本發(fā)明涉及用于顯微鏡的干涉物鏡和基準(zhǔn)表面單元組，以及基于該顯微鏡的圖像測(cè)量裝置或精細(xì)形狀測(cè)量裝置。

背景技術(shù)：

在測(cè)量要被加工的金屬表面的表面紋理以及半導(dǎo)體集成電路的電路圖案的形狀和階梯(step)以及測(cè)量透明薄膜的厚度的領(lǐng)域中，具有低放大率的光學(xué)宏觀放大觀測(cè)裝置或者具有比所述裝置更大放大率的光學(xué)顯微鏡設(shè)置有干涉功能，而且所觀察到的干涉條紋經(jīng)過(guò)圖像處理，從而高精度地測(cè)量精細(xì)表面形狀。

在能夠執(zhí)行干涉測(cè)量的放大光學(xué)裝置中，構(gòu)成干涉系統(tǒng)的部件或結(jié)構(gòu)具有整體形成于其上的物鏡并作為單個(gè)構(gòu)件起干涉系統(tǒng)的作用。物鏡被稱為干涉物鏡。一般的干涉物鏡具有物鏡、基準(zhǔn)表面和分束器。物鏡構(gòu)造成使從光源發(fā)出的光朝向測(cè)量目標(biāo)匯聚。由物鏡匯聚的光在分束器處被分成面朝向基準(zhǔn)表面成為基準(zhǔn)的基準(zhǔn)光路以及面朝向測(cè)量目標(biāo)表面(要被測(cè)量的表面)的測(cè)量光路。已經(jīng)通過(guò)基準(zhǔn)光路的光在基準(zhǔn)表面上反射，而已經(jīng)通過(guò)測(cè)量光路的光在要被測(cè)量的表面上反射。被反射的光再次在分束器處合成，然后作為干涉光輸出。

作為用于引發(fā)干涉的光源，通常使用的是由白熾燈、led等生成的白光。由于白光具有低干涉，干涉強(qiáng)度在一窄范圍內(nèi)變?yōu)榉逯担谠撜秶鷥?nèi)，干涉光路和測(cè)量光路之間的光路差接近于零(0)。由于這一原因，當(dāng)干涉物鏡在高度方向(光軸方向)掃描(測(cè)量光路長(zhǎng)度改變)時(shí)，干涉條紋的亮度變?yōu)榉逯档母叨仍诔上裱b置的視野中分別在每個(gè)像素位置被檢測(cè)，從而能夠精確地測(cè)量所述測(cè)量目標(biāo)的三維形狀等。

關(guān)于干涉物鏡，通常使用的是michelson型和mirau型。michelson型是具有在與測(cè)量目標(biāo)分開(kāi)提供的光軸上的基準(zhǔn)表面的結(jié)構(gòu)，并且主要用于具有20倍放大率或更低的低放大率的物鏡。與michelson型相比，mirau型是具有在和測(cè)量目標(biāo)相同光軸的上的基準(zhǔn)表面的結(jié)構(gòu)，并且用于不能采取長(zhǎng)工作距離的高放大率的物鏡。

jp-a-2005-538359,jp-a-2007-536539和jp-a-h05-118831公開(kāi)了相關(guān)領(lǐng)域的干涉顯微鏡及干涉物鏡，專利jp-a-2000-193891公開(kāi)了一種調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

在顯微鏡物鏡具有較低放大率的情況下，由于數(shù)值孔徑(na)小，光以相對(duì)于光軸的小傾角入射到要被測(cè)量的表面上并且工作距離變長(zhǎng)。因此，顯微鏡物鏡可能受到具有各種反射率的要被測(cè)量的表面的固有反射率的影響，例如金屬表面和玻璃表面。例如，在實(shí)際測(cè)量時(shí)，當(dāng)具有反射率低的表面紋理的測(cè)量目標(biāo)(例如玻璃)通過(guò)使用干涉物鏡觀察時(shí)，該干涉物鏡具有干涉表面，最佳干涉條紋的對(duì)比度借助該干涉表面在具有高反射率的金屬反射表面上獲得，白色干涉條紋的對(duì)比度降低。

