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      一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器的制作方法

      文檔序號(hào):12173443閱讀:389來(lái)源:國(guó)知局
      一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器的制作方法與工藝

      本發(fā)明屬于溫度傳感器領(lǐng)域,尤其涉及了一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器。



      背景技術(shù):

      溫度傳感器在許多領(lǐng)域都有著重要且廣泛的應(yīng)用。在CMOS溫度傳感器出現(xiàn)之前,大多采用熱敏電阻、鉑電阻等傳統(tǒng)溫度傳感器。這些傳統(tǒng)溫度傳感器均需要獨(dú)立的讀出電路,增加了電路的面積和成本。

      與傳統(tǒng)的溫度傳感器相比,CMOS溫度傳感器具有功耗小、成本低、面積小的優(yōu)點(diǎn),但其工作溫度范圍有限(專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?01410840269.0),且精度略低于傳統(tǒng)溫度傳感器(專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枺?014000752848.X)。

      為此,提高CMOS溫度傳感器的工作溫度范圍和精度是改進(jìn)溫度傳感器性能的主要內(nèi)容。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明所要解決的主要技術(shù)問(wèn)題是提供一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器,同時(shí)滿(mǎn)足高精度和寬測(cè)量范圍的技術(shù)要求。

      為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器,包括:

      溫度傳感電路,由核心電路和偏置電路組成,核心電路中,每一支電路產(chǎn)生的電流大小相同,使其中的5支電流流過(guò)其中1個(gè)晶體管,另一支流過(guò)另一個(gè)晶體管,達(dá)到電流5∶1的效果;偏置電路為核心電路提供精準(zhǔn)的偏置電壓,6個(gè)單刀雙擲開(kāi)關(guān)通過(guò)6位數(shù)字信號(hào)來(lái)選通,其中1位信號(hào)與其他5位信號(hào)反相,控制6路信號(hào),使得其中1路信號(hào)與其他5路信號(hào)流向不同,將這6支電路由工藝誤差導(dǎo)致的不匹配降至最小;

      后端Σ-ΔADC電路,由2個(gè)積分器、1個(gè)量化器(運(yùn)用比較器實(shí)現(xiàn))以及時(shí)鐘組成。

      相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的技術(shù)方案具備以下有益效果:本發(fā)明提供了一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器,在不顯著增加制造成本的同時(shí),提高了傳感器的測(cè)量精度,有效地增加了傳感器的測(cè)量范圍。本發(fā)明的裝置可滿(mǎn)足CMOS溫度傳感器的技術(shù)要求。

      附圖說(shuō)明

      為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

      圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器的溫度傳感電路圖;

      圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器的后端Σ-ΔADC電路圖。

      具體實(shí)施方式

      下文結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。

      一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器,包括:

      溫度傳感電路,如圖1所示,由核心電路和偏置電路組成,核心電路中,每一支電路產(chǎn)生的電流大小相同,使其中的5支電流流過(guò)其中1個(gè)晶體管,另一支流過(guò)另一個(gè)晶體管,達(dá)到電流5∶1的效果;偏置電路為核心電路提供精準(zhǔn)的偏置電壓,6個(gè)單刀雙擲開(kāi)關(guān)通過(guò)6位數(shù)字信號(hào)來(lái)選通,其中1位信號(hào)與其他5位信號(hào)反相,控制6路信號(hào),使得其中1路信號(hào)與其他5路信號(hào)流向不同,將這6支電路由工藝誤差導(dǎo)致的不匹配降至最小。

      后端Σ-ΔADC電路,如圖2所示,由2個(gè)積分器、1個(gè)量化器(運(yùn)用比較器實(shí)現(xiàn))以及時(shí)鐘組成。當(dāng)b=0時(shí),ΔVBE被積分;b=1時(shí),VBE被積分。1和2是控制積分器開(kāi)關(guān)的信號(hào),1和2在b=0時(shí)的頻率是b=1時(shí)的2倍,在同一周期內(nèi),ΔVBE被積分的次數(shù)是VBE積分次數(shù)的2倍。

      基于TSMC 90nm CMOS工藝對(duì)傳感器進(jìn)行設(shè)計(jì),采用專(zhuān)業(yè)的恒溫控制箱進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試數(shù)據(jù)如表1所示,在1.2V電源電壓下,電路功耗為56mW,在-45℃-125℃溫度范圍內(nèi),傳感器溫度測(cè)量誤差小于±1.5℃,具有量程大、誤差小的特點(diǎn),擴(kuò)大了溫度傳感器在各種場(chǎng)合的應(yīng)用范圍。

      本實(shí)施例中,所述一種大量程低誤差CMOS溫度傳感器,采用溫度傳感電路,將得到的溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)輸出;采用后端Σ-ΔADC電路,將溫度傳感器核心電路所產(chǎn)生的ΔVBE和VBE信號(hào)通過(guò)2階積分器積分,最后通過(guò)量化器產(chǎn)生一串?dāng)?shù)字編碼bs。在1.2V電源電壓下,電路功耗為56mW,在-45℃-125℃溫度范圍內(nèi),傳感器溫度測(cè)量誤差小于±1.5℃,具有量程大、誤差小的特點(diǎn),擴(kuò)大了溫度傳感器在各種場(chǎng)合的應(yīng)用范圍。

      表1 測(cè)試數(shù)據(jù)表

      以上所述,僅為本發(fā)明較佳實(shí)施例,不以此限定本發(fā)明實(shí)施的范圍,依本發(fā)明的技術(shù)方案及說(shuō)明書(shū)內(nèi)容所作的等效變化與修飾,皆應(yīng)屬于本發(fā)明涵蓋的范圍。

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