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      激光光束空間相干長度測量裝置及其測量方法與流程

      文檔序號:11102664閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了一種激光光束空間相干長度測量裝置及其測量方法,涉及光學(xué)測量技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提出的激光光束空間相干長度測量裝置采用具備非等間距排列的多孔陣列板,通過探測器采集多孔衍射波前的干涉圖,只需單次測量,便可測得激光光束的空間相干長度,裝置結(jié)構(gòu)簡單,測量速度快。另外,本發(fā)明還相應(yīng)的提出了其測量方法,根據(jù)傅里葉變換計算,可以準(zhǔn)確的得到激光光束的空間相干長度。

      技術(shù)研發(fā)人員:盧增雄;齊月靜;王宇;齊威;楊光華;蘇佳妮;周翊
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院光電研究院
      文檔號碼:201611204744
      技術(shù)研發(fā)日:2016.12.22
      技術(shù)公布日:2017.05.10

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