技術(shù)總結(jié)
為了以較低的成本實(shí)現(xiàn)高精度的、不需要設(shè)置偽柵電極之類(lèi)的輔助結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體檢測(cè)，并在信號(hào)處理期間考慮到對(duì)觸壓探針壓力信號(hào)水平的自動(dòng)處理，同時(shí)進(jìn)行遠(yuǎn)程檢測(cè)狀態(tài)的傳輸和監(jiān)控，本發(fā)明提供了一種石墨烯探針感測(cè)單元的遠(yuǎn)程芯片檢測(cè)系統(tǒng)，包括：半導(dǎo)體驅(qū)動(dòng)單元、觸壓探針?biāo)津?qū)動(dòng)單元、觸壓探針垂直驅(qū)動(dòng)單元、電氣檢測(cè)單元、壓力檢測(cè)單元和遠(yuǎn)程通信單元，所述半導(dǎo)體驅(qū)動(dòng)單元、觸壓探針?biāo)津?qū)動(dòng)單元和觸壓探針垂直驅(qū)動(dòng)單元相互之間被驅(qū)動(dòng)信號(hào)線(xiàn)串聯(lián)連接且被依次驅(qū)動(dòng)，且所述壓力檢測(cè)單元被所述觸壓探針垂直驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)完畢信號(hào)作為驅(qū)動(dòng)的起始信號(hào)，所述壓力檢測(cè)單元輸出的信號(hào)被輸入到所述電氣檢測(cè)單元。

技術(shù)研發(fā)人員：劉穎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都匯智遠(yuǎn)景科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610770904
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.30
技術(shù)公布日：2017.01.04