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      一種基于介孔石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器的制作方法

      文檔序號(hào):11051897閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種基于介孔石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器,其特征在于,包括基底層,設(shè)于所述基底層上的介孔石墨烯層,所述介孔石墨烯層上間隔設(shè)有一組源、漏電極,所述一組源、漏電極之間的介孔石墨烯層上設(shè)有生物識(shí)別層,所述生物識(shí)別層的上方設(shè)有參比電極,所述一組源、漏電極和所述生物識(shí)別層之間形成一用于導(dǎo)電的導(dǎo)電溝道,所述參比電極與所述導(dǎo)電溝道內(nèi)的被測(cè)樣品溶液插入式連接。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于介孔石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器,其特征在于,所述基底層為Si/SiO2基底層。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于介孔石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器,其特征在于,所述介孔石墨烯層上設(shè)有多個(gè)均勻間隔排列的介孔。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于介孔石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器,其特征在于,所述一組源、漏電極為5-10nmCr和30-50nmAu構(gòu)成。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于介孔石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器,其特征在于,所述導(dǎo)電溝道長(zhǎng)為10-20μm,寬為20-30μm。

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