一些實(shí)施例涉及裝置并且特別地但是非排他地涉及用于測(cè)距應(yīng)用中使用的裝置。

背景技術(shù)：

用于確定到對(duì)象的距離的設(shè)備是已知的。一種目前使用的方法被稱為“飛行時(shí)間”。這一方法包括朝向?qū)ο蟀l(fā)送光信號(hào)并且確定信號(hào)行進(jìn)到對(duì)象并且返回所用的時(shí)間。對(duì)信號(hào)所用的用于這一行程的時(shí)間的計(jì)算可以通過測(cè)量從光源出來的信號(hào)和在對(duì)象上反射并且由光傳感器檢測(cè)到的信號(hào)之間的相位移動(dòng)而獲得。知道這一相位移動(dòng)和光速使得能夠確定到對(duì)象的距離。還已知使用直方圖技術(shù)的其它技術(shù)。

單光子雪崩二極管(SPAD)可以被用于感測(cè)被反射的光。一般地，SPAD的陣列被提供作為傳感器，以便檢測(cè)被反射的光脈沖。光子可以觸發(fā)SPAD陣列中的一個(gè)或者多個(gè)SPAD中的雪崩電流。該雪崩電流可以標(biāo)志著如下事件，即已經(jīng)檢測(cè)到光的光子。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了正確地對(duì)興趣對(duì)象測(cè)距，根據(jù)一個(gè)方面，提供距離感測(cè)裝置，其包括：光源裝置，被配置為發(fā)射偏振光；以及光敏檢測(cè)器裝置，被配置為檢測(cè)由所述光源裝置發(fā)射并且從目標(biāo)反射的光，其中所述光敏檢測(cè)器裝置被配置為基本上防止從具有相對(duì)高的反射率的目標(biāo)反射的所述偏振光抵達(dá)所述檢測(cè)器。

光源裝置可以包括偏振光的發(fā)射器。

光源裝置可以包括光源和光源偏振裝置。

光源偏振裝置可以被配置為如下之一：使由所述光源發(fā)射的所述光進(jìn)行圓偏振；以及使由所述光源發(fā)射的所述光進(jìn)行線偏振。

光敏檢測(cè)裝置可以包括檢測(cè)器偏振裝置和至少一個(gè)光敏檢測(cè)器。

所述檢測(cè)器偏振裝置可以提供所述光源偏振裝置。

所述光源偏振裝置和所述檢測(cè)器偏振裝置中的至少一個(gè)偏振裝置可以包括四分之一波片。

所述光源偏振裝置和所述檢測(cè)器偏振裝置中的至少一個(gè)偏振裝置可以包括線偏振器。

檢測(cè)器偏振裝置可以包括至少一個(gè)第一線偏振器和正交于至少一個(gè)第一線偏振器的至少一個(gè)第二線偏振器。

具有相對(duì)高的反射率的目標(biāo)可以包括玻璃、鏡子、或者鏡子式的表面。

光敏檢測(cè)器裝置可以包括至少一個(gè)光敏檢測(cè)器，所述光敏檢測(cè)器中的至少一個(gè)光敏檢測(cè)器包括提供線偏振器的線性柵格。

線性柵格可以包括平行接線的柵格，所述接線的縱向延伸限定偏振平面。

鄰近的接線之間的間距可以小于光的波長(zhǎng)。

柵格或者每個(gè)柵格可以被單獨(dú)地提供給相應(yīng)的光敏檢測(cè)器。

光敏檢測(cè)器可以包括光敏檢測(cè)器的陣列，該光敏檢測(cè)器的陣列中的至少一個(gè)光敏檢測(cè)器被提供有偏振濾波器，并且該光敏檢測(cè)器的陣列中的至少一個(gè)光敏檢測(cè)器沒有偏振濾波器。

