本實(shí)用新型屬于單晶硅生產(chǎn)檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種四探針測(cè)試儀。

背景技術(shù)：

四探針測(cè)試儀是在半導(dǎo)體單晶生產(chǎn)過(guò)程中用來(lái)測(cè)試單晶斷面及表皮電阻率的測(cè)試儀器，但在實(shí)際使用過(guò)程中存在一定的不便，單晶硅的斷面往往需要測(cè)試中心點(diǎn)，R/2以及邊緣三個(gè)位置各四點(diǎn)共九個(gè)測(cè)試點(diǎn)，如圖1所示，而現(xiàn)在使用的四探針的連接探頭的連接臂是固定的。

以往的測(cè)試方法是通過(guò)在底座上來(lái)移動(dòng)單晶段以改變測(cè)試點(diǎn)，但是隨著單晶直徑的增加，單晶的重量會(huì)逐漸增加，以氣摻單晶最常用的切斷長(zhǎng)度270mm為例，表1為對(duì)應(yīng)尺寸的一段單晶的重量。

表1 270mm氣摻單晶長(zhǎng)度重量:

隨著單晶重量的增加，單晶段不但越來(lái)越難以移動(dòng)，八寸的單晶已達(dá)22.8kg，在移動(dòng)過(guò)程中稍有不慎，容易造成事故。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型旨在提出一種四探針測(cè)試儀，以解決在單晶硅生產(chǎn)檢測(cè)過(guò)程中，隨著單晶重量的增加，單晶段不但越來(lái)越難以移動(dòng)，且在移動(dòng)過(guò)程中稍有不慎，容易造成事故的問(wèn)題。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種四探針測(cè)試儀，包括底座，所述底座上固定連接有豎桿；所述豎桿上套有可旋轉(zhuǎn)連接臂和第一套筒，所述第一套筒通過(guò)固定螺絲固定在所述豎桿上；所述第一套筒位于所述可旋轉(zhuǎn)連接臂的下方，且兩者緊貼；所述可旋轉(zhuǎn)連接臂與所述豎桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述可旋轉(zhuǎn)連接臂末端通過(guò)第一合頁(yè)連接有探頭；所述探頭電連接有顯示器。

將第一套筒有固定螺絲固定在豎桿上，既起到限定可旋轉(zhuǎn)連接臂豎直位置的作用，又起到托舉可旋轉(zhuǎn)連接臂的作用。

進(jìn)一步的，所述豎桿表面為機(jī)械拋光面。

進(jìn)一步的，所述可旋轉(zhuǎn)連接臂通過(guò)第二套筒轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述豎桿；所述第二套筒與所述可旋轉(zhuǎn)連接臂一體成型；所述第二套筒外徑大于所述第一套筒內(nèi)徑。

進(jìn)一步的，所述可旋轉(zhuǎn)連接臂包括第一連接臂和第二連接臂；所述第一連接臂套在所述豎桿上且通過(guò)所述第二套筒與豎桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述第一連接臂與所述第二套筒一體成型；所述第二套筒位于所述第一套筒的上方，且兩者緊貼；所述第一連接臂末端通過(guò)第二合頁(yè)連接所述第二連接臂，所述第二連接臂末端通過(guò)第一合頁(yè)連接所述探頭。

進(jìn)一步的，所述第一連接臂長(zhǎng)度大于所述第二連接臂長(zhǎng)度。

進(jìn)一步的，所述第一連接臂和所述第二連接臂底部均與水平面平行。

進(jìn)一步的，所述豎桿位于所述底座上表面的一側(cè)，且兩者固定連接。

進(jìn)一步的，所述豎桿頂部設(shè)有一擋板；所述擋板的直徑大于所述第二套筒內(nèi)徑。擋板的設(shè)置，可防止與第二套筒一體成型的可旋轉(zhuǎn)連接臂從豎桿上端脫出。

進(jìn)一步的，所述固定螺絲位于所述第一套筒側(cè)面。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型所述的一種四探針測(cè)試儀具有以下優(yōu)勢(shì)：

