段221，尾部區(qū)段312的端面則比筒狀本體21的第三剛性區(qū)段223低了d1的距離。如圖9所示，本實施例的針體31的頭部區(qū)段311通過壓合與焊接的方式固接于筒狀本體21的第一剛性區(qū)段221，進(jìn)而形成固接部29。

本實施例的探針結(jié)構(gòu)30進(jìn)一步安裝于測試裝置中時，筒狀本體21會處于被預(yù)壓x1的行程的狀態(tài)。當(dāng)筒狀本體21被預(yù)壓x1的行程時，第一彈簧區(qū)段211被壓縮到無法再被壓縮的程度而達(dá)到死點(deadpoint)的狀態(tài)，或者是處于即將達(dá)到死點的狀態(tài)。且本實施例的第一彈簧區(qū)段211由于具有兩種不同彎曲線段的設(shè)計，使設(shè)計人員可以輕易設(shè)計出適當(dāng)?shù)膹椈沙?shù)值，因而在組裝的預(yù)壓過程中不會造成整個探針結(jié)構(gòu)30發(fā)生嚴(yán)重挫曲而損壞。在預(yù)壓過程中，由第一彈簧區(qū)段211的彈簧常數(shù)k1與第二彈簧區(qū)段212的彈簧常數(shù)k2所構(gòu)成的一等效彈簧常數(shù)ke來決定筒狀本體21的壓縮量與外力的行為，其中在一實施態(tài)樣中，k2為k1的10倍以上。

在執(zhí)行針測過程中，筒狀本體21被進(jìn)一步施壓時(針體31進(jìn)一步下壓)，由于第一彈簧區(qū)段211已經(jīng)處于無法再被壓縮的狀態(tài)或者即將抵達(dá)死點的狀態(tài)，因此針測階段由第二彈簧區(qū)段212的彈簧常數(shù)k2來決定筒狀本體21的壓縮量與外力的行為。上述第一彈簧區(qū)段211處于即將抵達(dá)死點的狀態(tài)指的是第一彈簧區(qū)段211總可壓縮行程為x1，當(dāng)?shù)谝粡椈蓞^(qū)段211已被預(yù)壓到大于x1的90％的程度，但壓縮行程并未達(dá)到x1時，即為上述第一彈簧區(qū)段211處于即將抵達(dá)死點的狀態(tài)。因此，若將組裝過程的預(yù)壓階段以及針測過程的施壓階段合一來看，筒狀本體21的受力f與筒狀本體21的壓縮量x并非呈一直線關(guān)系，而是會如圖14所示，呈現(xiàn)出兩段不同斜率的直線。圖14中的壓縮量x1相當(dāng)于第一彈簧區(qū)段211被壓縮至死點時的壓縮量，其所對應(yīng)的直線的斜率為而壓縮量x1至x2之間所對應(yīng)的直線的斜率則為k2。但若是預(yù)壓階段中，第一彈簧區(qū)段211處于即將抵達(dá)死點的狀態(tài)，則針測過程的前期仍有部分階段其所對應(yīng)的直線的斜率為直到第一彈簧區(qū)段211被壓縮至死點后，所對應(yīng)的直線斜率才會轉(zhuǎn)為k2。

請參照圖10，為本發(fā)明第三實施例的探針裝置的局部剖視示意圖，所繪示的探針裝置40包含有一探針座41與至少一探針結(jié)構(gòu)30。探針座41包含一上表面41a、一下表面41b與一導(dǎo)引道41c，導(dǎo)引道41c穿過整個探針座41且自上表面41a延伸至下表面41b。導(dǎo)引道41c與下表面41b的連接處形成有一頸縮區(qū)41d。通過頸縮區(qū)41d的設(shè)置，當(dāng)探針結(jié)構(gòu)30置入導(dǎo)引道41c中時，由于筒狀本體21的第一剛性區(qū)段221的外徑大于頸縮區(qū)41d的內(nèi)徑，因此可以抵接于頸縮區(qū)41d而不會掉出導(dǎo)引道41c外。

在實際進(jìn)行測試時，如圖1與圖2所示，探針座41的上表面41a還會設(shè)置一電路基板15，將探針結(jié)構(gòu)30放置到導(dǎo)引道41c進(jìn)行探針座41與電路基板15的組裝，筒狀本體21的第三剛性區(qū)段223會接觸電路基板15的電性接點。當(dāng)探針結(jié)構(gòu)30設(shè)置于導(dǎo)引道41c中時，針體31的頭部區(qū)段311凸出于探針座41的下表面41b，借此即可對待測組件進(jìn)行針測。

