本實(shí)用新型涉及光束取樣領(lǐng)域，具體而言，涉及一種光束取樣系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的光束參數(shù)測(cè)量是通過物鏡成像原理來完成的。由于其原理使得該系統(tǒng)并不能對(duì)千瓦以上功率的光束進(jìn)行測(cè)量，且只能同時(shí)測(cè)量光束的功率和光束參數(shù)，不能同時(shí)對(duì)光束的光譜進(jìn)行測(cè)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種光束取樣系統(tǒng)，其能夠?qū)ν呒?jí)到十萬瓦級(jí)的激光光束同時(shí)進(jìn)行功率、光譜和光束參數(shù)的測(cè)量。

本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種光束取樣系統(tǒng)，其包括光學(xué)準(zhǔn)直組件、光學(xué)分束組件、雜光接收組件、功率測(cè)量裝置、光譜測(cè)量裝置、濾光組件、衰減片組和光束參數(shù)測(cè)量儀，所述光學(xué)準(zhǔn)直組件用于準(zhǔn)直射入所述光束取樣系統(tǒng)的激光光束形成準(zhǔn)直光，所述光學(xué)分束組件用于接收所述準(zhǔn)直光并將所述準(zhǔn)直光分離成參數(shù)測(cè)量光、功率測(cè)量光、光譜測(cè)量光和雜光，所述雜光接收組件用于接收所述雜光，所述功率測(cè)量裝置用于接收所述功率測(cè)量光，所述光譜測(cè)量裝置用于接收所述光譜測(cè)量光，所述濾光組件用于接收所述參數(shù)測(cè)量光形成過濾光，所述衰減片組用于接收所述過濾光形成衰減光，所述光束參數(shù)測(cè)量儀用于接收所述衰減光。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述光學(xué)分束組件包括第一劈板、第二劈板和第三劈板，所述第一劈板包括與所述準(zhǔn)直光方向相對(duì)的第一前表面和與所述第一前表面相背離的第一后表面，所述第二劈板與所述第一劈板相對(duì)設(shè)置，所述第二劈板具有與所述第一前表面相對(duì)的第二前表面和與所述第二前表面相背離的第二后表面，所述第三劈板與所述第二劈板相對(duì)設(shè)置，所述第三劈板具有與所述第二前表面相對(duì)的第三前表面和與所述第三前表面相背離的第三后表面，所述第一前表面將所述準(zhǔn)直光部分的反射形成第一前表面反射光，所述第二前表面將所述第一前表面反射光部分的反射形成第二前表面反射光，所述第三前表面將所述第二前表面反射光部分的反射形成所述參數(shù)測(cè)量光。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述雜光接收組件包括第一收光組件、第二收光組件和第一反光鏡，所述雜光包括第一后表面反射光、第一后表面透射光和第三后表面透射光，所述第一收光組件與所述第一后表面相對(duì)設(shè)置，所述第二收光組件與所述第三后表面相對(duì)設(shè)置，所述第一反光鏡與所述第一收光組件相對(duì)設(shè)置，所述第一前表面將所述準(zhǔn)直光部分的透射形成第一前表面透射光，所述第一后表面將所述第一前表面透射光部分的反射形成所述第一后表面反射光、將所述第一前表面透射光部分的透射形成所述第一后表面透射光，所述第一反光鏡將所述第一后表面反射光全部反射，所述第一收光組件用于接收所述第一后表面透射光與經(jīng)過所述第一反光鏡反射的所述第一后表面反射光，所述第三前表面將所述第二前表面反射光部分的透射形成第三前表面透射光，所述第三后表面將所述第三前表面透射光部分的透射形成所述第三后表面透射光，所述第二收光組件用于接收所述第三后表面透射光。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述功率測(cè)量裝置與所述第二后表面相對(duì)設(shè)置，所述第二前表面將所述第一前表面反射光部分的透射形成第二前表面透射光，所述第二后表面將所述第二前表面透射光部分的透射形成所述功率測(cè)量光，所述功率測(cè)量裝置用于接收所述功率測(cè)量光。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述光譜測(cè)量裝置與所述第一前表面相對(duì)設(shè)置，所述第二后表面將所述第二前表面透射光部分的反射形成所述光譜測(cè)量光，所述光譜測(cè)量裝置用于接收所述光譜測(cè)量光。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述光學(xué)準(zhǔn)直組件包括準(zhǔn)直器、第一光闌和第二光闌，所述準(zhǔn)直器與所述第一前表面相對(duì)設(shè)置，所述第一光闌設(shè)置在所述準(zhǔn)直器與所述第一前表面之間，所述第二光闌設(shè)置在所述第一收光組件與所述第一后表面之間。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述第一收光組件和所述第二收光組件為收光筒或功率計(jì)，所述功率測(cè)量裝置為功率計(jì)。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述光譜測(cè)量裝置為光譜探頭或積分球。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述濾光組件為二向色鏡或過濾片。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述光束取樣系統(tǒng)整體安裝在同一個(gè)平臺(tái)上。

