用在導(dǎo)向應(yīng)用中的慣性傳感器系統(tǒng)暴露于諸如振動(dòng)、沖擊和靜態(tài)加速度的環(huán)境。這些系統(tǒng)需要一些形式的保護(hù)以使得在這些環(huán)境中既正常運(yùn)行又使損害風(fēng)險(xiǎn)最小化。通常使用隔離系統(tǒng)以減少在這些事件期間傳感器所遭受的能量,但是這樣的隔離系統(tǒng)伴隨著它們自身的缺點(diǎn)。在極端環(huán)境中,隔離系統(tǒng)可以發(fā)生超過(guò)其能力(即擺動(dòng)空間sway space)的位移并且降到最低,這可以極大地放大輸入。在這些情況下,這些所放大的事件可以導(dǎo)致傳感器性能退化,還可以導(dǎo)致元件損壞,而這致使系統(tǒng)故障。隔離系統(tǒng)還允許慣性傳感器獨(dú)立于設(shè)備而移動(dòng),在該設(shè)備中,傳感器被用于導(dǎo)向,例如飛行器、導(dǎo)彈、射彈、火車(chē)、輪船、汽車(chē)等。這可以導(dǎo)致系統(tǒng)錯(cuò)誤進(jìn)而減少可以使用隔離系統(tǒng)的應(yīng)用的種類(lèi)。
典型的隔離系統(tǒng)的另一個(gè)障礙為從設(shè)備的隔離部分到設(shè)備的非隔離部分的熱量獲取。隔離系統(tǒng)上的典型溫度差值大約為15℃,并且在一些情況下可以超過(guò)25℃。對(duì)于在設(shè)備的隔離部分上的這種附加的溫度,需要更高等級(jí)的部件,減少平均故障間隔時(shí)間(MTBF)等級(jí),和/或減少溫度范圍以滿(mǎn)足系統(tǒng)要求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
提供了一種用于傳感器保護(hù)器裝置的減震支架組件。該減震支架組件包括具有幾何構(gòu)造的支撐結(jié)構(gòu),所述支撐結(jié)構(gòu)包括至少一個(gè)側(cè)壁和至少一個(gè)安裝表面,所述側(cè)壁具有限定了所述支撐結(jié)構(gòu)的圍界的外邊緣區(qū)段,所述安裝表面基本上與所述側(cè)壁垂直。所述安裝表面被配置成用于將至少一個(gè)電子設(shè)備聯(lián)接到所述支撐結(jié)構(gòu)。吸震器被安裝到外邊緣區(qū)段的至少一部分,所述吸震器基本上包圍所述支撐結(jié)構(gòu)的圍界。所述減震支架組件被配置成用于非隔離系統(tǒng),并且被配置成在振動(dòng)或沖擊事件期間對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。
附圖說(shuō)明
本領(lǐng)域的技術(shù)人員參照附圖從下列的實(shí)施方式中將明白本發(fā)明的特征。要理解附圖僅示出了典型的實(shí)施例并且因此不能被認(rèn)為對(duì)范圍進(jìn)行了限制,將通過(guò)使用附圖更加特別且詳細(xì)地描述本發(fā)明,在附圖中:
圖1是根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的環(huán)境傳感器保護(hù)器裝置的截面?zhèn)纫晥D;
圖2是圖1的環(huán)境傳感器保護(hù)器裝置的一部分的放大的截面?zhèn)纫晥D;
圖3A是根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的可以用在圖1的環(huán)境傳感器保護(hù)器裝置中的減震支架組件的透視圖;
圖3B是圖3A的減震支架組件的截面?zhèn)纫晥D;
圖4A是根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例的減震支架組件的透視圖;
圖4B是圖4A的減震支架組件的截面?zhèn)纫晥D;
圖5是根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例的在保護(hù)器裝置中的減震支架結(jié)構(gòu)的局部截面?zhèn)纫晥D;并且
圖6是用于沖擊濾波器模型的關(guān)于頻率的響應(yīng)圖。
具體實(shí)施方式
在下列具體實(shí)施方式中,足夠詳細(xì)地描述了實(shí)施例以使得本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠?qū)嵺`本發(fā)明。要理解可以使用其他實(shí)施例而不偏離本發(fā)明的范圍。因此,下列具體實(shí)施方式不被認(rèn)為是限制意義的。
