本實(shí)用新型屬于電機(jī)檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱(chēng)冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的晶圓制造設(shè)備附屬有與之匹配的低溫泵，圖1所示為這種低溫泵同步的電機(jī)1，電機(jī)1內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖2所示，包括轉(zhuǎn)子11和定子12，轉(zhuǎn)子11穿設(shè)在定子12中，定子12兩端由前端蓋13和后端蓋14蓋住，前端蓋13和后端蓋14內(nèi)側(cè)的中間位置設(shè)有凹槽并分別放置有轉(zhuǎn)子前軸承15和轉(zhuǎn)子后軸承16，轉(zhuǎn)子11具有中心轉(zhuǎn)軸，中心轉(zhuǎn)軸前端由轉(zhuǎn)子前軸承15支撐并穿過(guò)前端蓋13，轉(zhuǎn)子11的中心轉(zhuǎn)軸后端由轉(zhuǎn)子后軸承16支撐。轉(zhuǎn)子前軸承15與前端蓋13以及轉(zhuǎn)子后軸承16與后端蓋14小間隙配合，而且轉(zhuǎn)子后軸承16的后端與后端蓋14之間放置有波形彈墊17。轉(zhuǎn)子11與定子12之間存在軸向推力時(shí)轉(zhuǎn)子11相對(duì)于定子12在軸向具有適當(dāng)?shù)奈灰屏浚峁┹S向的緩沖作用，避免工作時(shí)電機(jī)震動(dòng)。合格的產(chǎn)品具有一定軸向緩沖性能，通常要求轉(zhuǎn)子11相對(duì)于定子12在軸向有1～2mm的位移量，為使電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，波形彈墊17應(yīng)提供與位移量對(duì)應(yīng)的適當(dāng)?shù)妮S向彈力(即軸向推力)，避免轉(zhuǎn)子前軸承15與前端蓋13之間出現(xiàn)軸向間隙，從而避免轉(zhuǎn)子前軸承15與前端蓋13摩擦損耗，保證電機(jī)的壽命。因此，在電機(jī)的生產(chǎn)或組裝時(shí)，需要檢測(cè)轉(zhuǎn)子11與定子12軸向推力及位移量對(duì)應(yīng)值的檢測(cè)裝置。但是現(xiàn)有技術(shù)沒(méi)有針對(duì)低溫泵同步電機(jī)的檢測(cè)裝置，因此需要設(shè)計(jì)制作出制造成本低、操作簡(jiǎn)單方便、計(jì)量準(zhǔn)確的檢測(cè)裝置來(lái)檢測(cè)低溫泵同步電機(jī)的軸向緩沖性能，以適用于低溫泵同步電機(jī)批量化生產(chǎn)和裝配。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中未有用于檢測(cè)低溫泵電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置的技術(shù)問(wèn)題，目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便且計(jì)量準(zhǔn)確的電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置可用于檢測(cè)低溫泵電機(jī)的軸向緩沖性能。

本實(shí)用新型的電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置包括：

一底座；

一用于放置待檢測(cè)電機(jī)的可升降的升降臺(tái)，所述升降臺(tái)安裝在所述底座上；

一用于測(cè)量所述升降臺(tái)豎直方向的位移量的位移測(cè)量機(jī)構(gòu)，所述位移測(cè)量機(jī)構(gòu)安裝于所述底座上；

一用于測(cè)量所述待檢測(cè)電機(jī)的轉(zhuǎn)子與定子之間的軸向推力的推力測(cè)量機(jī)構(gòu)，所述推力測(cè)量機(jī)構(gòu)包括一供感應(yīng)推力的壓頭，所述壓頭豎直向下且位于所述待檢測(cè)電機(jī)放置位置中心的正上方。

本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，所述升降臺(tái)底部由至少一升降桿支撐，所述底座一側(cè)設(shè)有一與所述升降桿匹對(duì)連接的升降手柄。

