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      一種超快透射電子顯微鏡系統(tǒng)及其使用方法與流程

      文檔序號(hào):11108150閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種超快透射電子顯微鏡系統(tǒng),其特征在于,所述超快透射電子顯微鏡系統(tǒng)包括超快激光系統(tǒng)、電子槍、照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、樣品室、探測(cè)器和真空設(shè)備,其中:

      所述激光系統(tǒng)產(chǎn)生激光,將所述激光轉(zhuǎn)換成探測(cè)激光和泵浦激光,并將所述探測(cè)激光引入所述電子槍?zhuān)霰闷旨す庖霕悠肥遥?/p>

      所述電子槍將所述探測(cè)激光轉(zhuǎn)換為脈沖光電子并加速到指定電壓;

      所述照明系統(tǒng)將所述脈沖光電子會(huì)聚到所述樣品室中的樣品上;

      所述樣品室將所述泵浦激光照射到所述樣品上;

      所述成像系統(tǒng)使會(huì)聚到所述樣品上的所述脈沖光電子形成放大的顯微圖像或衍射圖像;

      所述探測(cè)器記錄所述顯微圖像或衍射圖像;

      所述真空設(shè)備使所述電子槍、所述照明系統(tǒng)、所述成像系統(tǒng)和所述樣品室保持高真空度。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng),其特征在于,所述超快激光系統(tǒng)包括超快激光器、分束器、第一激光頻率轉(zhuǎn)換元件、第二激光頻率轉(zhuǎn)換元件、第一聚焦透鏡、第二聚焦透鏡、延遲器和激光位置監(jiān)控設(shè)備,其中:

      所述超快激光器輸出激光,經(jīng)過(guò)所述分束器后產(chǎn)生兩束激光,一束激光經(jīng)過(guò)所述第一激光頻率轉(zhuǎn)換元件產(chǎn)生探測(cè)激光,所述探測(cè)激光經(jīng)過(guò)所述第一聚焦透鏡進(jìn)入所述電子槍?zhuān)硪皇す饨?jīng)過(guò)所述第二激光頻率轉(zhuǎn)換元件產(chǎn)生泵浦激光,所述泵浦激光經(jīng)過(guò)所述延遲器使得所述泵浦激光和所述探測(cè)激光有時(shí)間延遲,然后經(jīng)過(guò)所述第二聚焦透鏡,再經(jīng)過(guò)激光位置監(jiān)控設(shè)備以監(jiān)控所述泵浦激光入射到所述樣品上的光斑位置的偏移;

      優(yōu)選地:

      所述探測(cè)激光和/或所述泵浦激光波長(zhǎng)覆蓋347~1040nm,脈沖寬度35fs~10ps,重復(fù)頻率1Hz~80MHz,單脈沖能量1nJ~1mJ,

      所述分束器為半透半反介質(zhì)膜分束鏡,

      所述激光頻率轉(zhuǎn)換元件采用BBO晶體通過(guò)Ⅰ類(lèi)相位匹配實(shí)現(xiàn)倍頻、三倍頻或光參量放大過(guò)程,

      所述延遲器包括電控位移臺(tái)與中空回射鏡,更優(yōu)選地,所述電控位移臺(tái)的精度為1μm和/或行程為1m,和/或

      所述激光位置監(jiān)控設(shè)備包括光束取樣鏡片和位置敏感探測(cè)器,所述光束取樣鏡片從所述泵浦激光中分出部分激光照射在所述位置敏感探測(cè)器上。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng),其特征在于,所述電子槍為光發(fā)射電子槍?zhuān)す庖氪翱?、激光反射鏡、光陰極和加速系統(tǒng),其中:

      所述探測(cè)激光從所述激光系統(tǒng)通過(guò)所述激光引入窗口引入所述電子槍?zhuān)?jīng)所述激光反射鏡反射后照射在所述光陰極產(chǎn)生所述脈沖光電子,所述脈沖光電子通過(guò)所述加速系統(tǒng)加速到加速高壓;

      優(yōu)選地:

      所述激光引入窗口為鍍?cè)鐾改さ娜廴谑⒉AВ鼉?yōu)選地,所述熔融石英玻璃的厚度為5mm和/或直徑為25mm,

      所述電子槍還具有加熱功能,

      所述脈沖光電子脈沖寬度為100fs~10ps,單脈沖劑量為1~104電子數(shù),能量為80keV~200keV,和/或

      所述加速高壓為80kV、120kV、160kV或200kV。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng),其特征在于,所述樣品室包括激光引入窗口和激光反射鏡,

      其中:

      所述泵浦激光從所述激光系統(tǒng)通過(guò)所述激光引入窗口引入所述樣品室,然后通過(guò)所述激光反射鏡照射到所述樣品上;

      優(yōu)選地:

      所述樣品室還包括液氮低溫臺(tái)、液氦低溫臺(tái)、高溫加熱臺(tái)、單軸傾斜臺(tái)和/或雙軸傾斜臺(tái),和/或

      所述激光引入窗口為鍍?cè)鐾改さ娜廴谑⒉A?,更?yōu)選地,所述熔融石英玻璃的厚度為5mm和/或直徑為25mm。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng),其特征在于,所述照明系統(tǒng)和/或所述成像系統(tǒng)包括電磁透鏡,優(yōu)選地,所述照明系統(tǒng)為三聚光鏡系統(tǒng)和/或所述成像系統(tǒng)為物鏡、中間鏡、投影鏡系統(tǒng)。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng),其特征在于,所述探測(cè)器包括照相底片、成像板、閃爍體CCD相機(jī)和直接電子探測(cè)相機(jī)。

      7.一種權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng)的使用方法,其特征在于,所述使用方法包括:

      (1)將待測(cè)樣品放置于所述樣品室中;

      (2)采用探測(cè)激光精確照射光陰極的調(diào)節(jié)方法使所述探測(cè)激光精確照射在所述光陰極上并產(chǎn)生所述脈沖光電子,所述脈沖光電子照射到所述樣品上,通過(guò)所述成像系統(tǒng)獲得衍射或顯微圖像信息,由所述探測(cè)器記錄;

      (3)采用泵浦激光精確照射樣品室中待測(cè)樣品的調(diào)節(jié)方法使所述泵浦激光與所述脈沖光電子精確輻照在所述樣品上的同一位置處并產(chǎn)生超快過(guò)程;

      (4)采用精確尋找電子脈沖與激光脈沖時(shí)間零點(diǎn)的方法,以使所述泵浦激光與所述脈沖光電子在同一時(shí)刻到達(dá)所述樣品上的同一位置處;

      (5)改變所述泵浦激光和所述探測(cè)激光之間的時(shí)間延遲,記錄不同時(shí)間延遲下所述樣品的衍射或顯微圖像信息;

      (6)將不同時(shí)間延遲下所述樣品的衍射或顯微圖像信息組合,即可得到所述樣品被泵浦激光激發(fā)后發(fā)生超快過(guò)程中的衍射或顯微圖像。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng)的使用方法,其特征在于,步驟(2)中所述探測(cè)激光精確照射光陰極的調(diào)節(jié)方法包括:

      (1)通過(guò)所述電子槍的加熱使所述光陰極發(fā)光,確定所述光陰極發(fā)光路線;

      (2)調(diào)節(jié)所述探測(cè)激光使其按所述光陰極發(fā)光路線進(jìn)入所述電子槍?zhuān)?/p>

      (3)通過(guò)調(diào)節(jié)所述第一聚焦透鏡的位置使所述探測(cè)激光經(jīng)過(guò)所述第一聚焦透鏡精確照射在所述光陰極上。

      9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng)的使用方法,其特征在于,步驟(3)中所述泵浦激光精確照射樣品室中待測(cè)樣品的調(diào)節(jié)方法包括:

      (1)將長(zhǎng)余輝熒光材料放在所述樣品室中,利用所述熒光材料發(fā)射的熒光確定發(fā)光路線;

      (2)調(diào)節(jié)所述泵浦激光使其按所述熒光材料的發(fā)光路線進(jìn)入所述樣品室;

      (3)通過(guò)調(diào)節(jié)所述第二聚焦透鏡的位置,使所述泵浦激光精確照射在所述樣品上。

      10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中任一項(xiàng)所述的超快透射電子顯微鏡系統(tǒng)的使用方法,其特征在于,步驟(4)中的精確尋找電子脈沖與激光脈沖時(shí)間零點(diǎn)的方法包括:

      (1)測(cè)量進(jìn)入所述激光引入窗口之前的泵浦光路和探測(cè)光路的光程差;

      (2)測(cè)量所述泵浦激光到達(dá)所述樣品與所述探測(cè)激光到達(dá)所述電子槍各自所走的光程;

      (3)估算脈沖光電子到達(dá)所述樣品所需的時(shí)間,換算成光速所走的光程;

      (4)將步驟(1)至(3)所得的光程統(tǒng)一計(jì)量,然后重新調(diào)整光路,使得時(shí)間零點(diǎn)的最終位置位于所述延遲器的中間位置;

      (5)在所述樣品室中放置銅網(wǎng)微柵,利用所述泵浦激光激發(fā)所述銅網(wǎng)微柵,產(chǎn)生持續(xù)時(shí)間極短的表面等離子云,所述等離子云與所述脈沖光電子產(chǎn)生庫(kù)侖排斥作用,進(jìn)而在顯微圖像上產(chǎn)生一定的扭曲變化的襯度,記錄所述顯微圖像;

      (6)通過(guò)判斷產(chǎn)生襯度扭曲的銅網(wǎng)位置和起始時(shí)間即確定所述電子脈沖與激光脈沖的空間重合及時(shí)間零點(diǎn)。

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