本文描述了例如在非隔離系統(tǒng)中用于環(huán)境傳感器保護(hù)器的減震支架組件。減震支架組件配置成在振動(dòng)和沖擊事件期間保護(hù)傳感器組件的慣性傳感器既不受損害又不在傳感器性能上衰退。減震支架組件一般地包括吸震器(或彈簧質(zhì)量阻尼器),其聯(lián)接到具有特定幾何構(gòu)造的支架結(jié)構(gòu)。吸震器充當(dāng)頻率濾波器以保護(hù)傳感器不受振動(dòng)和沖擊。
環(huán)境傳感器保護(hù)器中的減震支架組件提供了改善的環(huán)境保護(hù)水平而不需要具有典型的傳感器隔離系統(tǒng)。例如,使用減震支架組件能夠使慣性傳感器系統(tǒng)在典型的非運(yùn)行和運(yùn)行環(huán)境中滿(mǎn)足不同的運(yùn)行要求。該改善的性能,其不需要傳感器隔離系統(tǒng),允許慣性傳感器系統(tǒng)聯(lián)接到使用設(shè)備,并且因此更好地測(cè)量該設(shè)備的實(shí)際運(yùn)動(dòng)而不是只測(cè)量傳感器的運(yùn)動(dòng)。
減震支架組件可以對(duì)具有6個(gè)自由度的慣性傳感器組件提供保護(hù),而不需要用于擺動(dòng)空間(自由運(yùn)動(dòng))的額外的間隙。減震支架組件也可以應(yīng)用在需要更高帶寬的傳感器性能的系統(tǒng)中,例如指示和跟蹤設(shè)備。
圖1和圖2示出了根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的環(huán)境傳感器保護(hù)器裝置100。傳感器保護(hù)器裝置100一般地包括殼體組件102、容納在殼體組件102內(nèi)的減震支架組件112、以及聯(lián)接到減震支架組件112的慣性傳感器設(shè)備122。減震支架組件112被配置成在殼體組件102內(nèi)支撐并定位慣性傳感器設(shè)備122。減震支架組件112還配置成在振動(dòng)或沖擊事件期間對(duì)慣性傳感器設(shè)備122進(jìn)行保護(hù)。
殼體組件102包括具有底壁105和側(cè)壁106的下夾持區(qū)段104,內(nèi)部凹陷107形成在側(cè)壁106的一部分中。殼體組件102還包括具有頂壁109和側(cè)壁110的上夾持區(qū)段108。夾持區(qū)段104和108連結(jié)在一起以包圍并保護(hù)慣性傳感器設(shè)備122。在替代的實(shí)施例中,內(nèi)部凹陷也可以形成在上夾持區(qū)段108的側(cè)壁110的一部分中,以使得當(dāng)夾持區(qū)段104和108連結(jié)在一起時(shí),側(cè)壁110中的內(nèi)部凹陷與內(nèi)部凹陷107是毗鄰的。
減震支架組件112包括具有側(cè)壁115的支撐結(jié)構(gòu)114,側(cè)壁115帶有限定了支撐結(jié)構(gòu)114的圍界的法蘭形外邊緣區(qū)段116。支撐結(jié)構(gòu)114還包括第一傳感器安裝表面117和相對(duì)的第二傳感器安裝表面118,二者都從側(cè)壁115向內(nèi)延伸。傳感器安裝表面117包括一組中空凸起117a和117b,而傳感器安裝表面118包括一組中空凸起118a和118b。中空凸起117a、117b和118a、118b被配置成用于使慣性傳感器設(shè)備122附接到支撐結(jié)構(gòu)114。支撐結(jié)構(gòu)114可以用鋁合金或其他剛性材料制造。
吸震器120被聯(lián)接到外邊緣區(qū)段116的至少一部分以使得吸震器120基本上包圍支撐結(jié)構(gòu)114的圍界。吸震器120包括例如彈性體材料的吸震材料,或者能夠衰減由沖擊和振動(dòng)引起的頻率的其他類(lèi)似材料,例如具有阻尼特性的材料。在一個(gè)實(shí)施方案中,彈性體材料可以由注射模制工藝形成并成形。例如,諸如硅橡膠的彈性體材料可以在高的溫度和壓力下被注射模制,使硅橡膠結(jié)合到外邊緣區(qū)段116的表面。