光敏檢測(cè)器或者每個(gè)光敏檢測(cè)器可以包括SPAD。

本公開的實(shí)施例可以正確地對(duì)興趣對(duì)象測(cè)距，而不是將具有相對(duì)高的反射率的表面檢測(cè)為目標(biāo)。

附圖說明

現(xiàn)在將僅通過示例的方式并且參照附圖描述一些實(shí)施例，其中：

圖1圖示了用于確定到對(duì)象的距離的“飛行時(shí)間”方法的原理；

圖2A至圖2C是圖示了借助于圖1中的設(shè)備以及“SPAD”的操作獲得的結(jié)果的時(shí)序圖。

圖3示出了其中光從非反射性對(duì)象被反射的情境；

圖4示出了在一些實(shí)施例中使用的原理；

圖5示出了其中光從窗口被反射的情境；

圖6示出了其中光從鏡子被反射的情境；

圖7示出了具有SPAD陣列設(shè)置的設(shè)備；

圖8示出了其中線偏振光從鏡子被反射的情境；

圖9示出了其中偏振光經(jīng)由鏡子從對(duì)象被反射的情境；

圖10A和圖10B示出了在一些實(shí)施例中使用的SPAD器件的橫截面；

圖11示出了圖10中的SPAD器件的透視圖；以及

圖12示意性地示出了具有線偏振濾波的成像器的示例。

具體實(shí)施方式

在圖1中，發(fā)生器10(PULSE)提供周期性電信號(hào)，例如，所述信號(hào)可以是方形的。這一信號(hào)對(duì)光源12供電。光源12的示例可以是發(fā)光二極管，或者任何已知照明設(shè)備，例如激光器。從光源12出來的信號(hào)被朝向?qū)ο?6傳輸并且被這一對(duì)象反射。被反射的光信號(hào)由光傳感器18(CAPT)檢測(cè)。傳感器18上的信號(hào)CAPT因此從由發(fā)生器提供的信號(hào)被延遲了與到對(duì)象16的距離的兩倍成比例的時(shí)間段。

計(jì)算塊20(“DIFF”)接收由發(fā)生器10和由傳感器18生成的信號(hào)以獲得到對(duì)象16的距離。已知用于確定這一距離的各種不同的技術(shù)。

圖2A至圖2C是圖示了諸如圖1中的電路之類的電路的操作的時(shí)序圖。圖2A圖示了能夠由圖1中的發(fā)生器10提供的周期性信號(hào)“PULSE”。圖2B圖示了由傳感器18接收的信號(hào)CAPT。傳感器18上的信號(hào)從發(fā)生器10出來的信號(hào)被延遲了延遲D。

通常，傳感器18集成了實(shí)現(xiàn)對(duì)從對(duì)象16反射之后被接收的信號(hào)的檢測(cè)的一個(gè)或者幾個(gè)光檢測(cè)元件。這種元件可以是快速電荷轉(zhuǎn)移光電二極管。可以備選地使用單光子雪崩二極管或者“SPAD”，還稱為蓋革(Geiger)模式雪崩光電二極管。這些器件具有反向偏置p-n 結(jié)，其中光子可以由于碰撞離化機(jī)制觸發(fā)雪崩電流。SPAD可以被設(shè)計(jì)為以比擊穿電壓高得多的反向偏置電壓操作。

圖2C圖示了在其中傳感器18包含這種SPAD的情形下，由這一傳感器生成的信號(hào)(PULSEC)。

SPAD按如下方式操作。在初始時(shí)間時(shí)，二極管被反向偏置到大于其擊穿電壓的電壓。二極管結(jié)區(qū)域中的光子接收在二極管中產(chǎn)生雪崩電流，這創(chuàng)建了電脈沖。二極管接著被偏置回到小于擊穿電壓的電壓以淬滅雪崩電流，使得SPAD可以再次對(duì)接收到光子起反應(yīng)。然而，二極管必須再次被反向偏置到大于其擊穿電壓的電壓以便對(duì)另一光子起反應(yīng)。SPAD目前可以在具有短于10ns的再激活周期的循環(huán)中使用。因此，SPAD可以在高頻率下使用以檢測(cè)與測(cè)量設(shè)備相距相對(duì)短距離處的對(duì)象，例如范圍從幾厘米到幾十厘米的距離。其它設(shè)置可以支持不同的范圍。

如圖2C所示，如果SPAD接收諸如聯(lián)系圖2B描述的光信號(hào)，則二極管雪崩時(shí)間可以關(guān)于這一信號(hào)變化。脈沖數(shù)與時(shí)間關(guān)系的圖反映由SPAD接收的光的功率-時(shí)間分布。因此，在圖2A至圖2C所示的情形下，通過大量的采集，通過SPAD的脈沖傳輸?shù)膱D基本上遵循圖2B中的曲線。

因此，飛行時(shí)間(ToF)傳感器可以通過確定所發(fā)射的光被反射回到傳感器所用的時(shí)間，來測(cè)量傳感器和目標(biāo)表面之間的距離。