本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，所述位移測(cè)量機(jī)構(gòu)為一電子尺，所述電子尺包括一豎直的電子尺主體和一感應(yīng)滑塊，所述電子尺主體底端固定于所述底座一側(cè)，所述感應(yīng)滑塊固定于所述升降臺(tái)一角且與所述電子尺主體滑動(dòng)連接。

本實(shí)用新型的一些較佳實(shí)施例中，所述推力測(cè)量機(jī)構(gòu)包括一推拉力計(jì)和一支撐桿，所述支撐桿底部固定在所述底座上，所述支撐桿上部豎直穿過(guò)所述升降臺(tái)，所述推拉力計(jì)通過(guò)一可調(diào)整高度的固定夾固定在所述支撐桿上，所述壓頭位于所述推拉力計(jì)底部。

本實(shí)用新型的積極進(jìn)步效果在于：通過(guò)所述位移檢測(cè)機(jī)構(gòu)和所述推力檢測(cè)機(jī)構(gòu)相互結(jié)合檢測(cè)出電機(jī)轉(zhuǎn)子與定子之間的軸向推力以及相對(duì)位移量的對(duì)應(yīng)值，所述電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置可以用于低溫泵電機(jī)的軸向緩沖性能的檢測(cè)；而且制造成本低，操作簡(jiǎn)單方便，計(jì)量準(zhǔn)確，可有效提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。該檢測(cè)裝置不僅適合于低溫泵的電機(jī)批量生產(chǎn)中檢測(cè)使用，也可以用于其它結(jié)構(gòu)類(lèi)似的電機(jī)的軸向緩沖性能的檢測(cè)。

附圖說(shuō)明

圖1為低溫泵同步電機(jī)的立體示意圖。

圖2為低溫泵同步電機(jī)的剖視圖。

圖3為本實(shí)用新型的電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置的立體示意圖。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。

圖3所示為本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例的電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置，其中底座2起到支撐固定的作用；底座2中間設(shè)有升降桿3，升降桿頂部固定支撐有升降臺(tái)4、升降桿3底端設(shè)于底座2內(nèi)，底座2一側(cè)設(shè)有與升降桿3底端匹對(duì)連接的升降手柄5，底座2上還設(shè)有豎直的支撐桿6，支撐桿6底部固定在底座2上，上部穿過(guò)升降臺(tái)4且通過(guò)可調(diào)整高低的固定夾7固定有推拉力計(jì)8，推拉力計(jì)8的壓頭豎直向下且位于升降臺(tái)4中心正上方。底座2一側(cè)設(shè)有電子尺，電子尺包括豎直的電子尺主體9和感應(yīng)滑塊10，電子尺主體9底端固定于底座2一側(cè)，感應(yīng)滑塊10固定于升降臺(tái)4一角且與電子尺主體9滑動(dòng)連接。

工作原理：

如圖3所示，將待檢測(cè)電機(jī)1放于升降臺(tái)4中間位置，使轉(zhuǎn)子11的中心轉(zhuǎn)軸前端朝上并與推拉力計(jì)8的壓頭上下對(duì)應(yīng)，通過(guò)固定夾7調(diào)節(jié)推拉力計(jì)8高度，使推拉力計(jì)8的壓頭接觸到轉(zhuǎn)子11中心轉(zhuǎn)軸前端，然后分別將推拉力計(jì)8和電子尺歸零。通過(guò)升降手柄5慢慢向上調(diào)節(jié)升降臺(tái)4，觀察推拉力計(jì)8和電子尺分別顯示的彈力值和位移值，并記錄，其中推拉力計(jì)8顯示的彈力值即為轉(zhuǎn)子11和定子12之間的軸向推力，電子尺顯示的位移值即為轉(zhuǎn)子11相對(duì)定子12的軸向位移量。將記錄結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行對(duì)比，對(duì)產(chǎn)品的軸向緩沖性能做出判斷。

本實(shí)施例的電機(jī)軸向緩沖性能的檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單制造成本低，檢測(cè)電機(jī)1的軸向緩沖性能時(shí)操作簡(jiǎn)單方便，計(jì)量準(zhǔn)確，可有效提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，適合低溫泵電機(jī)批量化生產(chǎn)裝配使用。