在各種實(shí)施例中,可以調(diào)整減震支架組件112的幾何特征(例如接觸面積、彈性體材料的厚度和彈性體材料的性質(zhì))以滿(mǎn)足慣性傳感器設(shè)備122的性能要求。這樣的幾何特征可以被模制、形成、機(jī)械加工、切割、壓印、或鑄造成所要求的形狀,并且與將會(huì)滿(mǎn)足系統(tǒng)要求的彈性體材料一起使用。
在一個(gè)實(shí)施例中,慣性傳感器設(shè)備122包括多個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器124和126,其分別以非隔離構(gòu)造被聯(lián)接在第一安裝表面117和第二安裝表面118上面。在一個(gè)實(shí)施例中,用插入中空凸起117a和117b的一系列螺栓128來(lái)聯(lián)接MEMS傳感器124。同樣地,用插入中空凸起118a和118b的一系列螺栓130進(jìn)行聯(lián)接MEMS傳感器126。
在一個(gè)實(shí)施方式中,MEMS傳感器124和126可以包括多個(gè)加速度計(jì)和陀螺儀。例如,MEMS傳感器124和126可以是慣性測(cè)量單元(IMU)的一部分,慣性測(cè)量單元(IMU)包括三個(gè)加速度計(jì)和三個(gè)陀螺儀,三個(gè)加速度計(jì)幫助測(cè)量沿三個(gè)正交軸的加速度,三個(gè)陀螺儀測(cè)量繞三個(gè)正交軸的旋轉(zhuǎn)。
如圖2所示,其上帶有吸震器120的法蘭形外邊緣區(qū)段116在幾何上成形為毗鄰地配合到下夾持區(qū)段104的側(cè)壁106的內(nèi)部凹陷107中。隨著上夾持區(qū)段108連結(jié)到下夾持區(qū)段104,外邊緣區(qū)段116和吸震器120被置于上夾持接合處132和下夾持接合處134之間。這使支撐結(jié)構(gòu)114固定在殼體組件102內(nèi)。在這種構(gòu)造中,支撐結(jié)構(gòu)114經(jīng)由在外邊緣區(qū)段116上的吸震器120與夾持部分104和夾持部分108兩者相交界。
吸震器120的作用是避免外邊緣區(qū)段116的剛性表面接觸夾持區(qū)段104和108的剛性表面。這衰減了影響MEMS傳感器運(yùn)行的沖擊和振動(dòng)。吸震器120的頻率響應(yīng)可以通過(guò)改變其材料特性進(jìn)行控制,也可以通過(guò)改變由夾持區(qū)段104和108施加到吸震器120的壓縮力進(jìn)行控制。可被改變以對(duì)吸震器120的頻率響應(yīng)進(jìn)行控制的示例性的材料特征包括其厚度、形狀、阻尼特性和硬度。此外,吸震器120和支撐結(jié)構(gòu)114的界面上的溫度差值是非常低的(例如小于大約5℃)。
圖3A和圖3B示出了減震支架組件112的進(jìn)一步的細(xì)節(jié),減震支架組件112從環(huán)境傳感器保護(hù)裝置100中分離地示出。如所示,支撐結(jié)構(gòu)114具有圓形幾何構(gòu)造,側(cè)壁115的法蘭形外邊緣區(qū)段116限定了支撐結(jié)構(gòu)114的圍界。在一個(gè)實(shí)施例中,吸震器120包括多個(gè)安裝在外邊緣區(qū)段116上并且基本上包圍支撐結(jié)構(gòu)114的吸震段120a。每個(gè)吸震段120a由連接段120b連接到相鄰的吸震段120a,連接段120b的尺寸被設(shè)置成使外邊緣區(qū)段116的一部分暴露在外。
如圖3A所示,保持環(huán)142位于傳感器安裝表面117上,與側(cè)壁115相鄰。在這個(gè)實(shí)施例中,傳感器安裝表面117上的三個(gè)中空凸起部分117a被形成為保持環(huán)142的一部分,而單個(gè)的中空凸起117b居中地位于傳感器安裝表面117上的保持環(huán)142內(nèi)。如圖3B所示,保持環(huán)144位于傳感器安裝表面118上,與保持環(huán)142正好相對(duì)。傳感器安裝表面118上的中空凸起118a形成為保持環(huán)144的一部分,而單個(gè)的中空凸起118b居中地位于保持環(huán)144內(nèi)。中空凸起117a與各自的中空凸起118a正好相對(duì)并且與各自的中空凸起118a相連通,孔146穿過(guò)各自的中空凸起且在各自的中空凸起之間延伸。同樣地,中空凸起117b與中空凸起118b正好相對(duì)并且與中空凸起118b相連通,孔148穿過(guò)這些中空凸起并且在這些中空凸起之間延伸。
