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      基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器的制作方法

      文檔序號:11107138閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特點為:

      該傳感器結構包括蓋層和襯底,以及加工在蓋層和襯底上面的金屬結構陣列,且兩者之間的空隙構成了可以支持液體樣品流動的微流通道。當有太赫茲波穿過此通道時,由于太赫茲波與亞波長超材料金屬結構的共振吸收作用,會有部分電磁波被局限在金屬結構表面,此被局限的電磁波與其周圍的物質(zhì)發(fā)生相互作用,引起共振頻率的偏移,且偏移量隨著物質(zhì)的介電常數(shù)的改變而變化。

      2.根據(jù)權利要求1所述的基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特征在于:蓋層結構上的金屬結構加工在朝向襯底方向的面上,附著在襯底上的金屬結構加工在朝向蓋層方向的面上,且蓋層和襯底相對的兩個面分別構成了微流通道的上表面和下表面。

      3.根據(jù)權利要求1所述的基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特征在于:所述微流通道的高度即蓋層和襯底之間的間隔為0~50um,寬度為1000~5000um。

      4.根據(jù)權利要求1所述的基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特征在于:組成蓋層和襯底的材料相同,且為硅、砷化鎵、玻璃、聚二甲基硅氧烷、聚丙烯、聚乙烯、聚四氟乙烯、聚甲基戊烯和聚酰亞胺中的任意一種。

      5.根據(jù)權利要求1所述的基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特征在于蓋層的厚度可為1~100um,襯底的厚度可為1~600um。

      6.根據(jù)權利要求1所述的基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特征在于:超材料金屬結構所采用的材料可為銀、金、鈦、銅、鋁、鎳和鉻其中的一種或者幾種。

      7.根據(jù)權利要求1所述的基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特征在于:加工在微流通道上下兩表面的金屬結構為周期性排列的亞波長結構單元,且結構單元的排列周期為130~200um。

      8.根據(jù)權利要求1所述的基于L形結構超材料的透射型太赫茲微流通道傳感器,其特征在于:周期性排列的亞波長金屬微結構的厚度為0.01~0.5um,大小為45~70um。

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