為了解決上述問(wèn)題，考慮適當(dāng)?shù)剡x擇和使用具有對(duì)應(yīng)于測(cè)量目標(biāo)的反射率的最佳反射率的基準(zhǔn)表面。

然而，用于干涉測(cè)量的白光是具有低干涉可能性的非相干光。因此，為了產(chǎn)生干涉，必需將其上布置有測(cè)量目標(biāo)的測(cè)量光路的光路長(zhǎng)度和其上布置有基準(zhǔn)表面的干涉光路的光路長(zhǎng)度嚴(yán)格匹配。例如，在光軸方向上觀察清晰干涉條紋的范圍通常為1μm或更小的非常窄的范圍，并且當(dāng)光路長(zhǎng)度未被嚴(yán)格匹配時(shí)，干涉條紋不能作為圖像而獲得。為此，需要分合部件、干涉表面和要被測(cè)量的表面之間的嚴(yán)格的位置關(guān)系。此外，由于要被測(cè)量的表面是物鏡的焦點(diǎn)位置，所以在生產(chǎn)部件時(shí)以及在組裝過(guò)程中會(huì)引起巨大困難。由于這種情況，干涉物鏡通常是被調(diào)節(jié)并固定后發(fā)貨的，從而白色干涉條紋發(fā)生在透鏡的理想焦點(diǎn)位置。

因此，實(shí)際上難以根據(jù)測(cè)量目標(biāo)任意選擇干涉物鏡的基準(zhǔn)表面，必需準(zhǔn)備多個(gè)干涉物鏡，每個(gè)干涉物鏡具有對(duì)應(yīng)于測(cè)量目標(biāo)的反射率的基準(zhǔn)表面。而且，當(dāng)干涉物鏡被與測(cè)量裝置整體設(shè)置時(shí)，必需準(zhǔn)備多個(gè)測(cè)量裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種干涉物鏡和基準(zhǔn)表面單元組，該基準(zhǔn)表面單元組的基準(zhǔn)表面可與主體分離。

(1)根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種干涉物鏡，包括：構(gòu)造成將從光源發(fā)射的光朝向測(cè)量目標(biāo)匯聚的物鏡；具有基準(zhǔn)表面的基準(zhǔn)表面單元；以及分束器，該分束器構(gòu)造成將已經(jīng)通過(guò)物鏡的光分成面朝向基準(zhǔn)表面的基準(zhǔn)光路和面朝向測(cè)量目標(biāo)的測(cè)量光路，以將來(lái)自基準(zhǔn)表面的反射光和來(lái)自測(cè)量目標(biāo)的反射光合成，并將其作為干涉光輸出，其中干涉表面單元構(gòu)造成可置換的。換句話說(shuō)，干涉表面單元安裝成使之可以自由地安裝和拆卸。

由此，在要被測(cè)量的表面的反射率占主導(dǎo)的低放大率的干涉測(cè)量時(shí)，能夠選擇和使用具有最佳表面紋理的基準(zhǔn)表面，并由此始終獲得具有有利對(duì)比度的干涉條紋圖像，而與測(cè)量目標(biāo)的類型無(wú)關(guān)。

(2)作為基準(zhǔn)表面單元的基準(zhǔn)表面，不僅可以使用相關(guān)領(lǐng)域的平面反光鏡的基準(zhǔn)表面而且可以使用具有除了平面形狀、階梯或形狀圖案之外的任意形狀的基準(zhǔn)表面。作為任意形狀，可以使用例如對(duì)應(yīng)于測(cè)量目標(biāo)的表面形狀的形狀。從而，能夠以高速容易地執(zhí)行比較測(cè)量并縮短測(cè)量時(shí)間。