此外,孔150在傳感器安裝表面117和118之間延伸穿過(guò)支撐結(jié)構(gòu)114???50為連接器提供了路徑,以便突出穿過(guò)支撐結(jié)構(gòu)114,使得MEMS傳感器124和126(圖1)可以被電連接在一起。
孔146和148被配置成接收螺栓以將慣性傳感器聯(lián)接到支撐結(jié)構(gòu)114。在一個(gè)實(shí)施例中,具有圓形構(gòu)造的慣性傳感器設(shè)備(例如IMU)可以被聯(lián)接到支撐結(jié)構(gòu)114。
根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例,圖4A和圖4B示出了減震支架組件200,其可以在環(huán)境傳感器保護(hù)器中使用。如所示,減震支架組件200包括具有矩形幾何構(gòu)造的支撐結(jié)構(gòu)202。支撐結(jié)構(gòu)202包括圍住開(kāi)放區(qū)域206的多個(gè)側(cè)壁204。具有安裝表面209的內(nèi)部壁架208垂直于每個(gè)側(cè)壁204延伸到開(kāi)放區(qū)域206中。壁架208包括在支撐結(jié)構(gòu)202的每個(gè)拐角處的中空凸起210。中空凸起210被配置成接收螺栓以將慣性傳感器設(shè)備聯(lián)接到支撐結(jié)構(gòu)202。如圖4B所示,側(cè)壁204和壁架208的組合給支撐結(jié)構(gòu)202提供了L型截面輪廓。
側(cè)壁204具有外邊緣區(qū)段212,其限定了支撐結(jié)構(gòu)202的圍界。外邊緣區(qū)段212包括上表面212a、下表面212b以及在上表面212a和下表面212b之間延伸的側(cè)表面212c。吸震器214安裝到外邊緣區(qū)段212并且基本上包圍支撐結(jié)構(gòu)202。吸震器214包括多個(gè)吸震段214a,其各自聯(lián)接到外邊緣區(qū)段212的上表面212a、下表面212b和側(cè)表面212c。每個(gè)吸震段214a由連接段214b連接到相鄰的吸震段214a,連接段214b的尺寸被設(shè)置成使側(cè)壁212c的一部分暴露在外。
在一個(gè)實(shí)施例中,具有矩形構(gòu)造的慣性傳感器設(shè)備(例如IMU)可以聯(lián)接到支撐結(jié)構(gòu)202。減震支架組件200被配置成用于非隔離系統(tǒng),并且在振動(dòng)或沖擊事件期間對(duì)慣性傳感器設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。
根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例,圖5示出了保護(hù)器裝置300中的減震支架。保護(hù)器裝置300一般地包括殼體組件302和容納在殼體組件302內(nèi)的減震支架組件312。殼體組件302中的減震支架組件312被配置成在振動(dòng)或沖擊事件期間對(duì)容納在其內(nèi)的電子設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。
殼體組件302包括具有底壁305和側(cè)壁306的下夾持區(qū)段304,內(nèi)部凹陷307形成在側(cè)壁306的一部分中。殼體組件302還包括具有頂壁309和側(cè)壁310的上夾持區(qū)段308,內(nèi)部凹陷311形成在側(cè)壁310的一部分中。
減震支架組件312包括具有側(cè)壁315的支撐結(jié)構(gòu)314,側(cè)壁315帶有限定了支撐結(jié)構(gòu)314的圍界的外邊緣區(qū)段316。支撐結(jié)構(gòu)314還包括第一設(shè)備安裝表面317和在相對(duì)側(cè)上的可選的第二設(shè)備安裝表面318。在各種實(shí)施例中,支撐結(jié)構(gòu)314可以是印刷電路板、印刷線路板、可以安裝傳感器的結(jié)構(gòu)(例如,獨(dú)立式傳感器或經(jīng)由印刷線路組件安裝的(一個(gè)或多個(gè))傳感器),等等。
吸震器320聯(lián)接到外邊緣區(qū)段316的至少一部分,以使得吸震器320基本上包圍支撐結(jié)構(gòu)314的圍界。吸震器320包括例如彈性體材料的減震材料,或者能夠衰減由沖擊和振動(dòng)引起的頻率的其他類(lèi)似材料。
