本實(shí)用新型涉及一種漏氣檢測(cè)裝置尤其涉及一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置。

背景技術(shù)：

單晶硅的生產(chǎn)是單晶爐在真空狀態(tài)下，給內(nèi)部的石墨加熱器通電產(chǎn)生高溫，在通入保護(hù)氣體的狀態(tài)下，使熱場(chǎng)內(nèi)的多晶硅熔化，采用直拉法生產(chǎn)單晶硅的過(guò)程。在這個(gè)過(guò)程中真空度非常的重要，因?yàn)橐坏﹩尉t漏氣就會(huì)出現(xiàn)爐體內(nèi)吸入大量雜質(zhì)和非保護(hù)氣體，這些雜質(zhì)和非保護(hù)氣體會(huì)改變單晶硅的性質(zhì)，同時(shí)雜質(zhì)超標(biāo)會(huì)使產(chǎn)品不合格從而導(dǎo)致大量產(chǎn)品報(bào)廢的重大損失，同時(shí)吸入大量的氧氣，會(huì)氧化石墨器件，同樣造成巨大損失。因此單晶爐有嚴(yán)格的漏氣率要求，具體指標(biāo)是CG6000型單晶爐在冷態(tài)的漏氣率在每小時(shí)45毫托(45mtorr/h)以下，熱態(tài)的漏氣率在每小時(shí)30毫托（30mtorr/h）以下。一臺(tái)單晶爐如果漏氣率不合格，則必定是不能生產(chǎn)的廢機(jī)器。

而單晶爐是一種非常復(fù)雜精密的設(shè)備，它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，零部極多維修較為繁瑣。密封的方式有多種多樣，有橡膠密封環(huán)密封，磁流體密封，軸封密封等。每一個(gè)密封點(diǎn)就可以是一個(gè)漏氣點(diǎn)，故尋找漏氣點(diǎn)是一個(gè)非常復(fù)雜繁瑣費(fèi)時(shí)的過(guò)程。而且CG6000型單晶爐的特點(diǎn)是，爐體與抽空管道截止閥一起檢漏。抽空管道和截止閥、泵又是容易漏氣的點(diǎn)。如果抽空管道和截止閥漏氣，以現(xiàn)在的檢修手段無(wú)法直接判斷，必須從單晶爐開(kāi)始一步步的排除，耗時(shí)又耗力，極大地制約了生產(chǎn)效率。如何快速鎖定漏氣點(diǎn)，尤其是快速對(duì)抽空管道和截止閥漏氣點(diǎn)的鎖定是本領(lǐng)域技術(shù)人員首要解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決單晶爐的漏氣點(diǎn)鎖定慢，尤其是抽空管道和截止閥漏氣點(diǎn)無(wú)法直接判斷，須從單晶爐開(kāi)始一步步的排除，耗時(shí)又耗力等問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置，可以在檢漏時(shí)將抽空管道和截止閥、泵與爐體分開(kāi)來(lái)檢漏，從而快速的判斷是爐體漏氣還是抽空管道和截止閥漏氣，大大的提高的維修效率。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：本實(shí)用新型包括加筋軟管，加筋軟管的管體上設(shè)有一個(gè)閥門(mén)，且加筋軟管的兩端分別設(shè)置真空接頭，所述真空接頭包括彎頭和將加筋軟管接入需要檢漏的管道的法蘭板，法蘭板上設(shè)置有貫通的中心孔，彎頭一端焊接在中心孔上，另一端通過(guò)寶塔接頭深入到加筋軟管內(nèi)，且通過(guò)喉箍將加筋軟管與寶塔接頭緊固防止漏氣。

作為本實(shí)用新型一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置的進(jìn)一步改進(jìn)：所述法蘭板為KF50型真空管道用法蘭板。

作為本實(shí)用新型一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置的進(jìn)一步改進(jìn)：所述閥門(mén)的兩端用兩個(gè)外徑1英寸的寶塔接頭與加筋軟管連接。

作為本實(shí)用新型一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置的進(jìn)一步改進(jìn)：所述加筋軟管為內(nèi)徑尺寸1英寸。

作為本實(shí)用新型一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置的進(jìn)一步改進(jìn)：所述彎頭為45°不銹鋼彎頭，彎頭規(guī)格R=1.5D。

有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型包括筋軟管，加筋軟管的管體上設(shè)有一個(gè)閥門(mén)，且加筋軟管的兩端分別設(shè)置真空接頭，所述真空接頭包括彎頭和將加筋軟管接入需要檢漏的管道的法蘭板，采用法蘭板便于與被檢測(cè)管路對(duì)接，法蘭板上設(shè)置有貫通的中心孔，彎頭一端焊接在中心孔上，另一端通過(guò)寶塔接頭深入到加筋軟管內(nèi)，且通過(guò)喉箍將加筋軟管與寶塔接頭緊固防止漏氣，確保加筋軟管與真空接頭連接的氣密性和安全性。

本實(shí)用新型所述閥門(mén)的兩端用兩個(gè)寶塔接頭與加筋軟管連接，寶塔接頭外徑和加筋軟管內(nèi)徑尺寸相同。保證裝置氣密性，閥門(mén)的設(shè)置。

本實(shí)用新型采用的彎頭為45°不銹鋼彎頭，彎頭規(guī)格R=1.5D，用45°彎頭時(shí)在拐彎處就形成了一定的坡度，起到了一個(gè)緩沖的作用，檢測(cè)裝置漏氣時(shí)即使氣流速度很高即使夾雜異物也會(huì)大大減輕對(duì)彎頭處管壁的沖擊力，增加了檢漏裝置的安全性，并且在一定程度上延長(zhǎng)了真空接頭的使用壽命。

