技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
用于檢測(cè)缺陷的方法和關(guān)聯(lián)裝置。本發(fā)明涉及確定在結(jié)構(gòu)的頂側(cè)中的空洞型缺陷的尺寸的方法，該結(jié)構(gòu)包括被放在基板上的頂層，該缺陷位于頂層中；該方法包括：a)將結(jié)構(gòu)引入到反射暗場(chǎng)顯微鏡裝置中以根據(jù)由頂側(cè)散射的光線生成缺陷相關(guān)第一信號(hào)和粗糙度相關(guān)第二信號(hào)的步驟；b)用多個(gè)像素捕捉粗糙度相關(guān)第二信號(hào)的強(qiáng)度的步驟；方法引人注意之處在于：此外包括：c)用于將由每個(gè)像素捕捉的強(qiáng)度與由相鄰像素捕捉的強(qiáng)度進(jìn)行比較并且用于定義所述像素是否包含在異常區(qū)域中的處理步驟；d)提取由異常區(qū)域的像素捕捉的強(qiáng)度值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的步驟；e)根據(jù)提取的標(biāo)準(zhǔn)偏差確定與異常區(qū)域關(guān)聯(lián)的空洞型缺陷的尺寸的步驟。本發(fā)明還涉及檢測(cè)空洞型缺陷的裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：O·菲爾斯多夫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：索泰克公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.07
技術(shù)公布日：2017.08.11