來自ToF傳感器的測(cè)量可以具有很多不同的應(yīng)用。例如，測(cè)量可以被用于當(dāng)拍照時(shí)協(xié)助自動(dòng)聚焦機(jī)制。ToF傳感器可以被提供在相機(jī)中，并且關(guān)于到對(duì)象的距離的信息被用于至少部分控制相機(jī)中的聚焦機(jī)制。

然而，當(dāng)用戶想要拍攝鏡子的照片或者穿過外部玻璃窗口拍攝照片時(shí)，會(huì)出現(xiàn)問題。在這種使用情形下，可能期望ToF傳感器返回鏡子“中”或者玻璃后的對(duì)象的距離。然而，因?yàn)閺牟ＡШ顽R子表面返回的信號(hào)通常相比于從興趣對(duì)象的反射而言相對(duì)高，所以ToF傳感器傾向于返回鏡子或者玻璃的距離(即，到鏡子或者玻璃表面的距離) 而不是興趣對(duì)象的距離。

參照?qǐng)D3，其中對(duì)象210不是反射性的。來自光源202的光被發(fā)射并且穿過第一線偏振器204。線偏振器204將使得由光源202發(fā)射的非偏振光被線偏振。線偏振光接著穿過四分之一波片206以產(chǎn)生圓偏振光208。當(dāng)光從對(duì)象210被反射時(shí)，被反射的光253未被偏振。被反射的光253大部分不受阻礙地穿過四分之一波片206和線偏振器204，雖然后者將把該光線偏振。因此，被發(fā)射的光將抵達(dá)檢測(cè)器200。

參照?qǐng)D4，其示出了在一些實(shí)施例中使用的原理。來自光源202的光被發(fā)射并且穿過第一線偏振器204。線偏振器204將使得由光源202發(fā)射的非偏振光被線偏振(在所示的示例中為P偏振)。線偏振光接著穿過四分之一波片206。四分之一波片206產(chǎn)生圓偏振光208。當(dāng)光從反射表面212反射時(shí)，被反射的光208被圓偏振，但是相比于入射光，具有反向的偏振狀態(tài)。反射表面例如可以是玻璃、鏡子、或者任何其它類型的反射表面。被反射的光252穿過四分之一波片206，其在四分之一波片206處被轉(zhuǎn)換為線偏振光。然而，該線偏振光正交于由線偏振器204引入的偏振(在所示的示例中為S偏振)。因此，被反射的光被線偏振器204阻擋。因此，被反射的光未抵達(dá)檢測(cè)器200。

如將更詳細(xì)地討論的那樣，反射表面212可以是鏡子、窗口的玻璃面、或者任何其它合適的反射表面。因?yàn)閺姆瓷浔砻娣瓷涞墓獠坏诌_(dá)檢測(cè)器，這意味著檢測(cè)器不會(huì)將反射表面檢測(cè)為目標(biāo)。

參照?qǐng)D5，其示出了其中反射表面是窗口的玻璃214的面并且對(duì)象210在窗口之后。來自光源202的光穿過線偏振器204和四分之一波片206。光因此如前面討論那樣被圓偏振。從玻璃反射的光被引用為262。如前面討論那樣，被反射的光被圓偏振，但是相比于入射光而言具有反向的偏振狀態(tài)。被反射的光262穿過四分之一波片206，其在四分之一波片206處被轉(zhuǎn)換為線偏振光并且接著被線偏振器204阻擋。因此，從玻璃反射的光未抵達(dá)檢測(cè)器200。

然而，來自光源202的一些光將穿過玻璃214并且從對(duì)象210反 射回來。被對(duì)象210反射的光242未被偏振。從對(duì)象210反射的非偏振光242如聯(lián)系圖3討論那樣穿過玻璃214的面、四分之一波片206、以及線偏振器204，以從而被檢測(cè)器200檢測(cè)到。

在這一示例中參照?qǐng)D6，并且反射表面是鏡子。來自光源202的光穿過線偏振器204和四分之一波片206。光因此如之前討論那樣被圓偏振。從玻璃反射的光被引用為230。如前面討論那樣，被反射的光被圓偏振，但是相比于入射光而言具有反向的偏振狀態(tài)。被反射的光230穿過四分之一波片206，其在四分之一波片206處被轉(zhuǎn)換為線偏振光并且接著被線偏振器204阻擋。因此，從玻璃反射的光未抵達(dá)檢測(cè)器200。

