1.一種絕壓壓力傳感器,其特征在于,包括管座(1)和殼體(2),所述管座(1)的一端與所述殼體(2)密封連接并形成內(nèi)部空腔(3),所述管座(1)上設(shè)置有通孔(11),所述通孔(11)于內(nèi)部空腔(3)的一側(cè)密封設(shè)置有敏感芯片(4),所述通孔(11)的另一側(cè)封堵并使通孔(11)內(nèi)形成真空,所述管座(1)上設(shè)置有引線柱(5),所述引線柱(5)的一端與所述敏感芯片(4)相連,另一端則引出至管座(1)外;所述殼體(2)上設(shè)置有連通內(nèi)部空腔(3)的進氣口(21),所述內(nèi)部空腔(3)內(nèi)設(shè)置有密封組件(6),用于在外部氣壓大于預(yù)設(shè)壓力時密封所述進氣口(21)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的絕壓壓力傳感器,其特征在于,所述密封組件(6)包括盒體(64)、膜瓣(61)和盒蓋(65),所述盒體(64)安裝于內(nèi)部空腔(3)內(nèi)并將內(nèi)部空腔(3)分隔成兩個獨立空腔,所述盒體(64)上設(shè)有連通兩個獨立空腔的通氣孔(641);所述盒體(64)于進氣口(21)的一側(cè)設(shè)置有臺階盲孔,所述膜瓣(61)的一端密封住所述臺階盲孔并使臺階盲孔內(nèi)形成真空,所述膜瓣(61)的另一端設(shè)有盒蓋(65),所述螺桿的一端穿過所述進氣口(21)后與所述盒蓋(65)緊固連接,另一端的螺母與所述進氣口(21)的端面之間設(shè)置有密封圈(63);所述膜瓣(61)在受到預(yù)設(shè)壓力時產(chǎn)生形變,帶動所述螺栓(62)往內(nèi)部空腔(3)內(nèi)移動,以使螺母將密封圈(63)壓緊在進氣口(21)的端面上而密封所述進氣口(21)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的絕壓壓力傳感器,其特征在于,所述膜瓣(61)包括兩個環(huán)形彈片,兩個環(huán)形彈片的一端相互焊接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的絕壓壓力傳感器,其特征在于,所述環(huán)形彈片呈弧形。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的絕壓壓力傳感器,其特征在于,所述進氣口(21)為臺階孔(22),所述密封圈(63)設(shè)置在所述臺階孔(22)內(nèi)。
6.一種如權(quán)利要求1至5中任意一項所述的絕壓壓力傳感器的制備方法,其特征在于,步驟為:
S01、開始,在所述管座(1)的通孔(11)一側(cè)粘貼敏感芯片(4),并將敏感芯片(4)與所述引線柱(5)的一端相連;
S02、將管座(1)與所述殼體(2)緊固連接;整體置于真空環(huán)境下,將通孔(11)的另一端封堵,將密封組件(6)安裝于所述內(nèi)部空腔(3)與殼體(2)的進氣口(21)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述制備方法,其特征在于,在步驟S02中,將盒體(64)安裝于所述管座(1)內(nèi)部空腔(3)內(nèi),再將膜瓣(61)的一端覆蓋住所述盒體(64)臺階盲孔,另一端連接盒蓋(65),并使凹槽內(nèi)為真空狀態(tài),再將管座(1)與所述殼體(2)緊固相連;再將螺栓(62)的一端依次穿過密封圈(63)、殼體(2)的進氣口(21)后與盒蓋(65)緊固相連。