如圖5所示,其上帶有吸震器320的外邊緣區(qū)段316在幾何上成形為毗鄰地配合到內(nèi)部凹陷307和311中。隨著上夾持區(qū)段308連結(jié)到下夾持區(qū)段304,外邊緣區(qū)段316和吸震器320被置于上夾持接合處332和下夾持接合處334之間。這將支撐結(jié)構(gòu)314固定在殼體組件302內(nèi)。
圖6是表示第二階系統(tǒng)的理想沖擊濾波器(吸震器)的頻率響應(yīng)的圖表400,共振頻率為大約6000Hz并且峰值傳輸率為20dB。頻率響應(yīng)是在一定頻率范圍內(nèi)沖擊濾波器所發(fā)生的運(yùn)動(dòng)除以沖擊濾波器的輸入。在例如本發(fā)明的減震支架組件的系統(tǒng)中,頻率響應(yīng)(傳輸率)在低頻處為大約1(或0dB);在圖表400中這將是低于大約100Hz。在任何高于1(+dB)的值,將會(huì)有放大,并且在任何低于1(-dB)的值,將會(huì)有衰減。在這個(gè)示例中,沖擊濾波器在較低頻率范圍中具有0dB的頻率響應(yīng)并且在峰值402處放大到20dB,該峰值402在系統(tǒng)的大約6000Hz的固有頻率(共振)附近。對(duì)于各種傳感器實(shí)施例這是可接受的頻率響應(yīng)。在沖擊事件期間經(jīng)歷高于10000Hz的頻率的傳感器系統(tǒng)中,會(huì)出現(xiàn)各種性能問(wèn)題。如圖表400所示,沖擊濾波器使較高頻率能量(例如高于10000Hz)衰減,這允許傳感器性能得到改善。
實(shí)施例舉例:
示例1包括一種減震支架組件,其包括支撐結(jié)構(gòu)和吸震器,所述支撐結(jié)構(gòu)具有幾何構(gòu)造,所述支撐結(jié)構(gòu)包括至少一個(gè)側(cè)壁且包括第一安裝表面,所述側(cè)壁具有限定了所述支撐結(jié)構(gòu)的圍界的外邊緣區(qū)段,所述第一安裝表面基本上垂直于所述側(cè)壁,所述第一安裝表面被配置成用于將至少一個(gè)電子設(shè)備聯(lián)接到所述支撐結(jié)構(gòu),所述吸震器安裝到所述外邊緣區(qū)段的至少一部分,所述吸震器基本上包圍所述支撐結(jié)構(gòu)的圍界,其中,所述減震支架組件被配置用于非隔離系統(tǒng),所述減震支架組件被配置成在振動(dòng)或沖擊事件期間對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。
示例2包括示例1所述的減震支架組件,其中,所述支撐結(jié)構(gòu)具有圓形幾何構(gòu)造。
示例3包括示例1所述的減震支架組件,其中,所述支撐結(jié)構(gòu)具有矩形幾何構(gòu)造。
示例4包括示例1-2中任一個(gè)所述的減震支架組件,其中,所述支撐結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括在所述第一安裝表面相對(duì)側(cè)上的第二安裝表面,所述第二安裝表面被配置成用于將至少一個(gè)電子設(shè)備聯(lián)接到所述支撐結(jié)構(gòu)。
示例5包括示例1-4中任一個(gè)所述的減震支架組件,其中,所述至少一個(gè)電子設(shè)備包括傳感器設(shè)備。
示例6包括示例4-5中任一個(gè)所述的減震支架組件,其中,所述第一和第二安裝表面被配置成用于將慣性傳感器設(shè)備聯(lián)接到所述支撐結(jié)構(gòu)。
示例7包括示例1-6中任一個(gè)所述的減震支架組件,其中,所述吸震器包括彈性體材料。
示例8包括示例1-7中任一個(gè)所述的減震支架組件,其中,所述吸震器包括聯(lián)接到所述外邊緣區(qū)段的多個(gè)吸震段,所述吸震段中的每一個(gè)由連接段連接到相鄰的吸震段,所述連接段的尺寸被設(shè)置成使所述外邊緣區(qū)段的一部分暴露在外。
示例9包括示例3、5、7和8中任一個(gè)所述的減震支架組件,進(jìn)一步包括圍住開(kāi)放區(qū)域的多個(gè)側(cè)壁,其中,所述第一安裝表面是從所述側(cè)壁延伸到所述開(kāi)放區(qū)域中的內(nèi)部壁架的一部分,所述壁架包括在所述支撐結(jié)構(gòu)的每個(gè)拐角處的中空凸起,所述中空凸起被配置成用于將所述電子設(shè)備聯(lián)接到所述支撐結(jié)構(gòu)。