一些光將從鏡子232反射，以從鏡子前方的對(duì)象216反射。這可以在用戶為他們自己拍攝照片的情況下使用。從對(duì)象234反射的光將不被偏振，并且因此當(dāng)該非偏振光從對(duì)象234反射回到反射表面212時(shí)，該光將轉(zhuǎn)而從反射表面反射回到檢測(cè)器236。因?yàn)楣馕幢黄瘢摴鈱⑷缰坝懻撃菢拥诌_(dá)檢測(cè)器。

在一些實(shí)施例中，檢測(cè)器、光源、連同線偏振器和四分之一波片中的一個(gè)或者多個(gè)可以被包括在共用封裝中。在其它實(shí)施例中，四分之一波片206和線偏振器中的一個(gè)或者多個(gè)可以被外部提供到包括光源和檢測(cè)器的封裝。

通過將減反射偏振濾波器放在ToF傳感器模塊內(nèi)或者放在傳感器頂部上的蓋玻璃內(nèi)的光學(xué)堆疊中，來自例如鏡子和玻璃的反射可以被過濾掉，從而允許傳感器正確地對(duì)興趣對(duì)象測(cè)距。

因此，實(shí)施例可以使用與四分之一波片(λ/4)結(jié)合的線偏振器，以產(chǎn)生圓偏振光。在圓偏振光被鏡子或者玻璃反射之后，其不能穿過相同的光學(xué)堆疊。

在使用ToF傳感器、使用正常朗伯(Lambertian)目標(biāo)的正常測(cè)距操作期間(見圖3)，圓偏振光從光源行進(jìn)并且行進(jìn)到對(duì)象上。該光作為非偏振光被反射回來并且大部分不受阻礙地穿過光學(xué)堆疊。ToF傳感器接著可以測(cè)量到對(duì)象的距離。

使用鏡子目標(biāo)(見圖6)，從鏡子反射的圓偏振光將仍然是圓偏振的，但是其將具有反向的偏振狀態(tài)或者自旋特性。被反射的光行進(jìn)穿過波片，并且被轉(zhuǎn)換為線偏振光。這一線偏振光正交于線偏振器，并且因此將被拒絕或者阻擋而不能抵達(dá)傳感器。ToF傳感器因此將不把鏡子視為有效目標(biāo)。

對(duì)于玻璃使用情形(見圖5)，玻璃將返回偏振光，并且興趣對(duì)象將返回非偏振光，并且僅來自對(duì)象的光將能夠穿過光學(xué)堆疊。

在一些實(shí)施例中，可以使用不同的偏振設(shè)置。例如，偏振器可以是接線柵格偏振器、吸收性偏振器、分束偏振器、薄膜偏振器、或者任何其它合適的偏振濾波器。

在一些實(shí)施例中，檢測(cè)器可以包括感測(cè)元件的陣列。至少一個(gè)感測(cè)元件可以具有諸如之前討論那樣的偏振設(shè)置，并且至少一個(gè)感測(cè)元件可以不具有偏振設(shè)置。使用這種設(shè)置，從被提供有偏振設(shè)置的至少一個(gè)感測(cè)元件獲得的信息可以與從沒有偏振設(shè)置的至少一個(gè)感測(cè)元件獲得的信息進(jìn)行比較。該差別可以被用于檢測(cè)諸如玻璃面或者鏡子之類的反射性對(duì)象的存在。特別地，如果由沒有偏振設(shè)置的至少一個(gè)感測(cè)元件檢測(cè)的距離小于由具有偏振設(shè)置的至少一個(gè)感測(cè)元件檢測(cè)的距離，則可以確定有反射表面存在。

一些實(shí)施例可以被提供在諸如圖7所示的設(shè)備400中。設(shè)備400可以包括多個(gè)如之前描述那樣并且被引用為402的SPAD陣列。來自SPAD設(shè)置的輸出可以被提供到處理器404?；谟商幚砥魈峁┑妮敵觯畔⒒蛘呖刂菩盘?hào)可以被輸出到功能塊406。功能塊可以是被配置為響應(yīng)于檢測(cè)到對(duì)象的存在而引起一個(gè)或者多個(gè)動(dòng)作的控制器。功能塊可以是被配置為顯示測(cè)量結(jié)果的顯示器。處理器可以被配置為識(shí)別來自從SPAD陣列提供的信息的一個(gè)或者多個(gè)手勢(shì)。