本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果是：本實(shí)用新型提供的光束取樣系統(tǒng)，通過光學(xué)準(zhǔn)直組件對(duì)被測(cè)光束進(jìn)行準(zhǔn)直，再通過光學(xué)分束組件將準(zhǔn)直光分成不同的測(cè)量光束；雜光接收組件能夠?qū)⒋罅康募す饽芰窟M(jìn)行收集；濾光組件能夠?qū)?shù)測(cè)量光進(jìn)行過濾，使光束參數(shù)測(cè)量更為準(zhǔn)確。通過光學(xué)分束組件和衰減片組可以對(duì)光束能量進(jìn)行衰減，使相應(yīng)的測(cè)量光束處于功率測(cè)量裝置、光譜測(cè)量裝置和光束參數(shù)測(cè)量儀的響應(yīng)范圍內(nèi)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)瓦級(jí)到十萬瓦級(jí)的激光光束同時(shí)進(jìn)行功率、光譜和光束參數(shù)的測(cè)量。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的光束取樣系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的光束取樣系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型第三實(shí)施例提供的光束取樣系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型第四實(shí)施例提供的光束取樣系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

光束取樣系統(tǒng)100，準(zhǔn)直器110，第一光闌112，第二光闌114，第一劈板120，第二劈板122，第三劈板124，第一收光筒130，第二收光筒132，第三收光筒134，第四收光筒136，第一反光鏡140，第二反光鏡142，功率計(jì)150，光譜探頭160，二向色鏡170，衰減片組180，光束參數(shù)測(cè)量儀200，平臺(tái)300。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實(shí)用新型實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設(shè)計(jì)。

因此，以下對(duì)在附圖中提供的本實(shí)用新型的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍，而是僅僅表示本實(shí)用新型的選定實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號(hào)和字母在下面的附圖中表示類似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“上”、“下”、“內(nèi)”、“外”、“中”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該實(shí)用新型產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

此外，術(shù)語“射入”、“通過”、“穿過”、“形成”等術(shù)語并不表示要求光束完全穿透或是分束，而是描述一種光學(xué)變化或光學(xué)處理。如“通過”僅僅是指光束經(jīng)過該光學(xué)元件之后發(fā)生了光學(xué)上的變化，使光束受到處理而獲得解決技術(shù)問題所需要的光束，根據(jù)具體實(shí)施方案中光學(xué)元件的不同，可能是反射也可能是透射。另外，“透射”是指光束入射到某一物質(zhì)分界面發(fā)生折射并穿透該分界面的現(xiàn)象，與“反射”相對(duì)。

在本實(shí)用新型的描述中，還需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“設(shè)置”、“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

另外，在本實(shí)用新型的實(shí)施例的描述中，光學(xué)元件的“前方”、“后方”、“左前方”、“右前方”、“左后方”、“右后方”指的是其相對(duì)于光束前進(jìn)方向的方位。例如，“第一劈板的前方”，指的是光束第一次入射到第一劈板上的那一側(cè)的方向，也就是面朝入射光束和入射方向相對(duì)的那一側(cè)；“第一劈板的后方”則指的是光束通過第一劈板從第一劈板內(nèi)透射出的方向，也就是和出射光束方向相同的那一側(cè)。特別的，對(duì)于準(zhǔn)直器、第一光闌和第二光闌，例如“準(zhǔn)直器的前方”指的是光束經(jīng)過準(zhǔn)直之后出射的那一側(cè)，“第一光闌的后方”指的是與光束傳播方向相反也就是面向光束入射的那一側(cè)。