(3)可以提供鎖定機(jī)構(gòu)，用于在基準(zhǔn)表面單元構(gòu)造之后以任意角度固定傾角使之可調(diào)節(jié)基準(zhǔn)表面的傾角。從而，能夠調(diào)節(jié)基準(zhǔn)表面的傾角并固定該被調(diào)節(jié)的角度。因此，當(dāng)預(yù)先制備已經(jīng)完成調(diào)節(jié)的基準(zhǔn)表面單元時(shí)，可以按需快速置換基準(zhǔn)表面單元并快速執(zhí)行測(cè)量。此外，能夠防止在測(cè)量時(shí)被調(diào)節(jié)的狀態(tài)發(fā)生改變。進(jìn)一步，當(dāng)使用可拆卸的傾斜調(diào)節(jié)單元時(shí)，能夠防止在安裝和拆卸時(shí)被調(diào)節(jié)的狀態(tài)發(fā)生改變。

(4)基準(zhǔn)表面的傾角可以利用可拆卸的傾斜調(diào)節(jié)單元來(lái)調(diào)節(jié)。通過(guò)這種配置，能夠不僅使用被構(gòu)造成手動(dòng)調(diào)節(jié)傾斜量的構(gòu)件而且能夠使用具有pzt和嵌入其中的致動(dòng)器并能夠執(zhí)行數(shù)字控制的自動(dòng)調(diào)節(jié)構(gòu)件，作為傾斜調(diào)節(jié)單元。

(5)當(dāng)預(yù)先準(zhǔn)備具有多個(gè)基準(zhǔn)表面的基準(zhǔn)表面單元組時(shí)，其中基準(zhǔn)表面單元的反射性、要形成的任意形狀、基準(zhǔn)表面的階梯和形狀圖案中的至少一個(gè)彼此不同，能夠用對(duì)應(yīng)于要被測(cè)量表面的紋理的適當(dāng)?shù)幕鶞?zhǔn)表面順序地置換所述基準(zhǔn)表面而精確且有效地執(zhí)行測(cè)量。

(6)當(dāng)準(zhǔn)備基準(zhǔn)表面單元組時(shí)，如果基準(zhǔn)表面單元的基準(zhǔn)表面的傾斜角度的調(diào)節(jié)已事先完成，則更有效地執(zhí)行測(cè)量。

附圖說(shuō)明

從下文給出的詳細(xì)說(shuō)明以及僅作為圖解給出因此不作為本發(fā)明的限制的附圖，將更全面的理解本發(fā)明，其中：

圖1是示出第一說(shuō)明性實(shí)施方式的干涉物鏡的配置的外觀圖；

圖2是第一說(shuō)明性實(shí)施方式的干涉物鏡的光學(xué)配置圖；

圖3a和3b示出第二說(shuō)明性實(shí)施方式的干涉透鏡的基準(zhǔn)表面單元；

圖4示出傾斜調(diào)節(jié)單元的配置示例；

圖5是示出基準(zhǔn)表面單元的內(nèi)部配置的分解視圖；

圖6是示出細(xì)節(jié)的單獨(dú)分解視圖，其示出基準(zhǔn)表面單元的內(nèi)部組裝部件中的一個(gè)；

圖7示出傾斜調(diào)節(jié)單元處于安裝狀態(tài)；

圖8示出傾斜調(diào)節(jié)單元處于拆卸狀態(tài)；

圖9示出復(fù)位彈簧和缺口部之間的裝配狀態(tài)；

圖10a和10b示出安裝防塵罩之前和之后的狀態(tài)；和

圖11示出安裝了自動(dòng)傾斜調(diào)節(jié)單元的狀態(tài)。

具體實(shí)施方式

下文，將描述本發(fā)明的說(shuō)明性實(shí)施方式。

<第一說(shuō)明性實(shí)施方式>

圖1是示出根據(jù)第一說(shuō)明性實(shí)施方式的干涉物鏡100的配置的外觀圖，圖2是其光學(xué)配置視圖。干涉物鏡100具有物鏡101、分束器102和基準(zhǔn)表面單元104。