在檢漏管道時(shí)，兩個(gè)管道接頭之間的分段管道拆卸后，將本實(shí)用新型的兩個(gè)真空接頭接與兩管道接頭對(duì)接，然后抽空檢漏，檢漏結(jié)果如果不漏氣，而裝上原來(lái)的分段管道后，抽空檢漏為漏氣則證明原來(lái)的分段管道有漏氣或者安裝不到位。根據(jù)檢測(cè)結(jié)果及時(shí)對(duì)該被檢測(cè)的分段管道進(jìn)行修復(fù)，提高了管道檢漏效率。

本實(shí)用新型可檢漏波紋管，波紋管拆卸后安裝上本實(shí)用新型，抽空檢漏，檢漏結(jié)果如果不漏氣，而裝上原來(lái)的波紋管道后，抽空檢漏為漏氣則證明原來(lái)的波紋管道有漏氣或者安裝不到位。在檢漏時(shí)將抽空管道和截止閥、泵與爐體分開(kāi)來(lái)檢漏，從而快速的判斷是爐體漏氣還是抽空管道和截止閥漏氣，大大的提高的維修效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型工作過(guò)程示意圖；

附圖標(biāo)記：1、加筋軟管，2、真空接頭，201、法蘭板，202、彎頭，203、中心孔，204、寶塔接頭，205、喉箍，3、閥門(mén)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置，包括加筋軟管1，加筋軟管1的管體上設(shè)有一個(gè)閥門(mén)3，且加筋軟管1的兩端分別設(shè)置真空接頭2，所述真空接頭2包括彎頭202和將加筋軟管1接入需要檢漏的管道的法蘭板201，法蘭板201上設(shè)置有貫通的中心孔203，彎頭202一端焊接在中心孔203上，另一端通過(guò)寶塔接頭204深入到加筋軟管1內(nèi)，且通過(guò)喉箍205將加筋軟管1與寶塔接頭204緊固防止漏氣。

以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)、完善和限定：

一種單晶硅爐用分段檢測(cè)漏氣裝置，包括1英寸加筋軟管1和真空接頭2，真空接頭2裝設(shè)在加筋軟管1兩端，加筋軟管1上設(shè)置一個(gè)閥門(mén)，可選截止閥，截止閥的兩端用兩個(gè)內(nèi)徑1英寸的寶塔接頭204與加筋軟管1連接。

所述真空接頭2包括KF50法蘭板、45°不銹鋼彎頭和KF50法蘭板上鉆設(shè)的中心孔，45°不銹鋼彎頭一端焊接在KF50法蘭板上，另一端焊接有內(nèi)徑1英寸寶塔接頭，及與內(nèi)徑1英寸寶塔接頭配合使用的喉箍205。所述寶塔接頭204外徑和加筋軟管1內(nèi)徑尺寸相同。45°不銹鋼彎頭為規(guī)格R=1.5D。

本實(shí)用新型實(shí)施例1，本實(shí)用新型替換需檢漏端管道，該管道可是“L”型抽空管道。如圖2所示，首先將單晶爐的“L”型抽空管道MN拆下，然后將本實(shí)用新型的一端真空接頭2與抽空管道波紋管的一端N相聯(lián)接，本實(shí)用新型的另一端真空接頭2與爐體短爐筒的一側(cè)抽空管道接頭M相連接，然后抽空檢漏，檢漏結(jié)果如果不漏氣，而裝上原來(lái)的抽空管道抽空檢漏漏氣則證明原來(lái)的“L”抽空管道有漏氣或者安裝不到位。

本實(shí)用新型實(shí)施例2，本實(shí)用新型替換需檢漏端管道，該管道可是波紋管。如圖2所示，首先將管道上的波紋管QN拆下，然后將本裝置的一端真空接頭2與抽空管道“T”型管的一端Q相連接，將本實(shí)用新型的另一端真空接頭2與“L”型管道的一端N相連接，然后抽空檢漏，檢漏結(jié)果若不漏氣而原來(lái)裝波紋管時(shí)漏氣，證明原波紋管處漏氣或安裝不到位，若安裝不到位，重新安裝，重復(fù)以上步驟進(jìn)行檢漏。

本實(shí)用新型實(shí)施例3，本實(shí)用新型能對(duì)爐體起隔離作用，便于檢測(cè)爐體本身漏氣，如圖2所示，首先將抽空管道上的兩個(gè)波紋管ST、QN拆下，用法蘭板將兩個(gè)抽空管道接口S、T盲住。然后用本裝置的一端真空接頭2與抽空管道“T”型管的一端Q連接，另一端真空接頭2與從爐體延伸出來(lái)的“L”型抽空管道的接頭N連接。這樣就實(shí)現(xiàn)了用一根抽空管道對(duì)爐體進(jìn)行抽空的目的。本裝置的作用是在此種狀態(tài)下對(duì)爐體進(jìn)行抽空檢漏，如果通體檢漏漏氣，然后關(guān)上本裝置中的閥門(mén)3使?fàn)t體與后部的“T”型抽空管道和截止閥隔離，再次進(jìn)行檢漏，如果漏氣則證明是爐體本身漏氣，如果不漏氣則證明是爐體后部的“T”型抽空管道和截止閥漏氣。從而快速的判斷漏氣部位，及時(shí)準(zhǔn)確的進(jìn)行維修，以減少檢修時(shí)間減輕勞動(dòng)強(qiáng)度。

實(shí)用新型并不局限于上述具體的實(shí)施例，它還有很多變化或改型，都不脫離本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)精神和范圍，均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。