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      一種激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置及系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:12560666閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,包括:激光頭、角度干涉鏡、角度反射鏡、轉(zhuǎn)臺上盤、轉(zhuǎn)臺下盤和轉(zhuǎn)臺底座,所述角度干涉鏡設(shè)置于所述激光頭和角度反射鏡之間,所述角度反射鏡設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺上盤上,所述轉(zhuǎn)臺上盤設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺下盤上;所述轉(zhuǎn)臺底座設(shè)置有凹槽,所述轉(zhuǎn)臺下盤通過凹槽設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺底座上。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)臺底座設(shè)置有連接件,所述轉(zhuǎn)臺底座通過連接件固定至外部的被測轉(zhuǎn)臺上。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述連接件包括螺栓孔和/或螺絲孔。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,還包括轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動構(gòu)件,所述轉(zhuǎn)軸固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺上盤的下方,所述驅(qū)動構(gòu)件與所述轉(zhuǎn)軸相連接。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述驅(qū)動構(gòu)件為馬達(dá)。

      6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述驅(qū)動構(gòu)件固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺下盤的內(nèi)部。

      7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,還包括角度光柵,所述角度光柵設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸的下方。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,還包括控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)分別與所述角度光柵和驅(qū)動構(gòu)件相連接。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,其特征在于,還包括無線信號接收裝置,所述無線信號接收裝置設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺下盤的內(nèi)部。

      10.一種激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)系統(tǒng),其特征在于,包括了如權(quán)利1至9任意一項所述的激光干涉儀的角度測量校準(zhǔn)裝置,并包括數(shù)據(jù)處理裝置,所述數(shù)據(jù)處理裝置與所述激光頭實現(xiàn)通訊。

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