物鏡101構(gòu)造成將從光源10發(fā)出的光朝向測(cè)量目標(biāo)w匯聚。在一般的干涉測(cè)量裝置中，從光源10發(fā)出的光平行于分束器30通過(guò)準(zhǔn)直透鏡20發(fā)光，沿著光軸的平行光束從分束器30發(fā)出并入射到物鏡101上。

基準(zhǔn)表面單元104至少具有基準(zhǔn)表面104a?；鶞?zhǔn)表面104a是成為光路長(zhǎng)度的基準(zhǔn)的表面并布置在基準(zhǔn)光路上。

分束器102構(gòu)造成將已經(jīng)通過(guò)物鏡101的光分成面朝向基準(zhǔn)表面104a的基準(zhǔn)光路和面朝向測(cè)量目標(biāo)w的測(cè)量光路，以合成來(lái)自基準(zhǔn)表面104a的反射光和來(lái)自測(cè)量目標(biāo)w的反射光，并將其作為干涉光輸出。在一般的干涉測(cè)量裝置中，輸出的干涉光在物鏡101處變成平行束、筆直地透過(guò)分束器30、匯聚在成像透鏡40上，在成像單元50上形成干涉圖像，所述成像單元50例如由具有布置成二維形狀的多個(gè)像素的成像元件構(gòu)成的ccd照相機(jī)。

基準(zhǔn)表面單元104可拆卸地安裝在包括物鏡101和分束器102的主體103上，即，被配置成可置換的。例如，基準(zhǔn)表面單元配置成使其通過(guò)基準(zhǔn)表面單元固定螺釘105固定到主體103并且通過(guò)擰下或分離基準(zhǔn)表面單元固定螺釘105而從主體卸下。

基準(zhǔn)表面單元104配置成可置換的，從而在要被測(cè)量的表面的反射率占主導(dǎo)的低放大率的干涉測(cè)量時(shí)，可以選擇和使用具有最佳表面紋理的干涉表面，并由此始終獲得具有有利對(duì)比度的干涉條紋圖像，而與測(cè)量目標(biāo)的類型無(wú)關(guān)。而且，不僅可以使用相關(guān)領(lǐng)域的平面反光鏡的基準(zhǔn)表面而且可以使用具有除了平面形狀、特定階梯或特定形狀圖案(例如ic圖案)之外的任意形狀的基準(zhǔn)表面。作為任意形狀，例如，可以使用具有形狀對(duì)應(yīng)于測(cè)量目標(biāo)的表面形狀的基準(zhǔn)表面。由此，可以以高速輕松執(zhí)行比較測(cè)量并縮短測(cè)量時(shí)間。

<第二說(shuō)明性實(shí)施方式>

圖3a和3b示出根據(jù)第二說(shuō)明性實(shí)施方式的干涉物鏡104a的基準(zhǔn)表面單元104，其中圖3a示出向外的外觀，圖3b示出內(nèi)部配置。此外，內(nèi)部配置的分解視圖在圖5和6中示出。

干涉物鏡104a構(gòu)造成使得干涉物鏡100的基準(zhǔn)表面單元104的基準(zhǔn)表面104a的傾角可被調(diào)節(jié)，所述傾角可以固定成任何角度，主體103具有和干涉物鏡100相同的配置。

基準(zhǔn)表面單元104除了基準(zhǔn)表面104a之外還具有固定軸承104b、基準(zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c、軸104d、可動(dòng)軸承104e、傾斜調(diào)節(jié)單元104f和鎖定機(jī)構(gòu)104g。

固定軸承104b是配置成除了沿光軸的方向之外都受約束的軸承。

該基準(zhǔn)表面104a裝配到基準(zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c上并被插入到固定軸承104b中的狀態(tài)下，基準(zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c被設(shè)置成與基準(zhǔn)表面104a一起自由地改變傾斜姿勢(shì)。

軸104d穿過(guò)固定軸承104b，其兩個(gè)端部固定到基準(zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c和可動(dòng)軸承104e。