在一些實(shí)施例中，光源可以產(chǎn)生偏振光。例如，光源可以產(chǎn)生圓偏振光，而未利用在光源前方的圓偏振器(諸如四分之一波片)。在其它實(shí)施例中，光源可以例如產(chǎn)生線偏振光，而未利用在光源前方的線偏振器。

在一些實(shí)施例中，檢測(cè)器可以檢測(cè)偏振光。例如，檢測(cè)器可以檢測(cè)圓偏振光，而未利用在檢測(cè)器前方的圓偏振器(諸如四分之一波片)。在其它實(shí)施例中，檢測(cè)器可以例如檢測(cè)線偏振光，而未利用在檢測(cè)器前方的線偏振器。

參照?qǐng)D8，在這一示例中，僅利用了彼此正交(90度異相，或者接近90度異相)的線偏振器。第一線偏振器204(例如豎直對(duì)準(zhǔn))將使得由光源202發(fā)射的非偏振光變成線偏振光308(在所示的示例中為P偏振)。當(dāng)該P(yáng)偏振光被反射表面212反射時(shí)，光保持其P偏振狀態(tài)。從反射表面反射的光被引用為330。被反射的光330接著由正交對(duì)準(zhǔn)于第一線偏振器的第二線偏振器306(例如水平對(duì)準(zhǔn))阻擋。因此，從反射表面反射的光未抵達(dá)檢測(cè)器200。

使用鏡子目標(biāo)(見圖9)，僅從鏡子330反射的P偏振光將仍然是P偏振的，并且將如上面討論那樣不被檢測(cè)。當(dāng)P偏振光332被對(duì)象316反射時(shí)，被反射的光是非偏振光334。這一非偏振光334接著可以被鏡子212反射。從鏡子336反射的非偏振光中的一些接著能夠穿過第二線偏振器306，因?yàn)榉瞧窆饩哂幸恍㏒偏振分量。因此，被反射的光將抵達(dá)檢測(cè)器200。

在一些實(shí)施例中，檢測(cè)器200可以使用單光子雪崩二極管(SPAD)感測(cè)被反射的光。一般地，SPAD的陣列被提供作為傳感器，以便檢測(cè)被反射的光脈沖或者光。光子可以觸發(fā)SPAD陣列中的一個(gè)或者多個(gè)SPAD中的雪崩電流。雪崩電流可以標(biāo)志著如下事件，即已經(jīng)檢測(cè)到光的光子。

SPAD按如下方式操作。在初始時(shí)間時(shí)，二極管被反向偏置到大于其擊穿電壓的電壓。二極管結(jié)區(qū)域中的光子的接收在二極管中產(chǎn)生雪崩電流，這創(chuàng)建了電脈沖。二極管接著被偏置回到小于擊穿電壓的電壓以淬滅雪崩電流，使得SPAD可以再次對(duì)接收到光子起反應(yīng)。然而，二極管必須再次被反向偏置到大于其擊穿電壓的電壓以便對(duì)另一光子起反應(yīng)。SPAD目前可以在具有短于10ns的再激活周期的循環(huán)中使用。

參照?qǐng)D10A，其示意性地示出了在一些實(shí)施例中使用的SPAD的橫截面。SPAD 54可以被提供在p襯底52中。相應(yīng)的p阱30和42可以被提供在襯底中。n阱區(qū)域被提供在兩個(gè)p阱30和42之間。n阱區(qū)域包括深n阱34、n阱32、以及n+區(qū)域36。n+區(qū)域36鄰近SPAD的表面區(qū)域，并且具有與其接觸的陰極38。p阱30和42中的每個(gè)被提供有相應(yīng)的p+區(qū)域46和44。相應(yīng)的陽極48和50被提供為與相應(yīng)的p+區(qū)域46和44接觸。應(yīng)該領(lǐng)會(huì)的是，倍增結(jié)被提供在深n阱34和p襯底52之間。

密集間隔的金屬接線柵格40被提供在SPAD的表面之上，并且因此在SPAD檢測(cè)器和反射源之間。接線柵格具有多個(gè)平行接線。密集間隔的接線柵格充當(dāng)用于光的偏振濾波器。接線之間的間距d可以小于光的波長(zhǎng)，并且可以例如為：d＝λ/2(其中λ是波長(zhǎng))。接線的寬度w可以如處理允許的那樣?。簑＝最小值(其中w為接線寬度，其中接線可以例如由金屬制成)，w的值可以例如為0.14μm。