在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，“劈板”指一種光學(xué)分束元件，其前后表面為成一定的夾角的平面，一束光通過其前、后表面經(jīng)過反射可形成不同角度的反射光束。在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，第一劈板、第二劈板、第三劈板的透射率均為約96％，也就是其后表面透射光功率約占其前表面入射光功率的96％。在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例附圖中，為了更好、更清楚的描述該光束取樣系統(tǒng)的工作原理，只是明顯區(qū)分了其光學(xué)元件之間的相對(duì)位置關(guān)系，并不能構(gòu)成對(duì)于光路的方向以及光學(xué)元件之間的間距的嚴(yán)格限制；為了更清楚地區(qū)分經(jīng)過劈板分束的光束，分束光的方向也并沒有嚴(yán)格的按照反射定律或折射定律所限定的角度來表示。

第一實(shí)施例

請(qǐng)參照?qǐng)D1，本實(shí)施例提供一種光束取樣系統(tǒng)100，包括準(zhǔn)直器110、第一劈板120、第二劈板122、第三劈板124、第一收光筒130、第二收光筒132、第一反光鏡140、功率計(jì)150、光譜探頭160、二向色鏡170和衰減片組180。具體擺放位置請(qǐng)參照?qǐng)D1所示，準(zhǔn)直器110安裝在平臺(tái)300的一塊延伸臺(tái)上，準(zhǔn)直器110安裝有第一光闌112，第一光闌112的前方安裝有第一劈板120，第一劈板120的后方安裝有第二光闌114，準(zhǔn)直器110與第一光闌112和第二光闌114嚴(yán)格準(zhǔn)直。第二光闌前方設(shè)置有第一收光筒130，第一劈板120左前方設(shè)置有第一反光鏡140，第一反光鏡右側(cè)安裝有第二劈板122，第二劈板122右后方安裝有功率計(jì)150，第二劈板122前方安裝有第三劈板124，第三劈板124后方設(shè)置有第二收光筒132，第二收光筒132左后方設(shè)置有光譜探頭160，第三劈板124左前方設(shè)置有二向色鏡170，二向色鏡170左前方設(shè)置有衰減片組180，且衰減片組180同時(shí)設(shè)置在光束參數(shù)測(cè)量儀200的前方，第一劈板120、第二劈板122、第三劈板124、二向色鏡170和衰減片組180嚴(yán)格準(zhǔn)直。