可動(dòng)軸承104e被設(shè)置成自由地改變傾斜姿勢(shì)。當(dāng)傾斜姿勢(shì)改變時(shí)，傾斜姿勢(shì)的改變經(jīng)由所述軸104d傳遞至基準(zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c?；鶞?zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c與固定軸承104b的接觸表面以及固定軸承104b與可動(dòng)軸承104e的接觸表面具有任意的形狀。然而，如圖3b所示，例如，當(dāng)接觸表面構(gòu)造為球形表面時(shí)，可以平穩(wěn)地改變傾斜姿勢(shì)并將傾斜穩(wěn)固地傳遞至基準(zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c。

傾斜調(diào)節(jié)單元104f具有圓柱形主體104f1和傾斜調(diào)節(jié)按鈕104f2，該傾斜調(diào)節(jié)按鈕104f2具有從外部穿透圓柱體的凸起并能夠改變凸起進(jìn)入圓柱體的突伸程度。從方便調(diào)節(jié)的角度來(lái)看，傾斜調(diào)節(jié)按鈕104f2優(yōu)選地以復(fù)數(shù)形式設(shè)置。配置的示例示于圖4中。傾斜調(diào)節(jié)單元104f設(shè)置成圓柱形主體104f1圍繞可動(dòng)軸承104e。在該狀態(tài)下，當(dāng)傾斜調(diào)節(jié)按鈕104f2被調(diào)節(jié)成使該凸起突伸時(shí)，凸起的尖端壓向可動(dòng)軸承104e的外壁。借助壓力，能夠改變可動(dòng)軸承104e的傾斜姿勢(shì)。此時(shí)，當(dāng)可動(dòng)軸承104e的外壁配置成具有例如球形形狀時(shí)，能夠更平穩(wěn)地改變傾角。

鎖定機(jī)構(gòu)104g具有固定銷104g1和固定螺釘104g2。固定銷104g1設(shè)置有形成在軸104d的側(cè)表面上的穿孔。固定螺釘104g2布置在設(shè)置于軸104d的軸向上的螺釘孔中。當(dāng)擰緊固定螺釘104g2時(shí)，固定銷104g1作用在可動(dòng)軸承104e上，使得可動(dòng)軸承104e壓向固定軸承104b，由此固定了可動(dòng)軸承104e的傾斜姿勢(shì)。基準(zhǔn)表面移動(dòng)軸承104c的傾斜姿勢(shì)經(jīng)由軸104d固定，使得基準(zhǔn)表面104a的傾角也被固定。為了在固定螺釘104g2放松時(shí)平穩(wěn)地改變可動(dòng)軸承104e的傾斜姿勢(shì)，可以提供彈簧104g3和墊圈104g4使得兩個(gè)可動(dòng)軸承以適當(dāng)?shù)募訅罕粦?yīng)用。

在此，鎖定機(jī)構(gòu)104g通過(guò)固定銷104g1和固定螺釘104g2實(shí)施。然而，也可以使用除了銷之外的盤狀構(gòu)件。此外，可以通過(guò)彈簧力而不是通過(guò)螺釘緊固而提前形成固定狀態(tài)，可利用另一構(gòu)件構(gòu)造一杠桿，并且固定狀態(tài)可通過(guò)操作所述杠桿來(lái)釋放。

根據(jù)上述構(gòu)造，可以調(diào)節(jié)基準(zhǔn)表面的傾角并固定所調(diào)節(jié)的角度。因此，當(dāng)已完成調(diào)節(jié)的基準(zhǔn)表面單元被事先準(zhǔn)備時(shí)，可以按需快速置換基準(zhǔn)表面單元并快速執(zhí)行測(cè)量。此外，能夠防止在測(cè)量時(shí)被調(diào)節(jié)的狀態(tài)發(fā)生改變。進(jìn)一步，當(dāng)使用可拆卸的傾斜調(diào)節(jié)單元時(shí)，能夠防止在安裝和拆卸時(shí)被調(diào)節(jié)的狀態(tài)發(fā)生改變。