本實(shí)用新型所述的一種四探針測(cè)試儀，通過(guò)設(shè)置與豎桿旋轉(zhuǎn)連接的第二套筒以及與第二套筒一體成型的可旋轉(zhuǎn)連接臂，并在可旋轉(zhuǎn)連接臂的第一連接臂和第二連接臂中間設(shè)置第二合頁(yè)，可使探頭自由旋轉(zhuǎn)伸縮，檢測(cè)到單晶截面上的任一點(diǎn)，從而不再需要通過(guò)時(shí)刻移動(dòng)單晶來(lái)改變測(cè)試點(diǎn)，減少了不必要的勞動(dòng)，增加了安全性；通過(guò)設(shè)置連接探頭的第一合頁(yè)，可使探頭的四根探針自由調(diào)整方向，始終面向測(cè)試人，提高工作效率。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中單晶硅斷面檢測(cè)點(diǎn)位置簡(jiǎn)單示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種四探針測(cè)試儀檢測(cè)單晶硅斷面的簡(jiǎn)單示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

1-底座；2-豎桿；3-第一套筒；4-固定螺絲；5-第一合頁(yè)；6-探頭；7-顯示器；8-第二套筒；9-第一連接臂；10-第二連接臂；11-第二合頁(yè)；12-擋板；13-單晶段。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以通過(guò)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。

如圖2所示，一種四探針測(cè)試儀，包括底座1，所述底座1上固定連接有豎桿2；所述豎桿2上套有可旋轉(zhuǎn)連接臂和第一套筒3，所述第一套筒3通過(guò)固定螺絲4固定在所述豎桿2上；所述第一套筒3位于所述可旋轉(zhuǎn)連接臂的下方，且兩者緊貼；所述可旋轉(zhuǎn)連接臂與所述豎桿2轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述可旋轉(zhuǎn)連接臂末端通過(guò)第一合頁(yè)5連接有探頭6；所述探頭6電連接有顯示器7。

所述豎桿2表面為機(jī)械拋光面。

所述可旋轉(zhuǎn)連接臂通過(guò)第二套筒8轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述豎桿2；所述第二套筒8與所述可旋轉(zhuǎn)連接臂一體成型；所述第二套筒8外徑大于所述第一套筒3內(nèi)徑。

所述可旋轉(zhuǎn)連接臂包括第一連接臂9和第二連接臂10；所述第一連接臂9套在所述豎桿2上且通過(guò)所述第二套筒8與豎桿2轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述第一連接臂9與所述第二套筒8一體成型；所述第二套筒8位于所述第一套筒3的上方，且兩者緊貼；所述第一連接臂9末端通過(guò)第二合頁(yè)11連接所述第二連接臂10，所述第二連接臂10末端通過(guò)第一合頁(yè)5連接所述探頭6。

所述第一連接臂9長(zhǎng)度大于所述第二連接臂10長(zhǎng)度，所述第二連接臂的長(zhǎng)度為100mm。

所述第一連接臂9和所述第二連接臂10底部均與水平面平行。

所述豎桿2位于所述底座1上表面的一側(cè)，且兩者固定連接。

所述豎桿2頂部設(shè)有一擋板12；所述擋板12的直徑大于所述第二套筒8內(nèi)徑。

所述固定螺絲4位于所述第一套筒3側(cè)面。

本實(shí)施例的工作過(guò)程為：

使用時(shí)，將待檢測(cè)單晶段13放置在所述底座1上，通過(guò)所述固定螺絲4調(diào)整所述第一套筒3，進(jìn)而調(diào)整所述第一連接臂9的高度至最佳檢測(cè)高度，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一連接臂9可對(duì)單晶表面寬度范圍內(nèi)的點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)；由于所述第一連接臂9和第二連接臂10通過(guò)第二合頁(yè)11連接，則通過(guò)調(diào)整所述第二連接臂9的位置，可實(shí)現(xiàn)單晶表面不同長(zhǎng)度范圍內(nèi)點(diǎn)的檢測(cè)；整個(gè)工作過(guò)程中，可通過(guò)所述第一合頁(yè)5調(diào)整所述探頭6位置，確保其始終面向測(cè)試人。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。