本實用新型涉及檢漏儀器，尤其涉及一種氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)。

背景技術：

氦氣檢漏儀使用氦氣作為檢測氣體，由于氦氣具有分子小質量輕、擴散穿透性強、反應快且穩(wěn)定等特點，使氦氣檢漏裝置受到重視并廣泛使用。但是因為氦氣在空氣中含量極少且價格較高，所以采用氦氣作為檢漏氣源使用不可避免地增加成本。

為了克服現(xiàn)有技術中氦氣檢漏存在高使用成本的缺陷，本實用新型提出了一種氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)。本實用新型采用氦氣混合氣源，通過稀釋氦氣濃度達到降低氦氣使用成本的目的，同時配有一體化氣體回收機構以回收所使用的氦氣，并且為了提高泄漏率的測量精度，以氦氣濃度關聯(lián)型測量方式予以精度修正，實現(xiàn)了一種高精度低成本的氦氣檢漏系統(tǒng)。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型提出了一種氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)，包括：用于檢測氦氣濃度的氦氣檢漏儀，其與被試物的內部空腔以抽吸管道連通；氦氣混合氣源裝置，其具有以管道相連的噴槍，所述噴槍與被試物的外部連通；及回收泵，其設置于所述抽吸管道的管路之上。

本實用新型提出的所述氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述氦氣混合氣源裝置為氦氣與惰性氣體的混合氣源。

本實用新型提出的所述氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述氦氣混合氣源裝置為氦氣與氮氣的混合氣源，其具有氦氣氣源、氮氣氣源、以及與兩者相連的氣體混合裝置。

本實用新型提出的所述氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述管道設有氦氣濃度計，所述氦氣濃度計與所述氦氣檢漏儀連接。

本實用新型提出的所述氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述被試物外部設有氣體回收裝置。

本實用新型提出的所述氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述氦氣混合氣源裝置進一步設有回收氣體貯藏裝置，其注入端與所述氣體回收裝置連通，輸氣端與所述管道連通。

本實用新型的有益效果在于：本實用新型采用氦氣混合氣源，通過稀釋氦氣濃度達到降低氦氣使用成本的目的，同時配有一體化氣體回收機構以回收所使用的氦氣，并且為了提高泄漏率的測量精度，以氦氣濃度關聯(lián)型測量方式予以精度修正。

附圖說明

圖1是一具體實施方式中氦氣檢漏系統(tǒng)的結構示意圖。

圖2是圖1優(yōu)選實施例中氦氣檢漏系統(tǒng)的結構示意圖。

圖1與圖2中，1-氦氣檢漏儀，2-氦氣混合氣源裝置，3-抽吸管道，4-回收泵，5-氣體回收裝置，6-回收氣體貯藏裝置，7-氦氣濃度計，21-噴槍，22-管道，23-氦氣氣源，24-氮氣氣源，25-氣體混合裝置。

具體實施方式

結合以下具體實施例和附圖，對本實用新型作進一步的詳細說明。實施本實用新型的過程、條件、實驗方法等，除以下專門提及的內容之外，均為本領域的普遍知識和公知常識，本實用新型沒有特別限制內容。

圖1顯示的是一具體實施方式中氦氣檢漏系統(tǒng)的結構示意圖。本實施例中的氦氣濃度關聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)，包括：氦氣檢漏儀1、氦氣混合氣源裝置2、抽吸管道3與回收泵4。氦氣檢漏儀1用于檢測氦氣濃度，氦氣混合氣源裝置2用于提供氦氣或氦氣混合氣體，氦氣混合氣源裝置2具有以管道22連通的噴槍21，噴槍21設置于被試物100的外部。抽吸管道3連通氦氣檢漏儀1與被試物100的內部空腔，抽吸管道3上設有回收泵4。

使用時，打開噴槍21，氦氣或氦氣混合氣體通過管道22從噴槍21噴掃至被試物100表面，同時開啟回收泵4將被試物100內部空腔的氣體吸入氦氣檢漏儀1中。因為氦氣具有分子小質量輕、擴散穿透性強、反應快且穩(wěn)定等特點，當被試物100存在微小裂縫或縫隙時，氦氣將從裂縫或縫隙進入被試物100的內部空腔中，進而被回收泵4吸入氦氣檢漏儀1中被探測得到氦氣濃度，獲得被試物100的泄漏率。

具體參閱圖1，在管道22上設有氦氣濃度計7，氦氣濃度計7與氦氣檢漏儀1通信，將從氦氣混合氣源裝置2輸出的氦氣混合氣體中的氦氣濃度值發(fā)送至氦氣檢漏儀1中，氦氣檢漏儀1對噴槍11探測的氦氣真實泄漏率進行修正，具體修正方式如下：

真實泄漏率＝實測泄漏率/(氦氣濃度值×0.01)。

例如，對于相同被試物的檢漏測量，若以100％濃度的純氦氣進行檢測，氦氣檢漏儀1所測得的泄漏率為1.0×10^-6Pa*m³/s；若氦氣混合氣源裝置2輸出的氦氣混合氣體的氦氣濃度值為60％，則氦氣檢漏儀1實際所測得的泄漏率為0.6×10^-6Pa*m³/s。如果容許泄漏率為0.9×10^-6Pa*m³/s，則以氦氣混合氣體進行檢測，該被試物100會被判定為優(yōu)良品，從而導致本實用新型檢測精度下降。所以本實用新型利用氦氣濃度值對實測泄漏率進行修正，提高了本實用新型的氦氣濃度檢測精度。

本實用新型中所涉及的氦氣混合氣體為氦氣與其他干燥的惰性的氣體所混合后的氣體。任何能與氦氣混合、不與氦氣發(fā)生化學反應的氣體均在本實用新型的構思之中。氦氣混合氣體包括氦氣與氮氣的混合氣體，以下使用氦氮混合氣體為例，進一步說明本實用新型的優(yōu)選實施方式。

圖2顯示的是一優(yōu)選實施方式中氦氣檢漏系統(tǒng)的結構示意圖。本實施方式中的氦氣檢漏系統(tǒng)中，氦氣混合氣源裝置2中設有氦氣氣源23、氮氣氣源24、氣體混合裝置25、氣體回收裝置5以及回收氣體貯藏裝置6。氣體混合裝置23將氦氣與氮氣混合后輸入抽吸管道3中，氣體混合裝置25與氦氣濃度計7通信，可將氦氣與氮氣混合至相應氦氣濃度值后噴射到被試物100的表面。氣體回收裝置5設于被試物100的外部，回收噴槍21噴出的氦氮混合氣體至回收氣體貯藏裝置6內存儲。優(yōu)選地，將回收氣體貯藏裝置6的輸氣端與管道22連通，在該連通狀態(tài)下可關閉氣體混合裝置25，將回收氣體貯藏裝置6中的氦氣混合氣體通過管道22輸送到噴槍21中進行檢測，直到氦氣濃度值低于閾值時開啟氣體混合裝置25予以氦氣濃度補償。

本實用新型的保護內容不局限于以上實施例。在不背離實用新型構思的精神和范圍下，本領域技術人員能夠想到的變化和優(yōu)點都被包括在本實用新型中，并且以所附的權利要求書為保護范圍。