為了在干涉測(cè)量時(shí)獲得具有高對(duì)比度的白色干涉條紋，優(yōu)選不僅調(diào)節(jié)基準(zhǔn)表面的傾斜度而且調(diào)節(jié)基準(zhǔn)光路的長(zhǎng)度。圖3a,3b,4和5所示的基準(zhǔn)表面單元104包括能夠使在第二說(shuō)明性實(shí)施方式中描述的基準(zhǔn)表面的傾角的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(下文中稱作“基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元”)完全在光軸方向上滑動(dòng)從而調(diào)節(jié)基準(zhǔn)光路的長(zhǎng)度的配置。下面，還描述相應(yīng)的配置。

基準(zhǔn)表面單元104還具有殼體104h、調(diào)節(jié)螺釘104i、驅(qū)動(dòng)銷104j和彈簧104k。殼體104h為例如中心軸是光軸的圓柱形構(gòu)件，基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元插入圓柱體中。為此，基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元在圓柱體中滑動(dòng)，從而能夠沿光軸方向滑動(dòng)定位在基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元的尖端處的基準(zhǔn)表面104a。調(diào)節(jié)螺釘104i是設(shè)置在殼體104h和基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元之間的邊界部的外周上的圓柱體件。調(diào)節(jié)螺釘104i在其內(nèi)壁上具有凸緣狀凸起，并被構(gòu)造成擰緊到殼體104h上。驅(qū)動(dòng)銷104j設(shè)置成從固定軸承104b突伸，使得在將調(diào)節(jié)螺釘104i擰緊到殼體104h上時(shí)其接合到凸緣狀凸起。通過(guò)這種構(gòu)造，當(dāng)調(diào)節(jié)螺釘104i擰緊到殼體104h上時(shí)，凸緣狀凸起與驅(qū)動(dòng)銷104j碰撞，從而能夠沿光軸方向(基準(zhǔn)光路的長(zhǎng)度被縮短的方向)滑動(dòng)基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元。此外，彈簧104k設(shè)置在殼體104h中，該彈簧構(gòu)造成通過(guò)將基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元推入殼體104h中而縮短，從而當(dāng)調(diào)節(jié)螺釘104i在相反方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，能夠通過(guò)彈簧的排斥力沿光軸方向(基準(zhǔn)光路的長(zhǎng)度變長(zhǎng)的方向)滑動(dòng)基準(zhǔn)表面調(diào)節(jié)單元。

<第三說(shuō)明性實(shí)施方式>

在第三說(shuō)明性實(shí)施方式的配置中，傾斜調(diào)節(jié)單元104f可以從基準(zhǔn)表面單元104卸下。圖7示出傾斜調(diào)節(jié)單元104f的安裝狀態(tài)，圖8示出傾斜調(diào)節(jié)單元的拆卸狀態(tài)。

圖7和8示出了通過(guò)為傾斜調(diào)節(jié)單元104f提供蓋104m并將蓋螺釘104n擰緊到蓋104m上而能夠使傾斜調(diào)節(jié)單元104f輕松地固定到基準(zhǔn)表面單元10以及從基準(zhǔn)表面單元10卸下的配置的示例。然而，能夠進(jìn)行拆卸和固定的配置不限于此。例如，傾斜調(diào)節(jié)單元104f可設(shè)置有用于拆卸和固定的螺釘或鎖定機(jī)構(gòu)以執(zhí)行拆卸和固定。

當(dāng)將傾斜調(diào)節(jié)單元104f配置成可拆卸的，則優(yōu)選即使傾斜調(diào)節(jié)按鈕104f2被操作時(shí)，傾斜調(diào)節(jié)單元104f也以安裝的狀態(tài)牢固地固定至基準(zhǔn)表面單元104。因此，例如，優(yōu)選地，傾斜調(diào)節(jié)單元104f設(shè)置有復(fù)位彈簧104f3，該復(fù)位彈簧具有形成在兩個(gè)端部的爪件，如圖4所示，可動(dòng)軸承104e設(shè)置有缺口部104e1，如圖9所示，傾斜調(diào)節(jié)單元104f安裝成使得復(fù)位彈簧104f3的爪件的位置與缺口部104e1匹配。通過(guò)這種配置，傾斜調(diào)節(jié)單元104f牢固地固定到基準(zhǔn)表面單元104，可以穩(wěn)固地進(jìn)行調(diào)節(jié)操作。

