本實用新型涉及用于硅片電阻和電阻率測量的四探針測試儀，具體涉及一種四探針自動化裝置。
背景技術：
太陽能是一種潔凈、無污染且可以循環(huán)利用的可再生能源，把太陽能轉(zhuǎn)換為電能的太陽能電池制造技術是有效利用太陽能的一項重要技術。目前，擴散是制造太陽能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件P-N結(jié)的工藝環(huán)節(jié)，是太陽能電池制造的關鍵技術。而電阻的測量是保 證擴散質(zhì)量的重要參數(shù)之一，它反映了材料中雜質(zhì)補償后剩余雜質(zhì)的濃度。測量時，把四根金屬探針壓在硅片表面上，外加電流通過外金屬與半導體表面的接觸點，流到半導體內(nèi)，通過測量內(nèi)探針之間的電壓，從而計算出電阻和電阻率。
為了保證測量的準確性和重復性，要求四根探針之間不僅要有極高電絕緣性，保證探針間絕緣度大于 109 歐姆，而且使探針的機械游移量盡可能小，探針還應有恒壓的彈性和良好的電接觸。目前，人們通常采用將四根探針固化在探頭中的強化固定辦法來克服，但在實際使用過程中，探針還會產(chǎn)生偏移，且探針之間的間距不能保證不變，不僅探針間絕緣 度難以滿足要求，而且使用壽命不長，若強制使用又會直接影響檢測精度。申請人曾采用人 造寶石板片來定位和隔開四根探針，即在一塊人造寶石板片上按照四根探針的位置鉆出四 個小孔，然后將四根探針插入四個小孔中，由此達到將四根探針隔開，并限定探針的偏移， 減少機械游移量的目的。這種方案雖然比改進前優(yōu)越，但在測試過程中金屬探針缺乏恒壓 彈性，電接觸性也難保證，同時，要在人造寶石片上面按預定要求鉆出四個定位小孔加工非常困難，不僅加工成本高，而且四個小孔之間的位置精度也很難達到要求。
技術實現(xiàn)要素：
實用新型目的：為了解決現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種四探針自動化裝置。
技術方案：一種四探針自動化裝置，包括底座，所述底座上固定安裝有載物臺，所述載物臺上設有可上下移動的基臺，所述載物臺的上方通過支撐架安裝有顯微鏡，所述顯微鏡包括目鏡、物鏡和微調(diào)按鈕，所述顯微鏡安裝在導軌上，可以進行左右移動，所述導軌的下方兩端分別安裝有兩個探針基座，所述探針基座呈兩兩相對排布，分別控制四根探針。
作為優(yōu)化：所述支撐架的后面固定安裝有支撐桿。
作為優(yōu)化：所述載物臺的一端設有電機。
有益效果：本實用新型能夠準確確定探針的位置，首次測定電池片時，需要進行人工顯微定位，后續(xù)都無需人工進行定位，光學顯微鏡可以進行一定的角度左右移動，隨時調(diào)整探針之間的間距，操作方便簡單合理，工作效率高，應用廣泛。
附圖說明
圖1是本實用新型的結(jié)構示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合具體實施例對本實用新型作進一步說明。
實施例
如圖1所示，一種四探針自動化裝置，包括底座1，所述底座1上固定安裝有載物臺2，所述載物臺2上設有可上下移動的基臺4，所述載物臺2的一端設有電機3。所述載物臺2的上方通過支撐架10安裝有顯微鏡11，所述顯微鏡11包括目鏡8、物鏡6和微調(diào)按鈕7，所述支撐架10的后面固定安裝有支撐桿9。所述顯微鏡11安裝在導軌12上，可以進行左右移動，所述導軌12的下方兩端分別安裝有兩個探針基座5，所述探針基座5呈兩兩相對排布，分別控制四根探針：探針1、探針2、探針3和探針4。具體的操作流程如下：
（1）探針1、探針2、探針3和探針4首次測定電池片時，需要進行人工顯微定位，后續(xù)都無需進行人工定位，即在同一張電池片上，只需第一次進行4根探針定位，而后其他的柵線測試都無需人工定位，除了換另一張電池片，光學顯微鏡可以進行一定的角度左右移動，能移動看到第5根線及以上的接觸情況。
（2）鎖定探針1、探針3，手動進行探針2和探針4 Y方向的移動（調(diào)整探針間距用）。
（3）鎖定探針1和探針2，在軟件上可以設置探針3和探針4，移動距離，也就是探測到不同距離的線上，等數(shù)據(jù)穩(wěn)定后，手動點擊下一步測試。
（4）測試程序所示：①-②、①-③…..①-⑨、；然后可以通過基臺5水平X方向移動，控制可以進行②-③、②-④等。
（5）基臺可以進行上下運動，探針移動時基臺必須處于下降的狀況，待測試時再向上狀態(tài)使得所有探針接觸到所設定的線上，以探測設備電阻穩(wěn)定為依據(jù)。
（6）基臺上有能固定樣品的吸氣方式，使其測試期間時不移動，測試完后才能取出；水平方向的卡槽方便樣品放置。
（7）1、2、3、4上的四個探針采用彈簧，原有探針基座彈片的彈力，使得探針不至于基臺升起時不會撞壞。
本實用新型中，涉及到的移動范圍及精度要求如下：
（a）基臺X方向的移動范圍：距最左端，X方向最大移動160mm范圍，測試是從最左端開始測試，移動精度在0.002mm；
（b）探針1與2、探針3與4的最小間距4mm；手動進行同時移動2和4 的Y方向最大距離是20mm，移動精度控制在0.1mm；
（c）設置的3和4探針移動最大距離在50mm，移動精度控制在0.002mm；
（d）基臺上升比較緩慢，下降的距離10mm，下降后的基臺與探針之間的操作空間至少30mm，方便取樣放置樣品；
（e）所有探針能否準確搭接到銀線上，以探針設備上的電阻值穩(wěn)定為依據(jù)。
本實用新型能夠準確確定探針的位置，首次測定電池片時，需要進行人工顯微定位，后續(xù)都無需人工進行定位，光學顯微鏡可以進行一定的角度左右移動，隨時調(diào)整探針之間的間距，操作方便簡單合理，工作效率高，應用廣泛。
本實用新型不局限于上述最佳實施方式，任何人在本實用新型的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品，但不論在其形狀或結(jié)構上作任何變化，凡是具有與本申請相同或相近似的技術方案，均落在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。