從激光器發(fā)出的一束被測(cè)高功率激光光束通過一個(gè)光束輸出頭與準(zhǔn)直器110耦合，從準(zhǔn)直器110前方出射的準(zhǔn)直光束即為光束取樣系統(tǒng)100所需要測(cè)量的被測(cè)光束。經(jīng)過準(zhǔn)直器110準(zhǔn)直的被測(cè)光束通過第一光闌112入射到第一劈板120的前表面上，由于第一劈板120并非全透，被測(cè)光束經(jīng)過反射形成一束第一前表面反射光，與此同時(shí)被測(cè)光束經(jīng)過折射形成一束從第一劈板120前表面入射到第一劈板120后表面的第一前表面透射光。第一前表面透射光入射到第一劈板120后表面上時(shí)，經(jīng)過第一劈板120后表面的反射并經(jīng)過第一劈板120前表面的折射形成一束第一后表面反射光，與此同時(shí)第一前表面透射光通過第一劈板120后表面透射形成第一后表面透射光。第一后表面透射光通過第二光闌114射入第一收光筒130中，第一后表面反射光入射到第一反光鏡140上，經(jīng)過反射同樣入射到第一收光筒130內(nèi)被吸收。設(shè)置第一光闌112和第二光闌114的目的是為了確定光路的一致性，如若需要更換光束輸出頭，則可在更換后調(diào)節(jié)準(zhǔn)直器110的俯仰角度與旋轉(zhuǎn)角度，使被測(cè)光束依次通過第一光闌112和第二光闌114的中心，即可快速使被測(cè)光束達(dá)到進(jìn)入后端檢測(cè)系統(tǒng)時(shí)所需的準(zhǔn)直要求。由于第一劈板120的透過率高達(dá)96％，其第一前表面反射光的功率相對(duì)原被測(cè)光束來說只有原有的4％，因此在不影響被測(cè)光束的光束參數(shù)的情況下，完成了光功率的衰減；而經(jīng)過第一劈板120后表面透射的第一后表面透射光，以及經(jīng)過第一劈板120后表面反射的第一后表面反射光，這兩束被過濾掉的光則具有原被測(cè)光束約96％的高功率，都被第一收光筒130所吸收。使用第一反光鏡140將第一后表面反射光反射，并使用同一個(gè)第一收光筒130來完成第一后表面反射光和第一后表面透射光這兩束過濾光的吸收，不僅能夠避免這部分對(duì)光束檢測(cè)無用的雜光對(duì)于系統(tǒng)的干擾或損壞，還減少了所需要使用的收光筒的數(shù)量，節(jié)省了系統(tǒng)的占用空間并簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。

經(jīng)過第一劈板120前表面反射的第一前表面反射光，作為新的被測(cè)光束入射到第二劈板122的前表面上，經(jīng)過反射形成一束第二前表面反射光，與此同時(shí)經(jīng)過折射形成一束從第二劈板122前表面入射到第二劈板122后表面的第二前表面透射光。第二前表面透射光入射到第二劈板122后表面上時(shí)，經(jīng)過第二劈板122后表面的反射并經(jīng)過第二劈板122前表面的折射形成一束第二后表面反射光，與此同時(shí)第二前表面透射光通過第二劈板122后表面透射形成第二后表面透射光作為功率測(cè)量光，該第二后表面透射光直接入射到功率計(jì)150的光敏面上。由于第二后表面透射光是經(jīng)過第一劈板120前表面反射并經(jīng)過第二劈板122透射的部分經(jīng)過衰減過濾的光束，使得其光功率處在功率計(jì)150的響應(yīng)范圍內(nèi)，將測(cè)量到的第二后表面透射光功率經(jīng)過功率標(biāo)定推算，即可獲得原被測(cè)高功率激光光束的輸出總功率。使用相對(duì)較低功率量程的功率計(jì)150來測(cè)經(jīng)過衰減過濾的激光光束，避免了長時(shí)間使用超高量程的大功率計(jì)，減少了功率檢測(cè)器件的維護(hù)成本。

經(jīng)過第二劈板122后表面反射并經(jīng)過第二劈板122前表面折射的的第二后表面反射光作為光譜測(cè)量光直接入射到光譜探頭160的光敏面上，因經(jīng)過第一劈板120前表面反射與第二劈板122前表面透射，再經(jīng)過第二劈板122后表面反射與第二劈板122前表面折射這四次光衰減，其光功率已處在光譜探頭160的響應(yīng)范圍內(nèi)，且光束的光譜和光束參數(shù)并沒有發(fā)生改變，因此能夠被光譜探頭160直接測(cè)量出原被測(cè)高功率激光光束的光譜。

