本實用新型涉及濕法硅片再生領(lǐng)域，其特別涉及一種濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置。

背景技術(shù)：

用于濕法硅片再生的機臺，其藥液混合槽使用的是靜電容傳感器來控制混酸時的液位，液位傳感器用半開放式固定塊固定在槽體上。由于機臺內(nèi)部有酸氣形成結(jié)晶導(dǎo)致液位傳感器經(jīng)常發(fā)生誤報警，同時酸氣對液位傳感器腐蝕影響傳感器使用壽命。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提出一種濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置，減少誤偵測導(dǎo)致設(shè)備宕機，提升產(chǎn)量，并且延長傳感器使用壽命，降低維修費用成本。

為了達到上述目的，本實用新型提出一種濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置，包括：

封閉式固定塊，其內(nèi)部中空設(shè)置；

靜電容傳感器，設(shè)置于所述封閉式固定塊內(nèi)部。

進一步的，所述封閉式固定塊兩端通過蓋板密封。

進一步的，所述封閉式固定塊側(cè)邊連接有氣體吹掃管路，將氣體通入所述封閉式固定塊內(nèi)部。

進一步的，所述氣體吹掃管路為氮氣吹掃管路，將氮氣通入所述封閉式固定塊內(nèi)部。

進一步的，所述氮氣吹掃管路連接于距離機臺最近的氮氣管路。

進一步的，所述封閉式固定塊設(shè)置于藥液混合槽最低液面、最高液面和停止液面處。

本實用新型提出的濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置，將靠螺絲連接的半開放式固定塊做成全封閉式固定塊，同時增加氮氣吹掃管路，確保固定塊內(nèi)形成正壓防止酸氣進入，減少酸氣的干擾和腐蝕。這樣減少設(shè)備異常宕機，提升產(chǎn)量，并且延長傳感器使用壽命，降低維修費用。本實用新型可以有效解決酸氣結(jié)晶造成的傳感器誤偵測以及傳感器因腐蝕造成的損壞，有效地降低了設(shè)備故障率，提高設(shè)備的使用壽命，節(jié)省了更換傳感器的維修費用，同時在同類型的機臺可以方便的進行展開應(yīng)用。

附圖說明

圖1所示為本實用新型較佳實施例的濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2所示為本實用新型較佳實施例的靜電容傳感器在藥液混合槽上的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖給出本實用新型的具體實施方式，但本實用新型不限于以下的實施方式。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參考圖1，圖1所示為本實用新型較佳實施例的濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型提出一種濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置，包括：封閉式固定塊100，其內(nèi)部中空設(shè)置；靜電容傳感器200，設(shè)置于所述封閉式固定塊100內(nèi)部。

根據(jù)本實用新型較佳實施例，所述封閉式固定塊100兩端通過蓋板300密封。

所述封閉式固定塊100側(cè)邊連接有氣體吹掃管路400，將氣體通入所述封閉式固定塊100內(nèi)部。

進一步的，所述氣體吹掃管路400為氮氣吹掃管路，將氮氣通入所述封閉式固定塊100內(nèi)部。確保封閉式固定塊100內(nèi)形成正壓防止酸氣進入，防止酸氣從縫隙滲入對靜電容傳感器200造成腐蝕。所述氮氣吹掃管路400連接于距離機臺最近的氮氣管路，改造出一路用于接到封閉式固定塊100。

請參考圖2，圖2所示為本實用新型較佳實施例的靜電容傳感器在藥液混合槽上的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。所述封閉式固定塊100設(shè)置于藥液混合槽500的最低液面600、最高液面700和停止液面800處。

本實用新型提出的濕法硅片再生機臺靜電容傳感器保護裝置，將靠螺絲連接的半開放式固定塊做成全封閉式固定塊，同時增加氮氣吹掃管路，確保固定塊內(nèi)形成正壓防止酸氣進入，減少酸氣的干擾和腐蝕。這樣減少設(shè)備異常宕機，提升產(chǎn)量，并且延長傳感器使用壽命，降低維修費用。本實用新型可以有效解決酸氣結(jié)晶造成的傳感器誤偵測以及傳感器因腐蝕造成的損壞，有效地降低了設(shè)備故障率，提高設(shè)備的使用壽命，節(jié)省了更換傳感器的維修費用，同時在同類型的機臺可以方便的進行展開應(yīng)用。

雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。