在基準(zhǔn)表面104a以任意傾角固定的狀態(tài)下，基準(zhǔn)表面單元可以在傾斜調(diào)節(jié)單元104f被拆卸且防灰罩104p被用來(lái)替代蓋104m而安裝時(shí)使用。圖10a示出了安裝之前的狀態(tài)，圖10b示出了安裝之后的狀態(tài)。從而，當(dāng)基準(zhǔn)表面以任意角度固定到干涉物鏡的光軸或另一特定位置來(lái)執(zhí)行比較測(cè)量時(shí)，可以防止基準(zhǔn)表面無(wú)意中偏置。此外，當(dāng)基準(zhǔn)表面104a構(gòu)造成沿光軸方向可滑動(dòng)時(shí)，如第二說(shuō)明性實(shí)施例所描述的，能夠在防灰罩104p安裝時(shí)操作調(diào)節(jié)螺釘104i。因此，當(dāng)向調(diào)節(jié)螺釘104i的外周邊添加標(biāo)尺時(shí)，還可以方便地測(cè)量所述測(cè)量目標(biāo)上的步進(jìn)量(stepamount)。

傾斜調(diào)節(jié)單元104f被構(gòu)造成可拆卸的，從而不僅能夠使用被構(gòu)造成手動(dòng)調(diào)節(jié)傾斜量的構(gòu)件，而且能夠使用具有pzt和嵌入其中的致動(dòng)器并能夠執(zhí)行數(shù)字控制的自動(dòng)調(diào)節(jié)構(gòu)件。圖11示出了安裝有自動(dòng)傾斜調(diào)節(jié)單元104q的示例，其替代了圖6所示的手動(dòng)傾斜調(diào)節(jié)單元104f。使用所述自動(dòng)調(diào)節(jié)構(gòu)件，從而即使在干涉物鏡被用于數(shù)字控制的圖像測(cè)量裝置時(shí)，也能夠從個(gè)人計(jì)算機(jī)(pc)控制基準(zhǔn)表面的傾斜度的調(diào)節(jié)。而且，在例如顯微鏡的手動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)中，自動(dòng)傾斜調(diào)節(jié)單元可以被適當(dāng)置換并與傾斜調(diào)節(jié)單元一起使用，所述傾斜調(diào)節(jié)單元具有另一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及具有組合的粗略移動(dòng)和精細(xì)移動(dòng)的傾斜調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

<第四說(shuō)明性實(shí)施方式>

在本發(fā)明的干涉物鏡中，基準(zhǔn)表面可被置換。因此，當(dāng)預(yù)先準(zhǔn)備具有多個(gè)基準(zhǔn)表面單元的基準(zhǔn)表面單元組時(shí)，其中基準(zhǔn)表面單元的反射性、要形成的任意形狀、基準(zhǔn)表面的階梯和形狀圖案中的至少一個(gè)彼此不同，能夠用對(duì)應(yīng)于要被測(cè)量表面的紋理的適當(dāng)?shù)幕鶞?zhǔn)表面順序地置換所述基準(zhǔn)表面而精確且有效地執(zhí)行測(cè)量。此外，當(dāng)準(zhǔn)備基準(zhǔn)表面單元組時(shí)，如果基準(zhǔn)表面單元的基準(zhǔn)表面的傾角的調(diào)節(jié)已事先完成，則更有效地執(zhí)行測(cè)量。

本發(fā)明的干涉物鏡的構(gòu)造可以在本發(fā)明所描述的技術(shù)思想的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)刈兓⑶易兓蚋脑煲舶ㄔ诒景l(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。