經(jīng)過第二劈板122前表面反射的第二前表面反射光入射到第三劈板124的前表面上，經(jīng)過反射形成一束第三前表面反射光作為參數(shù)測(cè)量光，與此同時(shí)經(jīng)過折射形成一束從第三劈板124前表面入射到第三劈板124后表面的第三前表面透射光。第三前表面透射光入射到第三劈板124后表面上時(shí)，經(jīng)過第三劈板124后表面的反射并經(jīng)過第三劈板124前表面的折射形成一束第三后表面反射光，與此同時(shí)第三前表面透射光通過第三劈板124后表面透射形成第三后表面透射光。該第三后表面透射光直接入射到第二收光筒132中，并被第二收光筒132吸收；第三后表面反射光射到光束取樣系統(tǒng)100外；經(jīng)過第三劈板124前表面反射的第三前表面反射光入射到二向色鏡170的前表面上。該二向色鏡170也為一個(gè)分束鏡，不過和第一劈板120、第二劈板122、第三劈板124所不同的是，只有頻率在限定光信號(hào)波段外的光信號(hào)才能穿透通過該二向色鏡170，處在其限定光信號(hào)頻率波段內(nèi)的光信號(hào)則全部被反射。入射到二向色鏡170前表面的參數(shù)測(cè)量光中，還殘留有在激光泵浦中產(chǎn)生的短波長泵浦光，此時(shí)通過一個(gè)短波才能通過的二向色鏡170，使得被測(cè)光束中的短波長泵浦光全部穿過該二向色鏡170而被濾除，與此同時(shí)經(jīng)過反射的過濾光中不屬于原高功率激光光束波段的光噪聲也減少了，提升了之后對(duì)信號(hào)光束參數(shù)分析的準(zhǔn)確性。

經(jīng)過二向色鏡170反射濾波后的過濾光入射到衰減片組180上，并通過該衰減片組180形成衰減光進(jìn)入光束參數(shù)測(cè)量儀200中。衰減片組180可以通過調(diào)節(jié)衰減倍數(shù)在不改變過濾光束參數(shù)的情況下衰減其光強(qiáng)(功率)，使衰減光的光強(qiáng)(功率)處在光束參數(shù)測(cè)量儀200的響應(yīng)范圍內(nèi)，進(jìn)而分析出過濾光束的光束參數(shù)。由于在整個(gè)光束取樣系統(tǒng)100中，被測(cè)光束通過第一劈板120、第二劈板122、第三劈板124和二向色鏡170時(shí)都是經(jīng)其前表面反射取樣，并未經(jīng)過光學(xué)元件的透射，只是將激光器輸出的高功率強(qiáng)光變成了可供光束參數(shù)測(cè)量儀200測(cè)量的低功率激光光束，并沒有影響激光光束的參數(shù)。因此，經(jīng)過光束取樣系統(tǒng)100取樣過后的過濾光束的光束參數(shù)，和進(jìn)入光束取樣系統(tǒng)100前的被測(cè)高功率激光光束的光束參數(shù)是相同的。衰減片組180的衰減倍數(shù)調(diào)節(jié)范圍為0到10⁵以上，因此光束取樣系統(tǒng)100至少可以實(shí)現(xiàn)對(duì)瓦級(jí)到十萬瓦級(jí)的激光光束參數(shù)的測(cè)量，更高功率的測(cè)量主要受限于收光組件和光譜探測(cè)裝置的承受能力。

由于光束取樣系統(tǒng)100整體都固定在同一個(gè)平臺(tái)300上，整個(gè)結(jié)構(gòu)相對(duì)來說更加緊湊，也更加穩(wěn)定。需要搬運(yùn)的時(shí)候，光束取樣系統(tǒng)100可整體移動(dòng)更加方便。

第二實(shí)施例

請(qǐng)參照?qǐng)D2，本實(shí)施例和本實(shí)用新型的第一實(shí)施例方案最大的不同在于，光束取樣系統(tǒng)100中，在第三劈板124的左前方還設(shè)置有第二反光鏡142和第三收光筒134，第三后表面反射光沒有直接射出光束取樣系統(tǒng)100外而是入射到第二反光鏡142上，并被反射到第三收光筒134內(nèi)，被第三收光筒134所吸收。由于這部分第三后表面反射光屬于對(duì)光束測(cè)量沒有作用的雜光，使其被第三收光筒134吸收，即可避免其在系統(tǒng)外經(jīng)過反射回到系統(tǒng)內(nèi)對(duì)系統(tǒng)的穩(wěn)定和取樣光束造成影響。