請參照圖11，為本發(fā)明第四實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖，圖11所繪示的探針結(jié)構(gòu)50具有一筒狀本體51。本實施例的筒狀本體51除了包含第一實施例所述的第一剛性區(qū)段221、第一彈簧區(qū)段211、第二剛性區(qū)段222、第二彈簧區(qū)段212與第三剛性區(qū)段223外，還包含了一第三彈簧區(qū)段213。第三彈簧區(qū)段213的一端連接于第三剛性區(qū)段223。第三彈簧區(qū)段213環(huán)繞中心軸c2且沿中心軸c2蜿蜒地延伸，其一端連接于第三剛性區(qū)段223的另一端，本實施例的第三彈簧區(qū)段213的彈簧常數(shù)大于或等于第二彈簧區(qū)段212的彈簧常數(shù)。

要注意的是，第一彈簧區(qū)段211及第二彈簧區(qū)段212的彈簧常數(shù)并不局限于上述實施例，也可以第一彈簧區(qū)段211的彈簧常數(shù)k1大于第二彈簧區(qū)段212的彈簧常數(shù)k2，在此實施例之下，第二彈簧區(qū)段212包含多個第一彎曲線段與多個第二彎曲線段，而第一彈簧區(qū)段211僅包含多個第三彎曲線段。

換句話說，第一彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)及第二彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)較小者，包含多個第一彎曲線段與多個第二彎曲線段，第一彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)及第二彈簧區(qū)段的彈簧常數(shù)較大者，包含多個第三彎曲線段，第一彎曲線段的兩端具有沿中心軸的第一距離，第二彎曲線段的兩端具有沿中心軸的第二距離。這些第一彎曲線段與第二彎曲線段彼此交互間隔且相互連接，且第一距離小于第二距離。

上述實施例中，不論第一彈簧區(qū)段與第二彈簧區(qū)段哪一個彈簧常數(shù)比較小，只要包含多個第一彎曲線段與多個第二彎曲線段的彈簧區(qū)段，其第二彎曲線段的一端會連接第二剛性區(qū)段。

請參照圖12與圖13，分別為本發(fā)明第五實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(一)與示意圖(二)，其繪示一探針結(jié)構(gòu)60，包含一第一筒狀本體61與一第二筒狀本體65。第一筒狀本體61具有一中心軸c3，其包含第一剛性區(qū)段621、第一彈簧區(qū)段611與第二剛性區(qū)段622。第一彈簧區(qū)段611環(huán)繞筒狀本體61的中心軸c3且沿中心軸c3延伸，其兩端分別連接于第一剛性區(qū)段621與第二剛性區(qū)段622。

請同步參照圖12與圖7a，本實施例的第一彈簧區(qū)段611與第一實施例分第一彈簧區(qū)段211相同，第一彈簧區(qū)段611包含多個第一彎曲線段6111與多個第二彎曲線段6112，第一彎曲線段6111與第二彎曲線段6112彼此交互間隔且相互連接。第一彎曲線段6111的兩端的中心點沿中心軸c3的第一距離小于第二彎曲線段6112的兩端的中心點沿中心軸c3的第二距離w2。

第二筒狀本體65具有一中心軸c4，其外徑大于第一筒狀本體61。第二筒狀本體65具有一第三剛性區(qū)段661、一第二彈簧區(qū)段651與一第四剛性區(qū)段662。第二彈簧區(qū)段651的兩端分別連接于第三剛性區(qū)段661與第四剛性區(qū)段662。如圖12與圖13所示，第二筒狀本體65的第四剛性區(qū)段662、第一筒狀本體61的第一剛性區(qū)段621以及針體31的尾部區(qū)段312通過壓合與焊接的方式固接在一起，進(jìn)而形成固接部69a。第二彈簧區(qū)段651環(huán)繞中心軸c4且沿中心軸c4蜿蜒地延伸。

第五實施例的探針結(jié)構(gòu)60與前述第二實施例的探針結(jié)構(gòu)30的主要不同點在于本實施例包含有相互串接的第一筒狀本體61與第二筒狀本體65，且第一筒狀本體61的第一彈簧區(qū)段611的彈簧常數(shù)大于第二筒狀本體65的第二彈簧區(qū)段651，例如第一彈簧區(qū)段611的彈簧常數(shù)可以是第二彈簧區(qū)段651的彈簧常數(shù)的10倍或者更高。當(dāng)本實施例的探針結(jié)構(gòu)60應(yīng)用于測試裝置(進(jìn)行組裝)時，第二筒狀本體65的第三剛性區(qū)段661會抵持于如圖10所示的頸縮區(qū)41d。

