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      計算全息法測量長焦距透鏡透射波前的檢測裝置的制作方法

      文檔序號:11071884閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種計算全息法測量長焦距透鏡透射波前的檢測裝置,其特征在于:包括干涉儀(1),干涉儀(1)外側(cè)沿遠離干涉儀(1)的方向依次設(shè)置有被測長焦距透鏡(3)、菲涅爾波帶片(4);

      干涉儀(1)輸出的準直平行光通過干涉儀(1)端部的標準平面鏡(2)時,一部分準直平行光經(jīng)標準平面鏡(2)反射形成標準參考光束,另一部分準直平行光依次透過標準平面鏡(2)、被測長焦距透鏡(3)后在菲涅爾波帶片(4)上產(chǎn)生反射并沿原路返回形成測試光束,測試光束與標準參考光束產(chǎn)生干涉條紋。

      2.如權(quán)利要求1所述的計算全息法測量長焦距透鏡透射波前的檢測裝置,其特征在于:菲涅爾波帶片(4)的第一級衍射曲率半徑R與被測長焦距透鏡(3)的焦距f滿足關(guān)系:f=R+τ,其中τ為波帶片與透鏡之間的間距。

      3.如權(quán)利要求1所述的計算全息法測量長焦距透鏡透射波前的檢測裝置,其特征在于:菲涅爾波帶片(4)的各環(huán)帶的半徑參數(shù)為rn(2ρn-2R=n(λ/2)),其中,ρn為第n環(huán)帶到焦點F的光程,R為波帶片的曲率半徑,n為自然數(shù),λ為準直平行光的波長。

      4.如權(quán)利要求1所述的計算全息法測量長焦距透鏡透射波前的檢測裝置,其特征在于:還包括五維調(diào)節(jié)架和二維調(diào)節(jié)架,被測長焦距透鏡(3)放置于五維調(diào)節(jié)架上,菲涅爾波帶片(4)放置于二維調(diào)節(jié)架上。

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