第三實(shí)施例

請(qǐng)參照?qǐng)D3，本實(shí)施例和本實(shí)用新型的第一實(shí)施例方案最大的不同在于，光束取樣系統(tǒng)100中，在第三劈板124的左前方設(shè)置有第二反光鏡142，第三后表面反射光入射到第二反光鏡142上，并被反射直接射入第二收光筒132中，被第二收光筒132所吸收。本實(shí)施例方案和本實(shí)用新型的第二實(shí)施例方案相比較，沒有設(shè)置第三收光筒134，減小了對(duì)光束取樣系統(tǒng)100的空間占用，還使整個(gè)光束取樣系統(tǒng)100相對(duì)結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單。

第四實(shí)施例

請(qǐng)參照?qǐng)D4，本實(shí)施例和本實(shí)用新型的第一實(shí)施例方案最大的不同在于，光束取樣系統(tǒng)100中，將第一反光鏡140換為第四收光筒136，并將二向色鏡170去掉，由第三劈板124的第三前表面反射的第三前表面反射光直接射入衰減片組180中，隨后被光束參數(shù)測(cè)量儀200收集。

本實(shí)施例中通過第四收光筒136，將經(jīng)由第一劈板120的第一后表面反射的第一后表面反射光直接收集，消除了經(jīng)過第一反光鏡140反射的光與所述第一前表面反射光的光路交叉產(chǎn)生信號(hào)干擾的可能性。同時(shí)，在第三前表面反射光內(nèi)所含不同波長的雜光極少或沒有的情況下，去掉二向色鏡170，直接將衰減片組180和光束參數(shù)測(cè)量儀200對(duì)準(zhǔn)所述第三前表面反射光，簡(jiǎn)化了光路結(jié)構(gòu)，并縮減了整個(gè)光束取樣系統(tǒng)100所占用的空間。

在本實(shí)用新型的四個(gè)具體實(shí)施例中，準(zhǔn)直器110可以用準(zhǔn)直光路進(jìn)行替代；第一收光筒130、第二收光筒132和第三收光筒134也可由功率計(jì)替代；同樣的，在不需要測(cè)量光功率，只需要測(cè)量光譜和光束參數(shù)的情況下，功率計(jì)150也可以由收光筒替代；在實(shí)際使用前，需標(biāo)定功率計(jì)150測(cè)量的功率占原激光光束總功率的比例，從而通過測(cè)量部分功率而得到總功率的大??；空間允許的情況時(shí)，第一反射鏡140也可由收光筒替代；光譜探頭160可以由積分球或者其他可測(cè)量光束光譜的裝置替代；二向色鏡170可以由過濾片替代，此時(shí)穿過該二向色鏡170透射光才是經(jīng)過濾波的過濾光。另外，在被測(cè)光束中雜光很少或沒有的情況下，也可以去掉二向色鏡170或過濾片，這時(shí)將衰減片組180和光束參數(shù)測(cè)量儀200對(duì)準(zhǔn)第三劈板124的第三前表面反射光即可。需要注意的是，第三后表面反射光的功率非常弱，只占最初原被測(cè)光束的十萬分之一，一般只有毫瓦級(jí)，對(duì)整個(gè)光束取樣系統(tǒng)100的影響可以忽略不計(jì)，因此也可以不收集。

綜上所述，本實(shí)用新型提供的光束取樣系統(tǒng)，通過光學(xué)準(zhǔn)直組件對(duì)被測(cè)光束進(jìn)行準(zhǔn)直，再通過光學(xué)分束組件將準(zhǔn)直光分成不同的測(cè)量光束；雜光接收組件能夠?qū)⒋罅康募す饽芰窟M(jìn)行收集；濾光組件能夠?qū)胁煌ㄩL雜光的參數(shù)測(cè)量光進(jìn)行過濾，使光束參數(shù)測(cè)量更為準(zhǔn)確。通過光學(xué)分束組件和衰減片組可以對(duì)光束能量進(jìn)行衰減，使相應(yīng)的測(cè)量光束處于功率測(cè)量裝置、光譜測(cè)量裝置和光束參數(shù)測(cè)量儀的響應(yīng)范圍內(nèi)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)瓦級(jí)到十萬瓦級(jí)的激光光束同時(shí)進(jìn)行功率、光譜和光束參數(shù)的測(cè)量。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。