請參照圖15與圖16，為本發(fā)明第六實施例的探針結(jié)構(gòu)示意圖(一)與示意圖(二)，其繪示一探針結(jié)構(gòu)70，包含一第一筒狀本體71與一第二筒狀本體75。本實施例的第一筒狀本體71具有一中心軸c5，第一筒狀本體71自一端至另一端依序可區(qū)分為第一剛性區(qū)段721、第一彈簧區(qū)段711、第二剛性區(qū)段722、第二彈簧區(qū)段712、以及第三剛性區(qū)段723。第一彈簧區(qū)段711包含多個第一彎曲線段7111與多個第二彎曲線段7112，第一彎曲線段7111與第二彎曲線段7112彼此交互間隔且頭尾相連而共同構(gòu)成第一彈簧區(qū)段711。第一彈簧區(qū)段711環(huán)繞著中心軸c5而沿中心軸c5彎曲地延伸。第一剛性區(qū)段721的一端連接于第一彈簧區(qū)段711的一端，另一端則為自由端。第二剛性區(qū)段722的兩端分別連接于第一彈簧區(qū)段711的另一端以及第二彈簧區(qū)段712的一端。第三剛性區(qū)段723的一端連接于第二彈簧區(qū)段712的另一端，第三剛性區(qū)段223的另一端為自由端。第一彎曲線段7111與第二彎曲線段7112的特征與第一實施例的第一彎曲線段2111與第二彎曲線段2112雷同，在此不再重復(fù)贅述。

第二彈簧區(qū)段712的匝數(shù)不同于第一彈簧區(qū)段711，本實施例以第二彈簧區(qū)段712短于第一彈簧區(qū)段711為例。第二彈簧區(qū)段712包含多個第一彎曲線段7121與多個第二彎曲線段7122，第一彎曲線段7121與第二彎曲線段7122彼此交互間隔且頭尾相連而共同構(gòu)成第二彈簧區(qū)段712。第二彈簧區(qū)段712環(huán)繞著中心軸c5且沿中心軸c5彎曲地延伸，本實施例的第二彈簧區(qū)段712的結(jié)構(gòu)與第一彈簧區(qū)段711的結(jié)構(gòu)雷同，差別僅在于匝數(shù)多寡。本實施例的另一態(tài)樣是第一彈簧區(qū)段711與第二彈簧區(qū)段712二者中，只有其中一個是屬于與第一實施例的第一彈簧區(qū)段211雷同的設(shè)計，另一個則是與第一實施例的第二彈簧區(qū)段212雷同的設(shè)計。

第二筒狀本體75具有一中心軸c6，其外徑大于第一筒狀本體71，第二筒狀本體75具有第四剛性區(qū)段761、第三彈簧區(qū)段751以及第五剛性區(qū)段762。第二筒狀本體75的主要結(jié)構(gòu)與第五實施例的第二筒狀本體65的主要結(jié)構(gòu)雷同，在此不再重復(fù)贅述。

如圖16所示，第二筒狀本體75的第五剛性區(qū)段762與第一筒狀本體71的第二剛性區(qū)段722通過壓合與焊接的方式固接在一起而形成固接部69b，固接部69b位于第三彈簧區(qū)段751與第二彈簧區(qū)段712之間。當(dāng)本實施例的探針結(jié)構(gòu)70進(jìn)一步應(yīng)用于測試裝置時，外徑較大的第二筒狀本體75會以其第四剛性區(qū)段761抵持于如圖10所示的頸縮區(qū)41d。再請參照圖1與圖2所示，電路基板15會與第一筒狀本體71的第三剛性區(qū)段723的頂面電性連接，并且壓縮第三彈簧區(qū)段751，使第三彈簧區(qū)段751被壓縮至死點或者接近死點的狀態(tài)。在執(zhí)行針測過程中，第一剛性區(qū)段721會直接施壓于待測組件的焊墊表面，在反作用力的作用下使第一筒狀本體71的第一彈簧區(qū)段711以及第二彈簧區(qū)段712被壓縮。當(dāng)本實施例的第一彈簧區(qū)段711處于非死點的狀態(tài)時，針測信號必須依序沿著第一彎曲線段7111與第二彎曲線段7112來傳遞。當(dāng)?shù)谝粡椈蓞^(qū)段711被壓縮到死點的狀態(tài)時，相鄰的第一彎曲線段7111彼此已經(jīng)緊靠在一起，因此針測信號的傳遞路徑相較于非死點狀態(tài)來說可以有效地縮短，對于高頻信號測試有明顯的幫助。

上述實施例中，筒狀本體的制造方式由微影制造過程的方式所形成，彈簧區(qū)段通過曝光與顯影的方式來進(jìn)行，因此相鄰兩個彈簧區(qū)段之間的間隙寬度取決于微影制造過程的條件。在微影制造過程條件相同的前提下，相鄰兩個彈簧區(qū)段之間的間隙寬度實質(zhì)上均相同。此外本發(fā)明所有實施例所指的彈簧區(qū)段是以片狀結(jié)構(gòu)組成，與傳統(tǒng)的線圈式彈簧并不相同。

本發(fā)明在于調(diào)整筒狀本體中具有第一彎曲線段與第二彎曲線段的單一彈簧區(qū)段，即上述實施例對彈簧區(qū)段及其包含的多個第一彎曲線段與多個第二彎曲線段所做的定義，以方便設(shè)計出需要的彈簧常數(shù)。進(jìn)一步而言，彈簧區(qū)段為上述實施例的第一彈簧區(qū)段，或者說，彈簧區(qū)段即是指包含第一彎曲線段與第二彎曲線段的彈簧區(qū)段。

當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實施例，在不背離本發(fā)明精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。