示例10包括示例9所述的減震支架組件,其中,所述側(cè)壁和從其延伸的所述壁架給所述支撐結(jié)構(gòu)提供了L型截面輪廓。
示例11包括一種傳感器保護(hù)器裝置,其包括殼體組件、減震支架組件以及至少一個(gè)傳感器設(shè)備,所述殼體組件包括具有至少一個(gè)側(cè)壁的第一夾持區(qū)段和具有至少一個(gè)側(cè)壁的第二夾持區(qū)段,所述第二夾持區(qū)段被聯(lián)接到所述第一夾持區(qū)段,其中,所述第一夾持區(qū)段和所述第二夾持區(qū)段中的至少一個(gè)具有沿它們各自的側(cè)壁的內(nèi)部凹陷,所述減震支架組件在所述殼體組件內(nèi),所述吸震器組件包括支撐結(jié)構(gòu)和吸震器,所述支撐結(jié)構(gòu)具有幾何構(gòu)造,所述支撐結(jié)構(gòu)包括至少一個(gè)側(cè)壁且包括第一安裝表面,所述側(cè)壁具有限定了所述支撐結(jié)構(gòu)的圍界的外邊緣區(qū)段,所述第一安裝表面垂直于所述側(cè)壁,所述吸震器安裝到所述外邊緣區(qū)段的至少一部分,所述吸震器基本上包圍所述支撐結(jié)構(gòu)的圍界,其中,所述外邊緣區(qū)段和所述吸震器在幾何上成形為毗鄰地配合到所述內(nèi)部凹陷中,所述至少一個(gè)傳感器設(shè)備以非隔離構(gòu)造被聯(lián)接在所述支撐結(jié)構(gòu)的所述第一安裝表面上面,其中,所述減震支架組件被配置成在振動(dòng)或沖擊事件期間對(duì)所述傳感器設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。
示例12包括示例11所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述支撐結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括在所述第一安裝表面相對(duì)側(cè)上的第二安裝表面。
示例13包括示例12所述的傳感器保護(hù)器裝置,進(jìn)一步包括聯(lián)接到所述第二安裝表面的至少一個(gè)傳感器設(shè)備。
示例14包括示例11-13中任一個(gè)所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述傳感器設(shè)備包括慣性傳感器設(shè)備。
示例15包括示例14所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述慣性傳感器設(shè)備包括MEMS慣性傳感器。
示例16包括示例15所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述MEMS慣性傳感器包括作為慣性測(cè)量單元的一部分的多個(gè)加速度計(jì)和陀螺儀。
示例17包括示例11-16中任一個(gè)所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述吸震器包括彈性體材料。
示例18包括示例11-17中任一個(gè)所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述吸震器包括聯(lián)接到所述外邊緣區(qū)段的多個(gè)吸震段,所述吸震段中的每一個(gè)由連接段連接到相鄰的吸震段,所述連接段的尺寸被設(shè)置成使所述外邊緣區(qū)段的一部分暴露在外。
示例19包括示例11-18中任一個(gè)所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述支撐結(jié)構(gòu)具有圓形幾何構(gòu)造。
示例20包括示例14-18中任一個(gè)所述的傳感器保護(hù)器裝置,其中,所述支撐結(jié)構(gòu)具有矩形幾何構(gòu)造。
本發(fā)明可以以其他特定形式具體實(shí)施而不偏離本發(fā)明的本質(zhì)特征。所描述的實(shí)施例在所有方面均應(yīng)為認(rèn)為僅僅是示例性的而非限制性的。因此,本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)而不是由在前的說(shuō)明書(shū)表明。在權(quán)利要求的等同含義和范圍內(nèi)產(chǎn)生的所有變化均被包括在權(quán)利要求的范圍內(nèi)。