在一些實(shí)施例中，接線柵格濾波器可以被提供在每個(gè)單獨(dú)的SPAD上。

應(yīng)該領(lǐng)會(huì)的是，接線的定向控制由柵格提供的線偏振的方向。

現(xiàn)在參照?qǐng)D10B，其示意性地示出了在一些實(shí)施例中使用的SPAD的橫截面。SPAD 1254可以被提供在P襯底1252中。相應(yīng)的P阱1230、1231、以及1232可以被提供在襯底中。P阱1230、1231、以及1232中的每個(gè)包括p+區(qū)域1234、1235、以及1236。相應(yīng)的陽極1238被提供到p+區(qū)域1235。p+區(qū)域1234以及1236中的每個(gè)被提供有電接地1237以及1239。N阱區(qū)域1240以及1241分別被提供在P阱區(qū)域1230和1231之間以及在P阱區(qū)域1231和1232之間(即以P-N-P-N-P設(shè)置)。N阱1240以及1241中的每個(gè)分別包括n+區(qū)域1242以及1243。N阱1240以及1241分別被提供有陰極1244以及1245。N-P-N阱1240、1231、以及1241分別被提供有深N阱1246。倍增結(jié)1247被提供在深N阱1246和P阱1231之間。在一些實(shí)施例中，線偏振器柵格邊緣40應(yīng)該從頂部金屬向下接觸到多晶硅(Poly)以避 免側(cè)照射。

在這一點(diǎn)上，參照?qǐng)D11，其示意性地示出了被提供在SPAD 54上的柵格40。在一些實(shí)施例中，保證了柵格端部邊緣在平行于接線的縱向方向上應(yīng)該從頂部金屬向下接觸到多晶硅層以避免撞擊在SPAD上的側(cè)照射，從而繞開由柵格提供的偏振功能。垂直于接線的縱向方向的邊緣仍然提供偏振功能。然而，在一些實(shí)施例中，與接線平行的方向上的柵格端部邊緣可以使得存在連續(xù)側(cè)邊緣以防止任何側(cè)照射。

現(xiàn)在參照?qǐng)D12，其示意性地示出了SPAD陣列上的濾波器的設(shè)置。在這一示例中，SPAD 60中的一些SPAD沒有任何接線柵格，并且因此能夠檢測(cè)包括偏振光在內(nèi)的所有光。換句話說，這些SPAD在其上不具有任何濾波器。SPAD 62中的一些SPAD每個(gè)被提供有被定向在一個(gè)方向上的接線柵格，并且SPAD 64中的一些SPAD被提供有被定向在垂直于SPAD 62的接線柵格的方向上的接線柵格。在圖12所示的示例中，被引用為62的那些SPAD可以例如僅檢測(cè)豎直偏振光，而被引用為64的那些SPAD僅能夠檢測(cè)水平偏振光。

使用諸如聯(lián)系圖10A、10B、11、以及12描述的SPAD陣列，光源可以被提供有其自身的線偏振濾波器以保證發(fā)射線偏振光。來自光源的光的偏振相對(duì)于至少一個(gè)SPAD上的偏振濾波器成直角，以過濾掉來自不想要的反射的光(例如在之前討論的窗口和鏡子的情景中)。

應(yīng)該領(lǐng)會(huì)的是，該設(shè)備可以是任何合適的設(shè)備。僅通過示例的方式并且不具有限制性，該設(shè)備可以是移動(dòng)電話、智能電話、平板電腦、計(jì)算機(jī)、測(cè)量設(shè)備、開關(guān)控制器(諸如用于燈、控制諸如水龍頭或者衛(wèi)生間中的供水)、門控制器、距離傳感器、作用控制器、或者任何其它合適的設(shè)備。

一些實(shí)施例可以使用其它傳感器而非SPAD。這些傳感器可以是在接收到光信息時(shí)生成事件的集成元件。

應(yīng)該領(lǐng)會(huì)的是，上面描述的設(shè)置可以至少部分地由集成電路、芯片集、一起封裝或者不同封裝中的一個(gè)或者多個(gè)裸片、分立電路、或者這些選項(xiàng)的任何組合來實(shí)施。

這里已經(jīng)在上面描述了具有不同變化的各種實(shí)施例。應(yīng)該注意的是，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以將這些各種實(shí)施例和變體的各種元件組合。

這種更改、修改、以及改善旨在作為本公開的一部分，并且旨在處于本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。因此，上面的描述僅通過示例的方式，并且不旨在是限制性的。本實(shí)用新型僅被限制為如以下權(quán)利要求和其等效所限定的。